ДЖСМ-ИТ800
Полевая эмиссия Шоттки
Растровый электронный микроскоп

Особенности

JSM-IT800 включает в себя нашу «автоэмиссионную электронную пушку Шоттки Плюс в объективе» для визуализации с высоким разрешением для быстрого картирования элементов и инновационную электронно-оптическую систему управления «Neo Engine», а также систему бесшовного графического интерфейса «SEM Center». для быстрого картирования элементов с помощью полностью встроенного энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) JEOL в качестве общей платформы.
JSM-IT800 позволяет заменять объектив РЭМ как модуль, предлагая различные версии для удовлетворения различных требований пользователей. Для JSM-IT800 доступно пять версий с разными объективами: версия с гибридным объективом (HL), которая представляет собой FE-SEM общего назначения; версия с супергибридным объективом (SHL/SHL, две версии с разными функциями), которая обеспечивает наблюдение и анализ с более высоким разрешением; и недавно разработанная версия с полулинзой (i/is, две версии с разными функциями), которая подходит для наблюдения за полупроводниковыми приборами.
Кроме того, JSM-IT800 также может быть оснащен новым сцинтилляционным детектором обратно рассеянных электронов (SBED) и универсальным детектором обратно рассеянных электронов (VBED). SBED позволяет получать изображения с высокой чувствительностью и обеспечивает резкий контраст материалов даже при низком ускоряющем напряжении, в то время как VBED помогает получать трехмерные изображения, рельефы и контрасты материалов. Таким образом, JSM-IT3 может помочь пользователям получить информацию, которую невозможно было получить, и решить проблемы измерения.

Избирательный пистолет Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе (FEG)

Встроенная линза Schottky Plus In-Lens и конденсаторная линза с низкой аберрацией обеспечивают высокую яркость луча. Достаточный ток пробника (100 нА при 5 кВ) доступен даже при низком ускоряющем напряжении. Это позволяет пользователю выполнять наблюдения с высоким разрешением, высокоскоростное картирование элементов, анализ EBSD и анализ с помощью мягкого рентгеновского излучения с минимальной настройкой параметров SEM.

Neo Engine (новый электронно-оптический движок)

Встроена электронно-оптическая система управления нового поколения, шедевр электронно-оптических технологий JEOL. Стабильное наблюдение возможно при настройке различных параметров микроскопа. Кроме того, система имеет расширенные автоматические функции для дополнительного удобства использования.

АФС・ACB

Перед настройкой автофокуса

После настройки автофокуса

Образец: наночастицы Sn на углероде
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED, Увеличение: x200,000 XNUMX

Центр SEM・Интеграция с ЭЦП

Полная интеграция графического интерфейса микроскопа «SEM Center» и JEOL EDS привела к следующему поколению использования SEM. Кроме того, JSM-IT800 включает Smile Navi (опционально), который может помочь новичку в работе с SEM, фильтром LIVE-AI (искусственный интеллект) Live-AI (Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI) (опционально) для удобного просмотра изображения в реальном времени и SMILE VIEW™ Lab для быстрого создания отчетов.

Лаборатория SMILE VIEW™

СМИЛЕНАВИ *Опция

SMILENAVI — это вспомогательный инструмент, разработанный для начинающих, позволяющий выполнять основные операции SEM. Когда оператор нажимает соответствующую кнопку, как показано на блок-схеме SMILENAVI, графический интерфейс SEM связывается с операцией щелчка для управления оператором. Поскольку в графическом интерфейсе отображаются этапы работы и расположение кнопок, операторы смогут управлять РЭМ без использования SMILENAVI.

Фильтр LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI)

Используя возможности ИИ (искусственного интеллекта), встроен фильтр LIVE-AI для более высокого качества живых изображений. В отличие от обработки интеграции изображений, этот новый фильтр может отображать бесшовное движущееся живое изображение без остаточного изображения. Эта уникальная функция очень эффективна для быстрого поиска областей наблюдения, фокусировки и настройки стигматора.

Сравнение живых изображений

Гибридная версия объектива (HL；гибридный объектив) /
Версия с супергибридным объективом (SHL；Супергибридный объектив) /
Полулинзовая версия

Серия JSM-IT800 предлагает выбор объективов в соответствии с целями пользователя.
Версия HL и версия SHL (включая версию SHL) оснащены линзой объектива с наложением электромагнитного/электростатического поля, разработанной на основе универсальной внешней линзы.
Возможно наблюдение с высоким разрешением и анализ широкого спектра образцов от металлов до наноматериалов. Это особенно полезно для наблюдения за магнитными материалами и анализа, такого как измерение EBSD.

Версия i и версия is оснащены полуобъективом. Они оптимальны для наблюдения и анализа наклонных и поперечных образцов с высоким разрешением, что необходимо для анализа отказов полупроводниковых приборов.
Кроме того, это полезно для наблюдения потенциального контраста с использованием детектора верхней линзы (UID).

UHD；Верхний гибридный детектор

UHD, новый детектор, встроенный в объектив версии SHL, очень эффективен при обнаружении электронов, исходящих от образца, что позволяет получать изображения с улучшенным отношением сигнал/шум.

UHD (верхний гибридный детектор)

Пример наблюдения SHL

Образец: частицы оксида алюминия

Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD
Можно наблюдать удивительную ступенчатую структуру на поверхности частиц. На поверхности частиц отчетливо видны ступени в один нм.
※ Приобретена версия SHL.

Образец: алюминиевый бемит

Ускоряющее напряжение: 0.3 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD
На поверхности алюминиевого бемита отчетливо видна тонкая нанолистовая структура толщиной менее 10 нм.

• Приобрел версию SHL.

Образец: Нановолокно целлюлозы (CNF)

Ускоряющее напряжение: 0.2 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD+UED (суммирование сигнала)
Образец предоставлен профессором Хироюки Яно (Научно-исследовательский институт устойчивой гуманосферы, Киотский университет, Япония)
Хотя образец представляет собой органическое волокно, наблюдение также возможно посредством контроля повреждения пучка на органическом волокне.

• Приобрел версию SHL.

Образец: поперечное сечение микросхемы (травление поверхности, осмиевое покрытие)

Ускоряющее напряжение: 5.0 кВ (без режима БД), Режим наблюдения: ШЛ, Детектор: УХД, УЭД (режим БСЭ)
Изображение SE можно получить с помощью UHD; и изображение BSE можно получить с помощью UED.

Пример наблюдения HL

Образец: наночастицы Pt на углероде

Ускоряющее напряжение: 20 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED

Образец: цеолит

Ускоряющее напряжение: 1 кВ, WD: 3 мм, Режим наблюдения: STD, Детектор: SED

Образец: уплотнительная лента

Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED

Образец: Электроламповый провод

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, WD: 6 мм, Режим наблюдения: LV, Детектор: LVBED

я пример наблюдения

Вторичное электронное (SE) изображение частиц фотокатализатора

Это изображение получено с помощью детектора UED JSM-IT800(i).
Образец предоставлен профессором проекта Казунари Домен, Токийский университет, Япония.

Этот фотокатализатор показывает квантовую эффективность реакции расщепления воды, близкую к 100%. Изображение SE с высоким разрешением ясно показывает, что частицы сокатализатора размером менее 10 нм предпочтительно осаждаются на гранях кристалла {100} кубических частиц для ускорения реакций выделения водорода и кислорода.

ID

Т. Таката и др. и др., "Фотокаталитическое расщепление воды с квантовой эффективностью, близкой к единице", Природа , 581, 411-414, 2020.

Компонент SRAM Композиционное контрастное изображение / Контрастное изображение напряжения / Контрастное топографическое изображение

Условия наблюдения: посадочное напряжение 1 кВ, WD 8 мм, режим SIL и прием сигналов детекторами УЭД, УИД и СЭД одновременно

Осмотр изолятора (без покрытия)
Образец: поверхность пленки анодного оксида алюминия.

Условия наблюдения: посадочное напряжение 5 кВ, WD 4.5 мм, режим LV (50 Па), детектор LVBED
Нанопоры на поверхности можно наблюдать без эффектов зарядки при использовании низкого вакуума.

Наблюдение in-situ за частицами, диспергированными в жидкости Образец: CeO2, диспергированный в воде

Условия наблюдения: посадочное напряжение 10 кВ, WD 4.5 мм, режим LV (50 Па), детектор LVBED
Помещение жидкости в держатель Flow View in-situ позволяет наблюдать за частицами через окно держателя из нитрида кремния.
Также можно наблюдать диспергирование частиц в жидкости. (держатель Flow View произведен FlowVIEW Tek)

ID

Н. Асано и др. al., "Методы прямого наблюдения с использованием сканирующего электронного микроскопа для гидротермально синтезированных нанокристаллов и нанокластеров". наноматериалы, 11, 908, 2021.

Новые детекторы обратно рассеянных электронов

Сцинтилляторный детектор обратнорассеянных электронов (SBED) обладает превосходной чувствительностью и полезен для получения контрастного изображения материала при низком ускоряющем напряжении. Универсальный детектор обратнорассеянных электронов (VBED) позволяет получать характерные изображения, такие как трехмерные изображения и топографию поверхности, на основе разделенной формы элемента обнаружения.

SBED (Сцинтилляторный детектор обратно рассеянных электронов)

Использование сцинтиллятора для детектора улучшило чувствительность обнаружения и быстродействие по сравнению с полупроводниковым элементом.

Образец: ультратонкий срез мозжечка крысы (обратное контрастирование). Ускоряющее напряжение: 2.0 кВ.

Образец: тонер, Ускоряющее напряжение: 1.5 кВ

Образец: медная пластина (наблюдение за переходом), Ускоряющее напряжение: 25 кВ

Изображения VBED (универсальный детектор обратнорассеянных электронов)

Полупроводниковый элемент детектирования разделен на 5 сегментов, что позволяет выбрать сигнал, подходящий для целей наблюдения.

Выбор угла

Образец: сцинтиллятор, ускоряющее напряжение: 3.0 кВ.
В зависимости от угла сбора обратно рассеянных электронов информация о составе улучшается за счет внутреннего сегмента, а информация о топографии — за счет внешних сегментов. Более того, сравнивая контраст флуоресцентного тела под пленкой осаждения AI, потенциально можно исследовать различную информацию, связанную с глубиной.

3D реконструкция

Образец: встроенная микролинза ПЗС-элемента, ускоряющее напряжение: 7.0 кВ.
Реконструкция 3D-изображения возможна с использованием 2D-изображений, полученных из четырех сегментов.

Ссылка

• Выпуск Новостей

Выпуск автоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа Шоттки версий JSM-IT800(i)/(is) — FE-SEM с платформой Intelligence Technology (IT) — (2021)

Выпуск нового автоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа Шоттки JSM-IT800 －FE-SEM с платформой Intelligence Technology (IT)－ (2020)

Специальное содержание JSM-IT800

Характеристики

Система обмена образцами

Оптическое получение изображений поддерживает обе системы обмена образцами

Выдвижная система, подходящая для замены крупных образцов

• С выдвижной системой

• Максимум. размер образца: диаметр 170 мм

• Вакуумная эвакуация: от 3 до 5 минут

• Оптическая площадь изображения: 120 мм × 120 мм

Камера для обмена образцами, обеспечивающая быструю и чистую загрузку/выгрузку образцов

• С предвакуумной камерой

• Максимум. размер образца: диаметр 100 мм

• Вакуумная эвакуация: 60 секунд или менее

• Оптическая площадь изображения: 70 мм × 70 мм

• Время вакуумирования и вентилирования зависит от образца или условий установки.

• Для использования оптических изображений требуется дополнительная система навигации сцены (SNS).

• Камера для обмена образцами не является обязательной.

Подробная информация о детекторах DrySD™

Основные параметры

• Верхний электронный детектор (ВЭД) *ШЛ, ШЛс, есть

• Детектор верхних вторичных электронов (USD) *HL

• Верхний электронный детектор (ВЭД) *есть

• Верхний электронный преобразователь (ВЭП) *есть

• Детектор обратнорассеянных электронов (BED)

• Сцинтилляционный детектор обратнорассеянных электронов (SBED)

• Универсальный детектор обратнорассеянных электронов (VBED) *HL, SHL, SHLs

• Детектор трансмиссионных электронов (TED)

• Низкий вакуум (включая низковакуумный детектор обратнорассеянных электронов (LVBED))

• Низковакуумный детектор вторичных электронов (LVSED)

• Система дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)

• Рентгеновский спектрометр с дисперсией по длине волны (WDS)

• Эмиссионный спектрометр мягкого рентгеновского излучения (SXES) *HL, SHL, SHLs

• Детектор тока зонда

• Камера обмена образцами

• Система навигации по сцене

• Камерная камера

• Операционный стол

• Панель управления

• Трек мяч

• СМИЛЕНАВИ

• Монтаж

• ЖИВАЯ карта

• ЖИВОЙ ИИ-фильтр

• Карта SMILE VIEW™

Скачать буклет

Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-IT800

Приложения

Приложение JSM-IT800

CryoNote

CLEMnote

Анализ деградации пленки полиэтилентерефталата под действием УФ-облучения с использованием визуализирующей масс-спектрометрии и сканирующей электронной микроскопии

Связанные товары

Связанные товары

IB-10500HMS CROSS SECTION POLISHER™ Высокопроизводительная фрезерная система

IB-19520CCP ПОЛИРОВЩИК ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ™

Термическое повреждение можно уменьшить, охлаждая образец жидким азотом во время обработки. Разработан для снижения расхода жидкого азота, обеспечивая длительные периоды охлаждения. Быстрое охлаждение образца при погружении в жидкий азот. Вернуться к комнатной температуре. Предназначен для отсоединения деталей. Включает в себя механизм, позволяющий выполнять процесс от полировки до наблюдения, не подвергая образец воздействию воздуха.

IB-19530CP ПОЛИРОВЩИК ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ™

IB-19530CP имеет инновационную многоцелевую платформу для удовлетворения все более разнообразных потребностей рынка и реализации многофункциональности с помощью различных типов функциональных держателей. Многоцелевой предметный столик в сочетании со специализированными функциональными держателями позволяет пользователю выполнять различные функции, такие как фрезерование и полировка плоской поверхности, напыление, а также более традиционное ионное фрезерование поперечного сечения.

Серия Gather-X JED Dry SD™ EDS без окон

Исследуйте науку с анализом JSM-IT800/Windows EDS

Анализ EDS без стресса от легких до тяжелых элементов! Разработка материалов становится все более важной благодаря углеродной нейтральности.
Например, в материалах для батарей требуется широкий спектр анализа от легких элементов, таких как литий, до переходных металлов, включая никель, кобальт и марганец.
Потребность в эффективном и высокочувствительном анализе возрастает при анализе полупроводниковых материалов и наночастиц катализаторов.
Недавно разработанная система Dry SD™ Gather-X представляет собой систему EDS без окон, которую можно установить на JSM-IT800*. Возможен высокочувствительный рентгеновский анализ во всех энергетических диапазонах, включая низкоэнергетические характеристические рентгеновские лучи, такие как Li-K (54 эВ). Кроме того, функция безопасности, связанная с JSM-IT800 и программным обеспечением для интеграции SEM/EDS, может обеспечить безопасную и удобную работу любому пользователю.

*Можно установить на JSM-IT800 / .

Эмиссионный спектрометр мягкого рентгеновского излучения (SXES)

Мягкий рентгеновский эмиссионный спектрометр (SXES) представляет собой спектрометр сверхвысокого разрешения, состоящий из недавно разработанной дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской ПЗС-камеры.
Так же, как и в случае EDS, возможно параллельное детектирование и может быть выполнен анализ со сверхвысоким энергетическим разрешением 0.3 эВ (край Ферми, стандарт Al-L), превосходящий энергетическое разрешение WDS.

Подробнее