JAMP-9510F Автоэмиссионный оже-микрозонд
Это оже-электронный спектрометр с высокими техническими характеристиками и полусферическим анализатором для обеспечения высокопроизводительного анализа состояния химической связи в нано- и микрообластях, а также электронная пушка с полевой эмиссией, которая также используется для EPMA, поскольку она может подавать большой стабильный электрический ток. высокоточный эвцентрический столик для образцов позволяет выполнять ранее невозможный анализ изоляторов. Это в сочетании с ионной пушкой плавающего типа обеспечивает универсальность для работы с любыми образцами, такими как металлы и изоляционные материалы, для получения информации о составе и химическом составе.
Особенности
Анализатор высокой чувствительности・высокого разрешения
Использование анализаторов с переменным энергетическим разрешением позволило проводить анализ состояния химической связи в режиме высокого разрешения, а также высокоскоростное картирование в режиме высокой чувствительности.
Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки
Электронная пушка, которая обеспечивает как наблюдение изображения с пространственным разрешением 3 нм, так и высокопроизводительный анализ состояния химической связи в результате большого электрического тока до 200 нА. Это стало возможным благодаря внедрению технологии электронной оптики, которую компания JEOL разрабатывала в течение многих лет вместе с полевыми электронными пушками Шоттки, используемыми в SEM и EMPA.
Эуцентрическая стадия образца
Применение эуцентрического предметного столика, необходимого для аналитического устройства с несколькими оптическими системами, обеспечивает высокоточную воспроизводимость центра высоты. Свободно выбираемый угол наклона до 90° делает возможным сложный анализ изоляторов.
Долговечность
Основываясь на концепции долговечной конструкции, эксплуатационные расходы, связанные с заменой нити накала ионной пушки и эмиттера электронной пушки, были снижены.
Программное обеспечение для георадаров
Разделение перекрывающихся оже-пиков, которые утомляют аналитиков, а также сложный анализ состояния химической связи можно выполнить одним щелчком мыши с помощью функции разделения сигналов.
Программное обеспечение для реструктуризации карты позволяет выполнять широкий спектр анализов, например, переустанавливать P/B после измерения и отслеживать изменения во времени во время интеграции.
Характеристики
| Система электронного освещения | |
|---|---|
| разрешение SEI | 3 нм (при 25 кВ, 10 пА) |
| Диаметр зонда для оже-анализа | 8 нм (при 25 кВ, 1 нА) |
| Электронная пушка | Полевая эмиссионная пушка Шоттки |
| Ускоряющее напряжение | От 0.5 до 30 кВ |
| Ток зонда | 10-11 до 2 × 10-7A |
| Увеличение | х 25 до 500,000 XNUMX |
| Система оже-анализа | |
| Анализатор | Электростатический полусферический анализатор (HSA) |
| Энергетическое разрешение (ΔE/E) | 0.05 в 0.6% |
| чувствительность | 840,000 7 имп/с/XNUMX каналов и более
(при 10 кВ 10 нА Cu-LMN, разрешение 0.6%, угол наклона 60°) |
| Система обнаружения | Многоканальное обнаружение |
| Ионная пушка | |
| Энергия ионов | от 0.01 до 4 кэВ |
| Ионный ток (поглощенный ток) | 2 А или более при 3,000 эВ, 0.03 А или более при 10 эВ |
| Функция нейтрализации | Встроенный |
| Стадия образца | |
| Движение образца | X: ±10 мм, Y: ±10 мм, Z: ±6 мм,
T (наклон): от 0 до 90, R (вращение): 360 (бесконечно) |
| Размер образца | Диаметр 20 мм (толщина 5 мм) |
| Система эвакуации сверхвысокого вакуума | |
| Предельное давление в камере образца | 5 × 10-8Па или меньше |
| Выпечка | Встроенный нагреватель, автоматическое выпекание |
| Программное обеспечение для георадаров | |
| сбор данных | Спектр,
Профиль глубины, Профиль линии, изображение Оже, SEI (вторичное электронное изображение) Анализ изображения широкой области (опционально), Анализ расписания (необязательно) |
| Обработка данных | Качественный анализ,
Количественный анализ, Дифференциация, Сглаживание, Обработка изображений, ввод текста, Программное обеспечение для деконволюции пиков (дополнительно) |
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Расширяемость
Предусмотрены дополнительные порты для подключения следующих насадок, поддерживающих различные анализы.
Блок парковки образцов
Устройство для охлаждения и разрушения образцов
Детектор обратнорассеянных электронов
Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDS)
Блок дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)
Транспортное судно
Скачать буклет
JAMP-9510F Автоэмиссионный оже-микрозонд
Приложения
Приложение JAMP-9510F
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.