Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

Успехи в разработке новых материалов со сложной наноструктурой предъявляют повышенные требования к приборам FIB-SEM в отношении исключительного разрешения, точности и производительности. В ответ компания JEOL разработала многолучевую систему JIB-4700F для использования в морфологических наблюдениях, элементном и кристаллографическом анализе различных образцов.

Особенности

JIB-4700F оснащен гибридным коническим объективом, режимом GENTLEBEAM™ (GB) и детекторной системой внутри объектива, что обеспечивает гарантированное разрешение 1.6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ. Используя «электронную пушку Шоттки в объективе», которая создает электронный пучок с максимальным зондирующим током 300 нА, этот недавно разработанный прибор позволяет проводить наблюдения с высоким разрешением и быстрый анализ. В колонке FIB для измельчения и обработки образцов с помощью быстрых ионов используется пучок ионов Ga с высокой плотностью тока и максимальным током зонда до 90 нА.
Параллельно с высокоскоростной обработкой поперечных сечений с помощью FIB можно проводить наблюдения с помощью SEM с высоким разрешением и быстрый анализ с использованием энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS) и дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD). Кроме того, функция трехмерного анализа, которая автоматически захватывает изображения СЭМ через определенные промежутки времени при обработке поперечных сечений, является одной из стандартных функций JIB-4700F. 

СЭМ-наблюдение с высоким разрешением

Гарантированное разрешение 1.6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ обеспечивается магнитно-электростатическим гибридным коническим объективом, режимом ГБ и детектором внутри линзы.

Быстрый анализ

Быстрый анализ возможен, потому что высокое разрешение может поддерживаться при анализе при большом токе зонда за счет комбинации с электронной пушкой Шоттки в линзе и линзой для управления углом апертуры.

Высокая скорость обработки

Мощная колонка с ионами Ga обеспечивает быструю обработку образцов.

Усовершенствованная система обнаружения

Система одновременного обнаружения, включающая недавно разработанные встроенные в объектив детекторы, позволяет в режиме реального времени наблюдать за изображениями с 4 детекторов.

Гибкость

JIB-4700F совместим с различными дополнительными приспособлениями, включая EDS, EBSD, системы криопереноса, этапы охлаждения, системы переноса с воздушной изоляцией и т. д.

Трехмерное наблюдение/анализ

Трехмерная визуализация изображений и данных анализа возможна в сочетании с РЭМ высокого разрешения и соответствующими дополнительными блоками анализа.

Функция ступенчатой ​​связи

Благодаря системе захвата атмосферы (дополнительно) и функции соединения предметного столика образцы, полученные с помощью ПЭМ (просвечивающей электронной микроскопии), можно легко втягивать.

Система наложения изображений

Наложение изображения оптического микроскопа из системы захвата атмосферы на изображения FIB упрощает идентификацию точки обработки FIB.

Ссылка

Характеристики

SEM
Посадочное напряжение От 0.1 до 30.0 кВ
Разрешение изображения (при оптимальном WD) 1.2 нм (15 кВ, режим ГБ)
1.6 нм (1 кВ, режим ГБ)
Увеличение x20 до 1,000,000
(доступен режим LDF)
Ток зонда от 1 пА до 300 нА
Детектор (*опция) LED, UED, USD*, BED*, TED*, EDS*
Стадия образца Компьютеризированный 6-осевой гониометрический столик
X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: от 1.5 до 40 мм, R: 360°, T: от -5 до 70°,
ФЗ: от -3.0 до +3.0 мм
FIB
Ускоряющее напряжение От 1 до 30 кВ
Разрешение изображения 4.0 нм (30 кВ)
Увеличение x50 до 1,000,000
(от x50 до 90 при напряжении 15 кВ или меньше)
Ток зонда от 1 пА до 90 нА, 13 шагов
Обработка форм фрезерованием прямоугольник, линия, точка, круг, растровое изображение

Скачать буклет

Приложения

Приложение JIB-4700F

Фото

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!