ACE eye™
Высокопроизводительный аналитический электронный микроскоп

От «зависимости от оператора» к «измерению без участия оператора»

ACE eye™ — это специализированный просвечивающий электронный микроскоп (ПЭМ) для полупроводниковых исследований, обеспечивающий полностью автоматизированную работу от начала до конца — от получения изображений методом ПЭМ/СТЭМ до анализа методом энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС) — с помощью предопределенного, основанного на алгоритме рабочего процесса. Стандартизация условий измерения гарантирует превосходную воспроизводимость, предлагая при этом гибкие режимы работы, от полуавтоматических до полностью автоматизированных.
Оснащенная системой автоматической коррекции аберраций на основе искусственного интеллекта (ASCOR, в стандартной комплектации) и передовыми алгоритмами автоматизации, система ACE eye™ постоянно поддерживает оптимальные условия измерения, обеспечивая высокоточные результаты, не зависящие от оператора.
Кроме того, благодаря использованию проверенных аппаратных технологий и конструкции, оптимизированной для длительной стабильной работы, ACE eye™ обеспечивает удобство использования и высокую надежность, необходимые для анализа полупроводниковых компонентов.

Особенности

Автоматизация

• Преобразуя условия и процедуры измерений в стандартизированные алгоритмы, ACE eye™ обеспечивает полностью автоматизированную работу от начала до конца — от получения изображений методом просвечивающей электронной микроскопии (TEM/STEM) до анализа методом энергодисперсионной спектроскопии (EDS) — в рамках единого рабочего процесса, гарантируя стабильные результаты, не зависящие от оператора.

• Система поддерживает гибкий диапазон уровней автоматизации, от полуавтоматических до полностью автоматизированных рабочих процессов, что позволяет пользователям выбирать оптимальную конфигурацию в зависимости от целей измерений и эксплуатационных требований.

• Система ACE eye™ в стандартной комплектации оснащена технологией ASCOR (от CEOS), обеспечивающей автоматическую коррекцию аберраций с помощью искусственного интеллекта. В сочетании с передовыми алгоритмами автоматизации она постоянно оптимизирует условия измерения и поддерживает максимальную производительность в любое время.

• Ключевые параметры, включая регулировку фокуса, коррекцию астигматизма, выравнивание высоты образца, центрирование пучка и выравнивание ориентации кристалла, контролируются автоматически для обеспечения стабильных и надежных измерений.

• Сочетание резервуара для жидкого азота большой емкости (с временем хранения охлаждающей жидкости около пяти дней), опционального программного обеспечения для автоматизированных измерений Automation Center и опционального MSP (MultiSPECPORTER) обеспечивает длительную непрерывную работу в автоматическом режиме, повышая эффективность измерений и максимально используя ресурсы системы.

Стабильность

• Надежная конструкция системы, включающая широкозонный полюсный наконечник и ASCOR (от CEOS), обеспечивает стабильную интеграцию высокоразрешающей визуализации и высокочувствительного анализа EDS, создавая оптимальные условия наблюдения для характеризации современных полупроводниковых материалов.

• Для TEM и STEM достигается высокая воспроизводимость увеличения ±0.5%, что обеспечивает стабильное позиционирование и надежный сбор данных даже при длительных или полностью автоматизированных измерениях.

• Непрерывный мониторинг состояния системы и внешних факторов окружающей среды, включая магнитные поля, вибрацию, температуру в помещении и температуру охлаждающей воды, с помощью LogChecker (опционально) обеспечивает полную прозрачность измерительной среды и гарантирует стабильную работу.

• Защитный кожух колонны минимизирует воздействие внешних помех, что дополнительно повышает воспроизводимость и надежность автоматизированных измерений и наблюдений с большим увеличением.

работоспособность

• Интуитивно понятный пользовательский интерфейс «TEM Center» обеспечивает бесперебойное выполнение операций от наблюдения до измерения с помощью мыши, гарантируя плавный рабочий процесс независимо от опыта пользователя.

• «Центр автоматизации» имеет два выделенных режима — «Оператор» и «Администратор» — что обеспечивает эффективную настройку и оперативное управление на основе ролей пользователей.

• Бесшовная интеграция с камерами Gatan обеспечивает плавный рабочий процесс от получения изображений до хранения данных, позволяя проводить высокопроизводительные наблюдения и получать высоконадежные данные.

• Разработанный держатель позволяет загружать и извлекать сетки для образцов одним нажатием кнопки, упрощая работу, снижая рутинную нагрузку и сокращая время подготовки.

Связь FIB

• Дополнительные двухкоординатные наклонные картриджи и специальные держатели для ТЭМ-микроскопов обеспечивают бесшовную интеграцию между рабочими процессами ТЭМ и ФИБ.

• Картридж можно прикрепить к специальному держателю одним движением, что исключает необходимость непосредственной работы с сетками для ТЭМ после подготовки образца. Это снижает нагрузку на оператора и минимизирует риск повреждения и загрязнения образца.

Характеристики

Галерея

Изображение LAADF-STEM

Образец: Полупроводниковое устройство (GAA)
Ускоряющее напряжение: 200 кВ

Изображение HAADF-STEM (измерение CD)

Образец: Полупроводниковый прибор (FinFET)
Ускоряющее напряжение: 200 кВ

Карты EDS (карта подсчета количества сетей)

Образец: Полупроводниковый прибор (FinFET)
Ускоряющее напряжение: 200 кВ

Связанные товары

Система JIB-PS500i FIB-SEM

JIB-PS500i предлагает три решения для подготовки образцов для ПЭМ. Обеспечивается высокая производительность рабочего процесса от пробоподготовки до наблюдения с помощью ПЭМ.

Подробнее