ИБ-07080АТЛПС, ИБ-77080АТЛПС
Автоматический образец ПЭМ
Система подготовки STEMPLING

Автоматическая система подготовки образцов для ТЭМ STEMPLING — это программное обеспечение для автоматической подготовки образцов для ТЭМ с использованием FIB. Эта система была разработана для удовлетворения потребностей в подготовке образцов с использованием FIB, таких как простота работы, доступная каждому, и для технологии, позволяющей создавать большое количество образцов. Благодаря STEMPLING для подготовки образцов не требуются высокие профессиональные навыки, что позволяет любому человеку легко подготовить образцы. Кроме того, поскольку система позволяет готовить несколько образцов без участия человека, эффективность работы можно оптимизировать за счет работы в ночное время для создания большого количества образцов.
STEMPLING можно использовать с многолучевой системой JIB-4700F и системой фрезерования и визуализации сфокусированным ионным пучком JIB-4000PLUS.

Особенности

Различные образцы могут быть подготовлены с помощью простой настройки

Предусмотрены стандартные рецепты для подготовки 5 видов образцов, таких как образец для ТЭМ и образец для поперечного сечения.
Его можно использовать в различных сценах подготовки образцов с использованием FIB.

Рис.1 Образцы, которые можно приготовить по стандартным рецептам. Образец: кремниевая пластина

Несколько образцов могут быть подготовлены с помощью автоматической обработки

Функция автоматической настройки ионного луча позволяет автоматически готовить несколько образцов в течение длительного периода времени.
Это обеспечивает автоматическую подготовку образца в течение ночи. На рис. 2 показан результат непрерывной подготовки образца для ПЭМ в течение примерно 8 часов.
Было приготовлено 10 образцов, все они были приготовлены одинаково, что свидетельствует о стабильности автоматической подготовки образцов.

Рис. 2 Пример длительной непрерывной подготовки образца для ПЭМ (8 часов) Образец: кремниевая пластина

Размер тонкой пленки: 10 мкм (Ш) x 7 мкм (В)
Толщина тонкой пленки: 100 нм

Надежная подготовка неплоских образцов для ТЭМ

Благодаря автоматической эуцентрической регулировке можно автоматически стабильно изготавливать образцы даже из материалов с неровной поверхностью или разной высоты.
На рис. 3 показан образец тонкой пленки, полученный с использованием образца с неровной поверхностью с шагом около 70 мкм.
Образцы тонкой пленки были изготовлены правильно в верхней и нижней части ступени. 

Рис. 3 Пример подготовки образца ТЭМ с различной высотой поверхности (Образец: сетка образца ТЭМ (Cu) на кремниевой пластине)

Применимые инструменты

Ссылка

JIB-4000PLUS Система фрезерования и обработки изображений сфокусированным ионным пучком

Многолучевая система JIB-4700F Специальный сайт

Многолучевая система JIB-4700F

Скачать буклет

IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS Автоматическая система подготовки образцов для ТЭМ STEMPLING

Подробнее