Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

ДЖСМ-ИТ800
Полевая эмиссия Шоттки
Растровый электронный микроскоп

Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-IT800

Особенности

JSM-IT800 включает в себя нашу «автоэмиссионную электронную пушку Шоттки Плюс в объективе» для визуализации с высоким разрешением для быстрого картирования элементов и инновационную электронно-оптическую систему управления «Neo Engine», а также систему бесшовного графического интерфейса «SEM Center». для быстрого картирования элементов с помощью полностью встроенного энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) JEOL в качестве общей платформы.
JSM-IT800 позволяет заменять объектив РЭМ как модуль, предлагая различные версии для удовлетворения различных требований пользователей. Для JSM-IT800 доступно пять версий с разными объективами: версия с гибридным объективом (HL), которая представляет собой FE-SEM общего назначения; версия с супергибридным объективом (SHL/SHL, две версии с разными функциями), которая обеспечивает наблюдение и анализ с более высоким разрешением; и недавно разработанная версия с полулинзой (i/is, две версии с разными функциями), которая подходит для наблюдения за полупроводниковыми приборами.
Кроме того, JSM-IT800 также может быть оснащен новым сцинтилляционным детектором обратно рассеянных электронов (SBED) и универсальным детектором обратно рассеянных электронов (VBED). SBED позволяет получать изображения с высокой чувствительностью и обеспечивает резкий контраст материалов даже при низком ускоряющем напряжении, в то время как VBED помогает получать трехмерные изображения, рельефы и контрасты материалов. Таким образом, JSM-IT3 может помочь пользователям получить информацию, которую невозможно было получить, и решить проблемы измерения.

Избирательный пистолет Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе (FEG)

Встроенная линза Schottky Plus In-Lens и конденсаторная линза с низкой аберрацией обеспечивают высокую яркость луча. Достаточный ток пробника (100 нА при 5 кВ) доступен даже при низком ускоряющем напряжении. Это позволяет пользователю выполнять наблюдения с высоким разрешением, высокоскоростное картирование элементов, анализ EBSD и анализ с помощью мягкого рентгеновского излучения с минимальной настройкой параметров SEM.

Neo Engine (новый электронно-оптический движок)

Встроена электронно-оптическая система управления нового поколения, шедевр электронно-оптических технологий JEOL. Стабильное наблюдение возможно при настройке различных параметров микроскопа. Кроме того, система имеет расширенные автоматические функции для дополнительного удобства использования.

АФС・ACB


Перед настройкой автофокуса


После настройки автофокуса

Образец: наночастицы Sn на углероде
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED, Увеличение: x200,000 XNUMX

Центр SEM・Интеграция с ЭЦП

Полная интеграция графического интерфейса микроскопа «SEM Center» и JEOL EDS привела к следующему поколению использования SEM. Кроме того, JSM-IT800 включает Smile Navi (опционально), который может помочь новичку в работе с SEM, фильтром LIVE-AI (искусственный интеллект) Live-AI (Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI) (опционально) для удобного просмотра изображения в реальном времени и SMILE VIEW™ Lab для быстрого создания отчетов.

Лаборатория SMILE VIEW™

СМИЛЕНАВИ *Опция

SMILENAVI — это вспомогательный инструмент, разработанный для начинающих, позволяющий выполнять основные операции SEM. Когда оператор нажимает соответствующую кнопку, как показано на блок-схеме SMILENAVI, графический интерфейс SEM связывается с операцией щелчка для управления оператором. Поскольку в графическом интерфейсе отображаются этапы работы и расположение кнопок, операторы смогут управлять РЭМ без использования SMILENAVI.

Фильтр LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer-AI:LIVE-AI)

Используя возможности ИИ (искусственного интеллекта), встроен фильтр LIVE-AI для более высокого качества живых изображений. В отличие от обработки интеграции изображений, этот новый фильтр может отображать бесшовное движущееся живое изображение без остаточного изображения. Эта уникальная функция очень эффективна для быстрого поиска областей наблюдения, фокусировки и настройки стигматора.

Сравнение живых изображений

Образец: Экзоскелет муравья, Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, Детектор: СЭД

Образец: Железная ржавчина, Ускоряющее напряжение: 1 кВ, Детектор: СЭД

Гибридная версия объектива (HL;гибридный объектив) /
Версия с супергибридным объективом (SHL;Супергибридный объектив) /
Полулинзовая версия

Серия JSM-IT800 предлагает выбор объективов в соответствии с целями пользователя.
Версия HL и версия SHL (включая версию SHL) оснащены линзой объектива с наложением электромагнитного/электростатического поля, разработанной на основе универсальной внешней линзы.
Возможно наблюдение с высоким разрешением и анализ широкого спектра образцов от металлов до наноматериалов. Это особенно полезно для наблюдения за магнитными материалами и анализа, такого как измерение EBSD.

Версия i и версия is оснащены полуобъективом. Они оптимальны для наблюдения и анализа наклонных и поперечных образцов с высоким разрешением, что необходимо для анализа отказов полупроводниковых приборов.
Кроме того, это полезно для наблюдения потенциального контраста с использованием детектора верхней линзы (UID).

Тип внешней линзы Линза объектива с наложением электромагнитного/электростатического поля Полув объектив

Высокая универсальность

Система: JSM-IT700HR

Универсальность и высокое разрешение

Система: JSM-IT800HL/SHL

Высокая разрешающая способность

 Система: JSM-IT800i/is

UHD;Верхний гибридный детектор

UHD, новый детектор, встроенный в объектив версии SHL, очень эффективен при обнаружении электронов, исходящих от образца, что позволяет получать изображения с улучшенным отношением сигнал/шум.

UHD (верхний гибридный детектор)

Пример наблюдения SHL

Образец: частицы оксида алюминия

Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD
Можно наблюдать удивительную ступенчатую структуру на поверхности частиц. На поверхности частиц отчетливо видны ступени в один нм.
※ Приобретена версия SHL.

Образец: алюминиевый бемит

Ускоряющее напряжение: 0.3 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD
На поверхности алюминиевого бемита отчетливо видна тонкая нанолистовая структура толщиной менее 10 нм.

  • Приобрел версию SHL.

Образец: Нановолокно целлюлозы (CNF)

Ускоряющее напряжение: 0.2 кВ, Режим наблюдения: BD, Детектор: UHD+UED (суммирование сигнала)
Образец предоставлен профессором Хироюки Яно (Научно-исследовательский институт устойчивой гуманосферы, Киотский университет, Япония)
Хотя образец представляет собой органическое волокно, наблюдение также возможно посредством контроля повреждения пучка на органическом волокне.

  • Приобрел версию SHL.

Образец: поперечное сечение микросхемы (травление поверхности, осмиевое покрытие)

Ускоряющее напряжение: 5.0 кВ (без режима БД), Режим наблюдения: ШЛ, Детектор: УХД, УЭД (режим БСЭ)
Изображение SE можно получить с помощью UHD; и изображение BSE можно получить с помощью UED.

Пример наблюдения HL

Образец: наночастицы Pt на углероде

Ускоряющее напряжение: 20 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED

Образец: цеолит

Ускоряющее напряжение: 1 кВ, WD: 3 мм, Режим наблюдения: STD, Детектор: SED

Образец: уплотнительная лента

Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED

Образец: Электроламповый провод

Ускоряющее напряжение: 10 кВ, WD: 6 мм, Режим наблюдения: LV, Детектор: LVBED

я пример наблюдения

Вторичное электронное (SE) изображение частиц фотокатализатора

Это изображение получено с помощью детектора UED JSM-IT800(i).
Образец предоставлен профессором проекта Казунари Домен, Токийский университет, Япония.

Этот фотокатализатор показывает квантовую эффективность реакции расщепления воды, близкую к 100%. Изображение SE с высоким разрешением ясно показывает, что частицы сокатализатора размером менее 10 нм предпочтительно осаждаются на гранях кристалла {100} кубических частиц для ускорения реакций выделения водорода и кислорода.

Справка

Т. Таката и др. и др., "Фотокаталитическое расщепление воды с квантовой эффективностью, близкой к единице", природа , 581, 411-414, 2020.

Компонент SRAM Композиционное контрастное изображение / Контрастное изображение напряжения / Контрастное топографическое изображение

Условия наблюдения: посадочное напряжение 1 кВ, WD 8 мм, режим SIL и прием сигналов детекторами УЭД, УИД и СЭД одновременно

Осмотр изолятора (без покрытия)
Образец: поверхность пленки анодного оксида алюминия.

Условия наблюдения: посадочное напряжение 5 кВ, WD 4.5 мм, режим LV (50 Па), детектор LVBED
Нанопоры на поверхности можно наблюдать без эффектов зарядки при использовании низкого вакуума.

Наблюдение in-situ за частицами, диспергированными в жидкости Образец: CeO2, диспергированный в воде

Условия наблюдения: посадочное напряжение 10 кВ, WD 4.5 мм, режим LV (50 Па), детектор LVBED
Помещение жидкости в держатель Flow View in-situ позволяет наблюдать за частицами через окно держателя из нитрида кремния.
Также можно наблюдать диспергирование частиц в жидкости. (держатель Flow View произведен FlowVIEW Tek)

Справка

Н. Асано и др. al., "Методы прямого наблюдения с использованием сканирующего электронного микроскопа для гидротермально синтезированных нанокристаллов и нанокластеров". наноматериалы, 11, 908, 2021.

Новые детекторы обратно рассеянных электронов

Сцинтилляторный детектор обратнорассеянных электронов (SBED) обладает превосходной чувствительностью и полезен для получения контрастного изображения материала при низком ускоряющем напряжении. Универсальный детектор обратнорассеянных электронов (VBED) позволяет получать характерные изображения, такие как трехмерные изображения и топографию поверхности, на основе разделенной формы элемента обнаружения.

SBED (Сцинтилляторный детектор обратно рассеянных электронов)

Использование сцинтиллятора для детектора улучшило чувствительность обнаружения и быстродействие по сравнению с полупроводниковым элементом.

Изображения VBED (универсальный детектор обратнорассеянных электронов)

Полупроводниковый элемент детектирования разделен на 5 сегментов, что позволяет выбрать сигнал, подходящий для целей наблюдения.

Выбор угла

Образец: сцинтиллятор, ускоряющее напряжение: 3.0 кВ.
В зависимости от угла сбора обратно рассеянных электронов информация о составе улучшается за счет внутреннего сегмента, а информация о топографии — за счет внешних сегментов. Более того, сравнивая контраст флуоресцентного тела под пленкой осаждения AI, потенциально можно исследовать различную информацию, связанную с глубиной.

3D реконструкция

Образец: встроенная микролинза ПЗС-элемента, ускоряющее напряжение: 7.0 кВ.
Реконструкция 3D-изображения возможна с использованием 2D-изображений, полученных из четырех сегментов.

Ссылка

  • Выпуск Новостей

Характеристики

JSM-IT800 (ХЛ) JSM-IT800 (есть) JSM-IT800 (я) JSM-IT800 (SHL) JSM-IT800 (ШЛ)
Постановления 0.7 нм (20 кВ) 0.6 нм (15 кВ) 0.5 нм (15 кВ) 0.6 нм (15 кВ) 0.5 нм (15 кВ)
1.3 нм (1 кВ) 1.0 нм (1 кВ) 0.7 нм (1 кВ) 1.1 нм (1 кВ) 0.7 нм (1 кВ)
0.9 нм (500 В)
3.0 нм (15 кВ, 5 нА, диаметр 10 мм) 3.0 нм (15 кВ, 5 нА, диаметр 8 мм) 3.0 нм (15 кВ, 5 нА, диаметр 8 мм) 3.0 нм (15 кВ, 5 нА, диаметр 10 мм) 3.0 нм (5 кВ, 5 нА, диаметр 10 мм)
Увеличение Фото
увеличение:
от ×10 до ×2,000,000 XNUMX
(128 × 96 мм)

Увеличение дисплея:
от ×27 до ×5,480,000 XNUMX
(1,280 × 960 пикселей)
Фото
увеличение:
От ×25 до ×2,000,000 128 96 (XNUMX × XNUMX мм)

Увеличение дисплея:
От ×69 до ×5,480,000 1,280 960 (XNUMX XNUMX × XNUMX пикселей)
Фото
увеличение:
От ×25 до ×2,000,000 128 96 (XNUMX × XNUMX мм)

Увеличение дисплея:
От ×69 до ×5,480,000 1,280 960 (XNUMX XNUMX × XNUMX пикселей)
Фото
увеличение:
от ×10 до ×2,000,000 XNUMX
(128 × 96 мм)

Увеличение дисплея:
от ×27 до ×5,480,000 XNUMX
(1,280 × 960 пикселей)
Фото
увеличение:
от ×10 до ×2,000,000 XNUMX
(128 × 96 мм)

Увеличение дисплея:
от ×27 до ×5,480,000 XNUMX
(1,280 × 960 пикселей)
Посадочное напряжение От 0.01 до 30 кВ
Ток зонда От нескольких пА до 300 нА (30 кВ)
От нескольких пА до 100 нА (5 кВ)
От нескольких пА до 300 нА (30 кВ)
От нескольких пА до 100 нА (5 кВ)
От нескольких пА до 500 нА (30 кВ)
От нескольких пА до 100 нА (5 кВ)
От нескольких пА до 500 нА (30 кВ)
От нескольких пА до 100 нА (5 кВ)
От нескольких пА до 500 нА (30 кВ)
От нескольких пА до 100 нА (5 кВ)
Детектор (стандартный) Детектор вторичных электронов (SED)
Верхний электронный детектор (ВЭД)
Детектор вторичных электронов (SED)
Верхний внутрилинзовый детектор (UID)
Детектор вторичных электронов (SED)
Верхний внутрилинзовый детектор (UID)
Верхний электронный детектор (ВЭД)
Детектор вторичных электронов (SED)
Верхнегибридный детектор (UHD)
Детектор вторичных электронов (SED)
Верхнегибридный детектор (UHD)
Электронная пушка Электронная пушка Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе
Излучатель
гарантийный срок
3 лет
Объектив с управлением углом диафрагмы (ACL) Встроенный Встроенный Встроенный Встроенный Встроенный
Объектив Гибридный объектив Полув линзе Полув линзе Супергибридный объектив Супергибридный объектив
Стадия образца Полная эвцентрическая ступень гониометра Полная эвцентрическая ступень гониометра Полная эвцентрическая ступень гониометра Полная эвцентрическая ступень гониометра Полная эвцентрическая ступень гониометра
Сценический контроль 5-осевой моторный привод 5-осевой моторный привод 5-осевой моторный привод 5-осевой моторный привод 5-осевой моторный привод
Размер образца
(вытягивать)
Тип 1 (стандартный) 
Максимальный диаметр: 170 мм, максимальная высота: 45 мм (ширина 5 мм)
Диапазон перемещения предметного столика (X:70 мм, Y:50 мм, Z: от 1 до 41 мм, наклон: от -5 до 70°, вращение: 360°)

Тип2 (опция)
Максимальный диаметр: 200 мм, максимальная высота: 55 мм (ширина 5 мм)
Диапазон перемещения предметного столика (X:100 мм, Y:100 мм, Z: от 1 до 50 мм, наклон: от -5 до 70°, вращение: 360°)

Тип3 (опция)
Максимальный диаметр: 200 мм, максимальная высота: 45 мм (ширина 5 мм)
Диапазон перемещения предметного столика (X:140 мм, Y:80 мм, Z: от 1 до 41 мм, наклон: от -5 до 70°, вращение: 360°)
Режим низкого вакуума
 (Опция)
Доступна
Функция анализа
 (Опция)
EDS
WDS
ЭИ
CL
EDS
WDS
ЭИ
CL
EDS
WDS
ЭИ
CL
EDS
WDS
ЭИ
CL
EDS
WDS
ЭИ
CL
Основные приложения (пример) Магнитный материал
EBSD на большой площади
Анализ полупроводниковых устройств Магнитный материал, EBSD, Биологический образец
(Матричная томография, CLEM)

Система обмена образцами

Оптическое получение изображений поддерживает обе системы обмена образцами

Выдвижная система, подходящая для замены крупных образцов

  • С выдвижной системой

  • Максимум. размер образца: диаметр 170 мм

  • Вакуумная эвакуация: от 3 до 5 минут

  • Оптическая площадь изображения: 120 мм × 120 мм

Камера для обмена образцами, обеспечивающая быструю и чистую загрузку/выгрузку образцов

  • С предвакуумной камерой

  • Максимум. размер образца: диаметр 100 мм

  • Вакуумная эвакуация: 60 секунд или менее

  • Оптическая площадь изображения: 70 мм × 70 мм

  • Время вакуумирования и вентилирования зависит от образца или условий установки.

  • Для использования оптических изображений требуется дополнительная система навигации сцены (SNS).

  • Камера для обмена образцами не является обязательной.

Подробная информация о детекторах DrySD™

Зона обнаружения 60 мм2
Энергетическое разрешение 133 эВ или менее
Обнаруживаемые элементы Быть тебе
Функция управления данными и создание отчетов Лаборатория SMILE VIEW™

Основные параметры

  • Верхний электронный детектор (ВЭД) *ШЛ, ШЛс, есть

  • Детектор верхних вторичных электронов (USD) *HL

  • Верхний электронный детектор (ВЭД) *есть

  • Верхний электронный преобразователь (ВЭП) *есть

  • Детектор обратнорассеянных электронов (BED)

  • Сцинтилляционный детектор обратнорассеянных электронов (SBED)

  • Универсальный детектор обратнорассеянных электронов (VBED) *HL, SHL, SHLs

  • Детектор трансмиссионных электронов (TED)

  • Низкий вакуум (включая низковакуумный детектор обратнорассеянных электронов (LVBED))

  • Низковакуумный детектор вторичных электронов (LVSED)

  • Система дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)

  • Рентгеновский спектрометр с дисперсией по длине волны (WDS)

  • Эмиссионный спектрометр мягкого рентгеновского излучения (SXES) *HL, SHL, SHLs

  • Детектор тока зонда

  • Камера обмена образцами

  • Система навигации по сцене

  • Камерная камера

  • Операционный стол

  • Панель управления

  • Трек мяч

  • СМИЛЕНАВИ

  • Монтаж

  • ЖИВАЯ карта

  • ЖИВОЙ ИИ-фильтр

  • Карта SMILE VIEW™

Скачать буклет

Приложения

Приложение JSM-IT800

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!