ДЖАМП-9510Ф
Автоэмиссионный шнековый микрозонд
Это оже-электронный спектрометр с высокими техническими характеристиками и полусферическим анализатором для обеспечения высокопроизводительного анализа состояния химической связи в нано- и микрообластях, а также электронная пушка с полевой эмиссией, которая также используется для EPMA, поскольку она может подавать большой стабильный электрический ток. высокоточный эвцентрический столик для образцов позволяет выполнять ранее невозможный анализ изоляторов. Это в сочетании с ионной пушкой плавающего типа обеспечивает универсальность для работы с любыми образцами, такими как металлы и изоляционные материалы, для получения информации о составе и химическом составе.
Особенности
Спектральное изображение
Каждый пиксель содержит спектр
Элементарные распределения извлечены
из куба данных спектрального изображения
Недавно разработанный метод визуализации спектра позволяет захватывать электронные спектры для каждого пикселя на изображении. Спектры в выбранных областях на изображении и элементные распределения могут быть извлечены после получения данных, как картирование EDS. Метод визуализации спектра предотвращает пропуск любых элементов, получая данные в широком диапазоне энергий, что полностью отличается от обычного картирования Оже, где элементы, которые должны быть отображены, должны быть указаны заранее. Диапазон энергий измерения и энергетическое разрешение выбираются так же, как и обычное получение широкого спектра. Визуализация спектра может применяться не только для элементного анализа, но и для анализа спектроскопии потери энергии отраженных электронов (REELS).
Стандартная база данных спектров и программное обеспечение для деконволюции пиков
Стандартные спектры чистых Sn, SnO и SnO2
Химически-определенный глубинный профиль поверхности припоя
Предоставляется стандартная база данных спектров из более чем 500 спектров для 140 материалов. Наше программное обеспечение для деконволюции пиков легко разделяет перекрывающиеся пики Оже, а также позволяет проводить сложный анализ химического состояния одним щелчком мыши.
Характеристики
| Система электронного освещения | |
|---|---|
| разрешение SEI | 3 нм (при 25 кВ, 10 пА) |
| Диаметр зонда для оже-анализа | 8 нм (при 25 кВ, 1 нА) |
| Электронная пушка | Полевая эмиссионная пушка Шоттки |
| Ускоряющее напряжение | От 0.5 до 30 кВ |
| Ток зонда | 10-11 до 2 × 10-7A |
| Увеличение | х 25 до 500,000 XNUMX |
| Система оже-анализа | |
| Анализатор | Электростатический полусферический анализатор (HSA) |
| Энергетическое разрешение (ΔE/E) | 0.05 в 0.6% |
| чувствительность | 840,000 7 имп/с/XNUMX каналов и более
(при 10 кВ 10 нА Cu-LMN, разрешение 0.6%, угол наклона 60°) |
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Расширяемость
Предусмотрены дополнительные порты для подключения следующих насадок, поддерживающих различные анализы.
Предусмотрены дополнительные порты для установки следующих насадок, поддерживающих различные виды анализа
Блок парковки образцов
Устройство для охлаждения и разрушения образцов
Детектор обратнорассеянных электронов
Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDS)
Транспортное судно
Скачать буклет
JAMP-9510F Автоэмиссионный оже-микрозонд
Приложения
Полупроводниковые приборы
Распределение элементов и картирование химического состояния кремния в поперечном сечении полупроводникового прибора,
получено с помощью спектральной визуализации.
По сравнению с рентгеновской эмиссионной спектроскопией, такой как SEM-EDS и EPMA, пространственное разрешение анализа AES очень высокое. Анализ AES может быть применен к элементному анализу в поле зрения с большим увеличением. Картирование химического состояния также возможно с использованием различий в форме пиков Оже в зависимости от химического состояния образца.
Материалы для литий-ионных аккумуляторов (ЛИА)
Стандартные спектры Li KVV в дифференциальной форме
Элементарное картирование поперечного сечения материала анода LIB
Чувствительность обнаружения лития AES высока и часто используется для анализа материалов литий-ионных аккумуляторов. AES обнаруживает пики лития из оксидов лития и карбоната лития с хорошей чувствительностью, поскольку электроны на соседних атомах вовлекаются в процесс оже. Картирование лития можно легко выполнить с помощью визуализации спектра.
Анализ REELS
Спектры потерь углеродных материалов
Распределение углерода, полученное с помощью анализа AES (слева), и распределение графита, полученное с помощью анализа REELS (справа) для образца графена на медной пластине
Спектроскопия потери энергии отраженных электронов (REELS) также является важным применением микрозонда Оже. REELS применяется для анализа углеродных материалов, а также для оценки ширины запрещенной зоны широкозонных полупроводников и изоляторов.
Другие приложения для JAMP-9510F
Примечание о твердотельной батарее
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.