Мягкое рентгеновское излучение
Спектрометр (SXES)
Мягкий рентгеновский эмиссионный спектрометр (SXES) представляет собой спектрометр сверхвысокого разрешения, состоящий из недавно разработанной дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской ПЗС-камеры.
Так же, как и в случае EDS, возможно параллельное детектирование и может быть выполнен анализ со сверхвысоким энергетическим разрешением 0.3 эВ (край Ферми, стандарт Al-L), превосходящий энергетическое разрешение WDS.
Особенности
Youtube
Нажмите кнопку «Повтор» в поле выше, и фильм начнется (на 4 минуты)
Схема системы
Новая конструкция оптической системы спектрометра позволяет одновременно измерять спектры с разными энергиями без перемещения дифракционной решетки или детектора (ПЗС). Благодаря высокому энергетическому разрешению можно выполнять картирование анализа химического состояния.
Сравнение SXES, WDS и EDS
Спектры нитрида титана различными методами спектрометрии
Для нитрида титана пики N-Kα и Ti-Ll перекрываются. Даже с WDS требуется деконволюция формы сигнала с использованием математического метода. Как показано на рисунке ниже, SXES обеспечивает высокое энергетическое разрешение, что позволяет наблюдать TiLXNUMX.
Сравнительная таблица
| Особенность | ССЕС | EPMA (ВДС) | EDS |
|---|---|---|---|
| Постановления | 0.3 eV
(край Ферми Al-L) |
8 эВ (FWHM@Fe-K) | 120-130 эВ
(FWHM@Mn-K) |
| Анализ состояния химической связи | Да | Да (в основном легкие элементы) | Нет |
| Параллельное обнаружение | Да | Нет
(Но возможно несколько спектрометров) |
Да |
| Спектральные элементы и детектор | Дифракционная решетка＋CCD | Анализ кристалла + пропорциональный счетчик | SDD |
| Охлаждение детектора | Охлаждение Пельтье | Не нужно | Охлаждение Пельтье |
| Предел обнаружения
(справочное значение с B) |
20ppm | 100ppm | 5000ppm |
Пример анализа литий-ионной батареи (LIB)
В приведенном ниже примере показаны карты больших площадей образцов LIB с разным состоянием заряда. SXES может отображать пик Li-K как в состоянии валентной зоны (слева), так и в основном состоянии (в центре). На карте распределения углерода (справа) также можно увидеть полностью разряженную функцию LIB.
Спектр полностью заряженного образца Li-K
Примечание. В оксиде лития трудно обнаружить эмиссию Li-K.
Пример измерения светового элемента
Измерения соединений углерода с помощью SXES
Можно измерить разницу между алмазом, графитом и полимерами. Различия можно наблюдать по дополнительным пикам от π- и σ-связей. Поскольку при отображении берутся спектры каждого пикселя, можно создавать дополнительные карты для сдвигов пиков на 1 эВ и плечевых пиков.
Измерения различных соединений азота
Для азота также состояние химической связи можно проанализировать по форме пика спектра. Формы пиков для нитратов и нитридов совершенно разные, и даже можно наблюдать уникальную форму пика для соли аммония, которая очень чувствительна к лучу.
Характеристики
Энергетическое разрешение 0.3 эВ (измеренный спектр Al-L = 73 эВ)
Диапазон энергий сбора данных: дифракционная решетка JS50XL, область энергий 50–170 эВ.
Диапазон энергий регистрации: дифракционная решетка JS200N, область энергий 70–210 эВ.
Точки крепления камеры спектрометра:
EPMA WDSport: порт № 2 (правая сторона спереди)
Порт FE-SEM WDS (слева сзади спереди)
Размеры спектрометра: Ш 168 мм × Г 348 мм × В 683 мм
Расстояние включая ПЗС от интерфейса
Масса спектрометра 25 кг.
Поддерживаемые модели
EPMA: JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
РЭМ: JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
Приложения
Приложение SXES
Справочник по спектрам излучения мягкого рентгеновского излучения, версия 7.0 (декабрь 2021 г.)
Справочник по SXES
Связанные товары
Связанные товары
Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-7900F
JSM-7900F — это новый флагманский FE-SEM от JEOL, который сочетает в себе изображение с чрезвычайно высоким разрешением, повышенную стабильность и исключительную простоту использования для оператора любого уровня в многоцелевой среде.
Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-IT800
JSM-IT800 включает в себя нашу «автоэмиссионную электронную пушку Шоттки Плюс в объективе» для визуализации с высоким разрешением для быстрого картирования элементов и инновационную электронно-оптическую систему управления «Neo Engine», а также систему бесшовного графического интерфейса «SEM Center». для быстрого картирования элементов с помощью полностью встроенного энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) JEOL в качестве общей платформы.
JSM-IT800 позволяет заменять объектив РЭМ как модуль, предлагая различные версии для удовлетворения различных требований пользователей. Для JSM-IT800 доступно пять версий с разными объективами: версия с гибридным объективом (HL), которая представляет собой FE-SEM общего назначения; версия с супергибридным объективом (SHL/SHL, две версии с разными функциями), которая обеспечивает наблюдение и анализ с более высоким разрешением; и недавно разработанная версия с полулинзой (i/is, две версии с разными функциями), которая подходит для наблюдения за полупроводниковыми приборами.
Кроме того, JSM-IT800 также может быть оснащен новым сцинтилляционным детектором обратно рассеянных электронов (SBED) и универсальным детектором обратно рассеянных электронов (VBED). SBED позволяет получать изображения с высокой чувствительностью и обеспечивает резкий контраст материалов даже при низком ускоряющем напряжении, в то время как VBED помогает получать трехмерные изображения, рельефы и контрасты материалов. Таким образом, JSM-IT3 может помочь пользователям получить информацию, которую невозможно было получить, и решить проблемы измерения.
Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-F100
JSM-F100 включает в себя не только нашу широко известную электронную пушку Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе и «Neo Engine» (электронно-оптическую систему управления), но также новый графический интерфейс «SEM Center» и инновационный «LIVE-AI (живое изображение). Visual Enhancer — искусственный интеллект) фильтр». Это обеспечивает оптимальное сочетание визуализации с высоким пространственным разрешением и высокой функциональностью. Кроме того, JSM-F100 поставляется с энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (EDS) JEOL, который полностью интегрирован в «SEM Center» для беспрепятственного получения изображений от результатов элементного анализа. Вдохновленный пользователями в стремлении к развитию и интеграции высокой производительности и удобства, JSM-F100 достигает превосходной эффективности работы, 50% или выше, чем у нашей предыдущей серии JSM-7000, что приводит к значительному увеличению пропускной способности.
Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-7200F
JSM-7200F имеет гораздо более высокое пространственное разрешение, чем обычные модели, как при высоком, так и при низком ускоряющем напряжении благодаря применению технологии, используемой для In-Lens SchottkyPlus, электронной оптики, которой оснащена наша флагманская модель JSM-7800FPRIME, а также благодаря включению TTLS. (Система через объектив). Максимальный ток пробника 300 нА также гарантируется благодаря вышеупомянутым характеристикам. Таким образом, JSM-7200F представляет собой многоцелевой FE-SEM следующего поколения, который обладает возможностями наблюдения с высоким разрешением, высокопроизводительным анализом, простотой использования и возможностью расширения.
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.