Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

Мягкий рентгеновский эмиссионный спектрометр (SXES) представляет собой спектрометр сверхвысокого разрешения, состоящий из недавно разработанной дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской ПЗС-камеры.
Так же, как и в случае EDS, возможно параллельное детектирование и может быть выполнен анализ со сверхвысоким энергетическим разрешением 0.3 эВ (край Ферми, стандарт Al-L), превосходящий энергетическое разрешение WDS.

Особенности

Youtube

  • Нажмите кнопку «Повтор» в поле выше, и фильм начнется (на 4 минуты)

Схема системы

Новая конструкция оптической системы спектрометра позволяет одновременно измерять спектры с разными энергиями без перемещения дифракционной решетки или детектора (ПЗС). Благодаря высокому энергетическому разрешению можно выполнять картирование анализа химического состояния.

Сравнение SXES, WDS и EDS

Спектры нитрида титана различными методами спектрометрии

Для нитрида титана пики N-Kα и Ti-Ll перекрываются. Даже с WDS требуется деконволюция формы сигнала с использованием математического метода. Как показано на рисунке ниже, SXES обеспечивает высокое энергетическое разрешение, что позволяет наблюдать TiLXNUMX.

Сравнительная таблица

Особенность ССЕС EPMA (ВДС) EDS
Постановления 0.3 eV
(край Ферми Al-L)
8 эВ (FWHM@Fe-K) 120-130 эВ
(FWHM@Mn-K)
Анализ состояния химической связи Да Да (в основном легкие элементы) Нет
Параллельное обнаружение Да Нет
(Но возможно несколько спектрометров)
Да
Спектральные элементы и детектор Дифракционная решетка+CCD Анализ кристалла + пропорциональный счетчик SDD
Охлаждение детектора Охлаждение Пельтье Не нужно Охлаждение Пельтье
Предел обнаружения
(справочное значение с B)
20ppm 100ppm 5000ppm

Пример анализа литий-ионной батареи (LIB)

В приведенном ниже примере показаны карты больших площадей образцов LIB с разным состоянием заряда. SXES может отображать пик Li-K как в состоянии валентной зоны (слева), так и в основном состоянии (в центре). На карте распределения углерода (справа) также можно увидеть полностью разряженную функцию LIB.

Спектр полностью заряженного образца Li-K

Примечание. В оксиде лития трудно обнаружить эмиссию Li-K.

Пример измерения светового элемента

Измерения соединений углерода с помощью SXES

Можно измерить разницу между алмазом, графитом и полимерами. Различия можно наблюдать по дополнительным пикам от π- и σ-связей. Поскольку при отображении берутся спектры каждого пикселя, можно создавать дополнительные карты для сдвигов пиков на 1 эВ и плечевых пиков.

Измерения различных соединений азота

Для азота также состояние химической связи можно проанализировать по форме пика спектра. Формы пиков для нитратов и нитридов совершенно разные, и даже можно наблюдать уникальную форму пика для соли аммония, которая очень чувствительна к лучу. 

Характеристики

Энергетическое разрешение 0.3 эВ (измеренный спектр Al-L = 73 эВ)
Диапазон энергий сбора данных: дифракционная решетка JS50XL, область энергий 50–170 эВ.
Диапазон энергий регистрации: дифракционная решетка JS200N, область энергий 70–210 эВ.
Точки крепления камеры спектрометра:
EPMA WDSport: порт № 2 (правая сторона спереди)
Порт FE-SEM WDS (слева сзади спереди)
Размеры спектрометра: Ш 168 мм × Г 348 мм × В 683 мм

  • Расстояние включая ПЗС от интерфейса

Масса спектрометра 25 кг.

Поддерживаемые модели

EPMA: JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
РЭМ: JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

Скачать буклет

Приложения

Приложение SXES_SA

Справочник по SXES

Связанные товары

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!