Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-F100

JSM-F100 включает в себя не только нашу широко известную электронную пушку Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе и «Neo Engine» (электронно-оптическую систему управления), но также новый графический интерфейс «SEM Center» и инновационный «LIVE-AI (живое изображение). Visual Enhancer — искусственный интеллект) фильтр». Это обеспечивает оптимальное сочетание визуализации с высоким пространственным разрешением и высокой функциональностью. Кроме того, JSM-F100 поставляется с энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (EDS) JEOL, который полностью интегрирован в «SEM Center» для беспрепятственного получения изображений от результатов элементного анализа. Вдохновленный пользователями в стремлении к развитию и интеграции высокой производительности и удобства, JSM-F100 достигает превосходной эффективности работы, 50% или выше, чем у нашей предыдущей серии JSM-7000, что приводит к значительному увеличению пропускной способности.

Особенности

Новая функция «SEM Center» для интеграции ЭЦП

Недавно разработанный графический интерфейс пользователя «SEM Center» полностью интегрирует визуализацию SEM и анализ EDS. Эта мощная функция обеспечивает удобство работы нового поколения и изображения с высоким разрешением, полученные с помощью FE-SEM.

Новая функция «Зеромаг»

«Zeromag», встроенный для плавного перехода от оптического изображения к SEM, позволяет легко определить местонахождение целевой области образца.

Новый фильтр LIVE-AI _{*Вариант}

Используя возможности ИИ (искусственного интеллекта), встроен фильтр LIVE-AI для более высокого качества живых изображений. В отличие от обработки интеграции изображений, этот новый фильтр может отображать бесшовное движущееся живое изображение без остаточного изображения. Эта уникальная функция очень эффективна для быстрого поиска областей наблюдения, фокусировки и настройки стигматора.

Сравнение обычного режима и фильтра LIVE-AI

Автоэмиссионная электронная пушка Schottky Plus в объективе (FEG)

Усовершенствованная интеграция электронной пушки и конденсаторной линзы с низкой аберрацией обеспечивает более высокую яркость. Достаточный ток зонда доступен при низком ускоряющем напряжении, поддерживая различные возможности от визуализации с высоким разрешением до высокоскоростного картирования элементов.

Гибридный объектив (HL)

Гибридная линза (HL), сочетающая в себе электростатическую линзу и линзу электромагнитного поля, поддерживает визуализацию с высоким пространственным разрешением и анализ различных образцов, от магнитных материалов до изоляторов.

NeoEngine (новый электронно-оптический движок)

Neo Engine, передовая электронно-оптическая система управления, обеспечивает значительно улучшенную точность автоматических функций, а также значительно более высокую работоспособность.

АФС・ACB

Перед настройкой автофокуса

После настройки автофокуса

Образец: наночастицы Sn на углероде
Ускоряющее напряжение: 15 кВ, WD: 2 мм, Режим наблюдения: BD, Детектор: UED, Увеличение: x200,000 XNUMX

ACL (объектив с управлением углом диафрагмы)

JSM-F100 включает в себя объектив с управлением углом апертуры (ACL). ACL подавляет распространение падающих электронов, чтобы всегда поддерживать наименьший зонд. Это достигается за счет оптимального управления углом апертуры при больших изменениях тока зонда, что обеспечивает бесперебойную работу РЭМ, включая визуализацию с высоким разрешением и рентгеновский анализ. Вместе с электронной пушкой Шоттки в объективе ACL имеет первостепенное значение для поддержки этого многоцелевого РЭМ.

Детекторная система

В JSM-F100 можно установить четыре детектора, чтобы вы могли одновременно наблюдать различные изображения РЭМ, уникально сформированные каждым детектором. Как и в обычном РЭМ с внешней линзой, доступны светодиод (нижний детектор электронов) и дополнительный RBED (выдвижной детектор обратнорассеянных электронов). Кроме того, в JSM-F100 установлены два встроенных в объектив детектора: стандартный UED (детектор верхних электронов) и опциональный USD (детектор верхних вторичных электронов). UED формирует изображение SEM, которое смешивает вторичные электроны и электроны обратного рассеяния под большим углом. USD обнаруживает вторичные электроны низкой энергии, перехваченные энергетическим фильтром сразу под UED, для формирования изображения SEM.

■UED: электроны обратного рассеяния под большим углом
(композиционная и кристальная информация)

■RBED: обратно рассеянные электроны
(композиционная, кристаллическая и топографическая информация)

■USD: вторичные электроны
(поверхностная морфологическая информация)

■SED: вторичные и обратно рассеянные электроны
(топографическая информация)

Лаборатория SMILE VIEW™

СМИЛЕНАВИ _{*Вариант}

SMILENAVI — это вспомогательный инструмент, разработанный для начинающих, позволяющий выполнять основные операции SEM. Когда оператор нажимает соответствующую кнопку, как показано на блок-схеме SMILENAVI, графический интерфейс пользователя SEM связывается с операцией щелчка для управления оператором. Поскольку в графическом интерфейсе отображаются этапы работы и расположение кнопок, операторы смогут управлять РЭМ без использования SMILENAVI.

Ссылка

Выпуск Новостей
Выпуск нового автоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа Шоттки JSM-F100 ― Следующий уровень аналитического интеллекта в FE-SEM для сочетания высокого разрешения и удобства работы ―

Специальное содержание JSM-F100　

Характеристики

Особенности

Детали извещателей DrySDTM 60 мм² 133 эВ или менее от B до U

Основные параметры

• Функция низкого вакуума

• Выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (RBED)

• Детектор верхних вторичных электронов (долл. США)

• Низковакуумный детектор вторичных электронов (LVSED)

• Сканирующий детектор просвечивающих электронов (STEM)

• Система дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)

• Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (WDS)

• Эмиссионный спектрометр мягкого рентгеновского излучения (SXES)

• Детектор катодолюминесценции (CL)

• Камера обмена образцами

• Система сценической навигации (СНС)

• Камерная камера

• Операционный стол

• Панель управления

• трекбол

• СМИЛЕНАВИ

• LIVE-AI фильтр

• Карта SMILE VIEW™

Скачать буклет

Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-F100

Приложения

Приложение JSM-F100

CLEMnote

Подробнее