В ФОКУСЕ
Беспрепятственное наблюдение и анализ
Дальнейшее усиление возможностей обработки FIB. Значительно улучшенное изображение SEM благодаря новой оптической колонке. Улучшенная работоспособность благодаря возможностям связи.
FIB: дополнительные возможности обработки
- ・Усовершенствованная система управления
Система векторного сканирования позволяет плавно обрабатывать произвольную форму.
Включено простое 3D-наблюдение и анализ. - ・Большой ток ионного пучка до 90 нА
Включена высокоскоростная обработка образца.
SEM: улучшенная производительность изображения
- ・Высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении
Комбинация гибридного конического объектива и GENTLEBEAM™ обеспечивает высокое разрешение при низком ускоряющем напряжении (1.6 нм при 1 кВ). - ・Получение различных изображений
Недавно добавленные детекторы UED и USD позволяют получать различные изображения SEM, которые содержат информацию о свойствах, химическом составе и кристаллической структуре. - ・Высокое разрешение при большом токе зонда
Комбинация «электронной пушки Шоттки в объективе» и объектива с контролем угла апертуры (ACL) поддерживает высокое разрешение при большом токе зонда, что позволяет проводить быстрый анализ.
3D наблюдение и анализ
- ・Стабильное автоматическое измерение
Система Slice and View (стандартный компонент JIB-4700F) позволяет автоматически повторять обработку, наблюдение и анализ. - ・Простая реконструкция
После повторения шагов реконструированное 3D-изображение получается с помощью программного обеспечения для 3D-реконструкции (IB-67020STKV)* из серийно полученных данных.
ЗАЯВЛЕНИЕ
Универсальные решения, предлагаемые FIB-SEM
Подготовка образца поперечного сечения, подготовка образца ПЭМ, 3D-наблюдение, 3D-анализ EDS, 3D-анализ EDSD, обработка мелких форм
Поперечное сечение
Многолучевая система JIB-4700F обеспечивает бесшовные операции от подготовки защитной пленки, фрезерования образцов до наблюдения и анализа поперечных сечений. Колонка FIB позволяет проводить обработку пучком ионов Ga с большим током (до 90 нА). Такая обработка большим током особенно эффективна при подготовке образцов большой площади.
Образец ТЭМ
Комбинация JIB-4700F и системы манипулятора обеспечивает плавную подготовку образцов для ТЭМ. Использование детектора обратнорассеянных электронов позволяет наблюдать за ходом измельчения FIB с помощью СЭМ-изображения высокого разрешения. JIB-4700F повышает эффективность работы, например определение конечной точки фрезерования для подготовки образцов для ТЭМ.
-
Изображения STEM с атомным разрешением, полученные JEM-ARM200F NEOARM
Высококачественный образец ПЭМ, полученный с помощью полировки ионами аргона низкой энергии с помощью IonSlicer™
-
Карты EDS атомарного разрешения, полученные JEM-ARM200F NEOARM
Высококачественный образец ПЭМ, полученный с помощью полировки ионами аргона низкой энергии с помощью IonSlicer™
3D-ЭДС-анализ
3D-EDS* обеспечивает автоматические последовательные этапы как фрезерования FIB с падающим ионным пучком, перпендикулярным поверхности образца, так и анализа EDS с использованием зонда SEM. Высокое разрешение при большом токе зонда позволяет проводить быстрый анализ EDS.
3D-EBSD-анализ
Оптимально расположенный детектор EBSD* позволяет проводить обработку и анализ без перемещения предметного столика. Эта функция обеспечивает высокую позиционную точность сбора данных с сокращенным временем.
