Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

ДЖЕМ-ARM300F2
Атомное разрешение GRAND ARM™2
Аналитический микроскоп

JEM-ARM300F2 GRAND ARM™2 Аналитический микроскоп с атомным разрешением

Выпущен новый электронный микроскоп с атомарным разрешением!

"GRAND ARM™2" был модернизирован.
Этот новый «GRAND ARM™2» позволяет проводить наблюдения со сверхвысоким пространственным разрешением с высокочувствительным анализом в широком диапазоне ускоряющих напряжений.

Особенности

 

Feature1

Недавно разработанный полюсный наконечник объектива FHP2

Полюсный наконечник объектива FHP оптимизирован для наблюдений со сверхвысоким пространственным разрешением.
При сохранении этой возможности форма полюсного наконечника была дополнительно оптимизирована для телесного угла рентгеновского излучения и угла взлета крупногабаритных двойных SDD (158 мм).2).
В результате эффективная эффективность обнаружения рентгеновского излучения FHP2 более чем в два раза выше, чем у FHP. Он может обеспечить субангстремное разрешение в картах элементов EDS.

Изображения STEM-HAADF/ABF с атомарным разрешением и карты EDS для GaN[211]

 

Feature2

Новый корпус

Колонка TEM закрыта корпусом коробчатого типа, который может уменьшить влияние изменений окружающей среды, таких как температура, поток воздуха, акустический шум и т. д., а затем улучшает стабильность микроскопа.

 

Feature3

Корректор ETA и JEOL COSMO™
Быстрая и точная коррекция аберраций

JEOL COSMO™ использует только 2 ронхиграммы, полученные из любой аморфной области, для измерения и исправления аберраций.
Таким образом, система может обеспечить быструю и точную коррекцию аберраций без использования специальных образцов.

 

Feature4

Повышение устойчивости

В новой CFEG (электронной пушке с холодной полевой эмиссией) используется SIP меньшего размера с большим объемом откачки, чем раньше для GRAND ARM™2. Увеличение откачиваемого объема СИП улучшает степень вакуума вблизи эмиттера внутри КФЭГ, а также улучшает стабильность эмиссионного и зондового токов. Миниатюризация SIP позволяет уменьшить общую массу CFEG примерно на 100 кг.
Снижение веса CFEG повышает устойчивость микроскопа к вибрации.

Другие усовершенствования также повышают стабильность и устойчивость микроскопа к различным помехам.

Ускоряющее напряжение GRAND ARM™ (FHP) GRAND ARM™2 (FHP2)
300 кВ 63 м. 53 м.
200 кВ 78 м. 63 м.
80 кВ 136 м. 96 м.
60 кВ 136 м. 96 м.
40 кВ 192 м. 136 м.
Ускоряющее напряжение GRAND ARM™ (WGP) GRAND ARM™2 (ВГП)
300 кВ 82 м. 59 м.
200 кВ 105 м. 82 м.
80 кВ 136 м. 111 м.
60 кВ 192 м. 136 м.
40 кВ 313 м. 192 м.

Таблица 1. Гарантированное разрешение изображения STEM с корректором STEM ETA для GRAND ARM™ и GRAND ARM™2.

 

Feature5

Система OBF (опция)

В новом методе визуализации 'OBF STEM (оптимальное светлое поле STEM)', необработанные изображения, полученные с помощью сегментированного детектора STEM, используются в качестве источника для реконструкции фазового изображения со специальными фильтрами Фурье, чтобы максимизировать отношение сигнал/шум полученного изображения.
Этот многообещающий метод реализует более высокий контраст как для тяжелых, так и для легких элементов даже при работе в условиях чрезвычайно низкой дозы электронов. Чувствительные к лучу материалы, которые трудно наблюдать с помощью стандартных методов ADF и ABF STEM, можно легко анализировать с более высокой контрастностью в широком диапазоне увеличений.

К. Ооэ, Т. Секи, и др., Ультрамикроскопия 220113133 (2021)

Визуализация с низкой дозой облучения STEM

Чувствительные к лучу материалы, включая металлоорганические каркасы (MOF) и цеолиты, требуют пониженной дозы электронов (обычно ток зонда < 1.0 пА) при сохранении четких атомных контрастов для каркасов легких элементов.
OBF STEM имеет преимущество для таких экспериментов с низкой дозой, реализуя сверхвысокую дозоэффективную визуализацию STEM с атомарным разрешением. 

Оба изображения OBF STEM MOF MIL-101 (слева) и MFI Zeolite (справа) получены в одном снимке, и высокое пространственное разрешение 1 Å также можно наблюдать на диаграмме БПФ на правой вставке. Кроме того, усреднение изображения стека (врезка слева) подтверждает, что разрешение и контраст очень хорошо сбалансированы.

Образец: МОФ MIL-101
Инструмент: JEM-ARM300F2
Ускоряющее напряжение: 300 кВ
Полуугол схождения: 7 мрад
Ток зонда: <0.15 пА
Вставки) Шаблон БПФ и усредненное изображение по 50 кадрам
Образец предоставлен профессором Чжэнься Чжао, Университет Гуанси.

Образец: Цеолит MFI
Инструмент: JEM-ARM300F2
Ускоряющее напряжение: 300 кВ
Полуугол схождения: 16 мрад
Ток зонда: 0.5 пА
Вставки) Шаблон БПФ

Высококонтрастное изображение для светлых элементов

Помимо высокой эффективности дозы, OBF STEM также полезен для визуализации легких элементов.
Даже при более низком ускоряющем напряжении можно достичь как более высокого контраста, так и пространственного разрешения для легких элементов.

Образец: GaN [110]
Инструмент: JEM-ARM200F
Ускоряющее напряжение: 60 кВ
Полуугол схождения: 35 мрад


Образец: графен
Инструмент: JEM-ARM200F
Ускоряющее напряжение: 60 кВ
Полуугол схождения: 35 мрад


Разрешение для легких элементов становится намного лучше при более высоком ускоряющем напряжении.
Каждый столбец атомов теперь четко разделен с глубоким субангстремным разрешением внутри сложных структур или вдоль кристаллографических осей с более высоким индексом.
Качество OBF STEM превосходно в условиях низкой дозы и дополнительно улучшается при стандартных условиях зонда электронного микроскопа с поправкой на Cs.

Образец: β-Si3N4 [0001]
Инструмент: JEM-ARM200F
Ускоряющее напряжение: 200 кВ
Полуугол схождения: 24 мрад
Врезка) 10 кадров в среднем


Образец: GaN [211]
Инструмент: JEM-ARM300F2
Ускоряющее напряжение: 300 кВ
Полуугол схождения: 32 мрад
Врезка) 20 кадров в среднем


  • e-ABF (расширенный ABF) недоступен в конфигурации SAAF Quad.

Живая визуализация OBF

В реальном эксперименте живая визуализация OBF имеет основополагающее значение для чувствительных к лучу материалов, поскольку все операции должны выполняться в условиях ограниченной дозы. Функция Live включена в систему OBF, реализованную в программном обеспечении управления TEM, с простым управлением графическим интерфейсом и обновлениями дисплея в реальном времени наряду с обычными изображениями STEM.

Кино

Наблюдение за изображениями OBF-STEM в реальном времени с помощью JEM-ARM200F

◆Нажмите кнопку «Повторить» в поле выше, и фильм начнется (около 1 мин.) ◆

Ссылка

  • Выпуск Новостей

Характеристики

Основные технические характеристики

Версия Конфигурация со сверхвысоким разрешением Конфигурация с высоким разрешением
Полюс объектива FHP2 WGP
Стандартное ускоряющее напряжение 300кВ, 80кВ
Электронная пушка Пистолет с холодной полевой эмиссией
Разрешение STEM Установлен корректор STEM 300кВ / 80кВ Cs
53 вечера / 96 вечера 59 вечера / 111 вечера
Разрешение ТЕМ Установлен корректор Cs ТЭМ 300 кВ / 80 кВ
Разрешение решетки 50pm/- Разрешение решетки 60 пм/-
Нелинейный информационный лимит
60 вечера / 90 вечера
Нелинейный информационный лимит
70 вечера / 100 вечера
Линейный информационный лимит
90 вечера / 160 вечера
Линейный информационный лимит
100 вечера / 170 вечера
Максимальный угол наклона При использовании наклоняемого держателя образцов JEOL для анализа
X: ± 30°/Y: ± 27° X: ± 36°/Y: ± 31°
При использовании держателя образца с высоким наклоном
Х:± 90° Х:± 90°

Скачать буклет

Приложения

Приложение JEM-ARM300F2

Фото

Кино

Карта EDS с атомарным разрешением JEOL от GRAND ARM™2 с полюсным наконечником FHP2 и 158 мм2 двойная система SDD

◆Нажмите кнопку «Повторить» в поле выше, и фильм начнется (около 1 мин.) ◆

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!