В ФОКУСЕ
ОСОБЕННОСТЬ1 Изображения высокого разрешения, полученные с помощью FE-SEM.
Электронная пушка Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе (FEG)
В объективе Schottky Plus FEG реализована улучшенная яркость в результате интеграции электронной пушки и конденсаторной линзы с низкой аберрацией. С помощью этого ФЭГ генерируемые электроны могут быть эффективно сфокусированы, обеспечивая зондирующие токи порядка от нескольких пА до нескольких десятков нА даже при низких ускоряющих напряжениях. Наблюдение с высоким разрешением — это просто: нет необходимости переключать апертуру объектива для задач от быстрого картирования элементов до EBSD и SXES-анализа.
Гибридный объектив (HL)
JSM-F100 поставляется с объективом JEOL с наложением электростатического/электромагнитного поля, Hybrid Lens (HL). Этот мощный объектив позволяет наблюдать и анализировать любые образцы, включая магнитные и изоляционные материалы, с высоким пространственным разрешением.
- ※BD（Замедление луча）：
- Приложение напряжения смещения до -2 кВ к предметному столику позволяет замедлить падающий электронный пучок непосредственно перед образцом. Эта функция улучшает пространственное разрешение и отношение сигнал/шум (S/N) при низком ускоряющем напряжении.
JSM-F100 FE-SEM позволяет наблюдать наноструктуры. Выбор условий наблюдения и детекторов, подходящих для ваших задач, позволяет получать характерные изображения РЭМ различных образцов.
-
Образец: наночастицы Pt на углероде,
Ускоряющее напряжение: 20 кВ, WD: 2 мм,
Режим наблюдения: BD, Детектор: UED -
Образец: Провод электрической лампы,
Ускоряющее напряжение: 10 кВ, WD: 6 мм,
Режим наблюдения: LV, Детектор: LVBED -
Образец: уплотнительная лента,
Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, WD: 2 мм,
Режим наблюдения: BD, Детектор: UED -
Образец: Ультратонкий срез клубочка мыши,
Ускоряющее напряжение: 5 кВ, WD: 4 мм,
Режим наблюдения: BD, Детектор: RBED (контрастное обращение)
- ※ LV (функция низкого вакуума) ＊Опция：
- Функция низкого вакуума позволяет проводить простые наблюдения и анализы без проводящего покрытия для изоляционных материалов.
ОСОБЕННОСТЬ2 Инновационная функциональность
Благодаря интегрированным оптическим изображениям, изображениям SEM и анализу EDS,
производительность измерений будет значительно улучшена.
ОСОБЕННОСТЬ3
Лаборатория SMILE VIEW™
Автоматическое связывание оптических и СЭМ-изображений с результатами ЭДС
JSM-F100 предлагает возможность подключения к SMILE VIEW™ Lab, новой системе управления данными, используемой для аналитических инструментов JEOL. Это полезно для управления данными, анализа и создания отчетов.
- ※ Объектив управления углом диафрагмы (ACL):
- Линза управления углом апертуры (ACL), расположенная над линзой объектива, автоматически оптимизирует угол апертуры линзы объектива во всем диапазоне тока (от 1 пА до 300 нА). Даже когда ток зонда увеличивается, ACL подавляет распространение падающих электронов, чтобы постоянно поддерживать минимально возможный размер зонда. ACL обеспечивает бесперебойную работу при любом уровне тока зонда, от наблюдения с высоким разрешением до анализа, требующего высокого тока зонда.
НОВАЯ ФУНКЦИЯ
НОВАЯ ФУНКЦИЯ 1
Встроенный ИИ для SEM
РЕАЛЬНЫЙ ИИ-фильтр (Визуальный усилитель живого изображения — AI: LIVE-AI)※ Опция
JEOL включила фильтр LIVE-AI (искусственный интеллект) для более высокого качества живых изображений. В отличие от обработки интеграции изображений, фильтр LIVE-AI может отображать бесшовное движущееся живое изображение без остаточного изображения. Эта уникальная функция очень эффективна при поиске области наблюдения, а также при коррекции фокуса и астигматизма.
Сравнение обычного режима и фильтра LIVE-AI
-
Нормальный режим
-
С фильтром LIVE-AI
Образец: экзоскелет муравья. Ускоряющее напряжение: 0.5 кВ, Детектор: СЭД
Образец: Железная ржавчина. Ускоряющее напряжение: 1 кВ, Детектор: СЭД
НОВАЯ ФУНКЦИЯ 2
Автоматический захват больших площадей
Монтаж
Монтажные изображения, которые охватывают большие области с автоматическим захватом каждой области и коррекцией позиционного сдвига области, могут быть получены простым указанием областей и условий получения. Применение цифрового увеличения к полученным монтажным изображениям отображает подробную информацию об образце. Кроме того, с помощью ЭЦП можно одновременно получать монтажные карты элементов, что позволяет автоматически получать большой объем информации без помощи оператора.
НОВАЯ ФУНКЦИЯ 3
Система обмена образцами
Применимо к образцам всех размеров, а также к оптическим изображениям
Выдвижная система, подходящая для замены больших образцов, используется в стандартной комплектации. Он также может получать оптическое изображение, поиск области наблюдения и управление данными могут быть быстрее и проще. Использование дополнительной системы замены образцов обеспечивает быструю и чистую загрузку/выгрузку образцов.
