Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

ДЖИБ-4000ПЛЮС
Сфокусированный ионный пучок
Система фрезерования и визуализации

СНЯТО

JIB-4000PLUS Система фрезерования и обработки изображений сфокусированным ионным пучком

JIB-4000PLUS — это система фрезерования и визуализации сфокусированного ионного луча (однолучевая система FIB) с высокопроизводительной ионно-оптической колонкой. Ускоренный пучок ионов Ga (галлия) фокусируется на образце, чтобы обеспечить возможность наблюдения SIM-изображения поверхности образца, фрезерования и осаждения таких материалов, как углерод или вольфрам. Система также позволяет подготовить образец тонкой пленки для визуализации ПЭМ и образец поперечного сечения для наблюдения за внутренней частью образца.
Кроме того, JIB-4000PLUS может быть оснащен функцией трехмерного наблюдения и функцией автоматической подготовки образцов для ТЭМ; таким образом, система удовлетворяет различные потребности в подготовке образцов.

Особенности

Колонка FIB высокой мощности

JIB-4000PLUS включает колонку High-Power FIB с максимальным током ионного пучка 60 нА. Кроме того, система может увеличить ток пучка до 90 нА (опционально) для сокращения времени подготовки образца и расширения области подготовки образца. JIB-4000PLUS позволяет в короткие сроки подготовить поперечный срез диаметром более 100 мкм.

Рис.1 Подготовка и наблюдение образца поперечного сечения штыря припоя (диаметр 100 мкм).

Удобный FIB

JIB-4000PLUS предлагает превосходную работоспособность колонки High-Power FIB. Концепция дизайна системы заключается в удобстве для пользователя, внешний вид и графический интерфейс рассчитаны на простую работу с системой даже для начинающих пользователей. Компактность системы, наименьший класс в отрасли, обеспечивает малую занимаемую площадь для более широкого выбора места установки.

Двойной этап

Стандартная конфигурация JIB-4000PLUS включает моторный столик для объемных образцов. Также можно добавить столик гониометра с боковым входом, который позволяет напрямую вставлять держатель чипа TEM. Столик гониометра с боковым входом такой же, как и для TEM JEOL, что облегчает чередование фрезерования FIB и наблюдений TEM.

Функция 3D наблюдения

JIB-4000PLUS поставляется с функцией серийной визуализации поперечных сечений для трехмерного наблюдения.
Хотя JIB-4000PLUS представляет собой однолучевую систему FIB, трехмерное наблюдение можно выполнять с использованием SIM-изображения. Дополнительное программное обеспечение для 3D-реконструкции позволяет выполнять 3D-реконструкцию полученных изображений нескольких поперечных сечений, позволяя отображать 3D-изображение под разными углами.

Рис.2 Трехмерное изображение реконструкции ПЗС-сенсора изображения

Функция автоматической подготовки образцов для ТЭМ

JIB-4000PLUS может использовать «STEMPLING», функцию автоматической подготовки образцов для ПЭМ (опционально).
Благодаря этой функции для подготовки образцов не требуются высокие навыки специалиста, что позволяет любому человеку легко подготовить образцы. Поскольку эта функция также обеспечивает автоматическую подготовку нескольких образцов, для подготовки большого количества образцов можно использовать автоматическую операцию в ночное время.

Рис.3 Пример применения функции автоматической подготовки образца для ПЭМ (STEMPLING). Образец: кремниевая пластина

Богатство вложений

JIB-4000PLUS поддерживает различные приспособления, доступные для поддержки работы системы, в том числе систему навигации САПР, полезную для модификации схемы, и систему векторного сканирования, эффективную для фрезерования образца характерной формы. Добавляя соответствующие приспособления к JIB-4000PLUS, система может поддерживать приложения, выходящие за рамки подготовки образцов.

Характеристики

FIB

Источник ионов Источник ионов жидкого металла Ga
Ускоряющее напряжение от 1 до 30 кВ (в 5 ступенях)
Увеличение ×60 (для поиска поля)
от ×200 до ×300,000 XNUMX
Разрешение изображения 5 нм (при 30 кВ)
Максимальный ток луча 60 нА (при 30 кВ)
90 нА (при 30 кВ)*Опционально
Подвижная диафрагма 12 шагов (моторный привод)
Обработка форм фрезерованием Прямоугольник, линия и точка

Стадия образца

Стадия образца Объемный предметный столик 5-осевого гониометра
Диапазон движения Х: ±11 мм
Y: ±15 мм
Z: от 0.5 до -23 мм
T: от -5 до +60°
Р: 360°
Максимальный размер образца 28 мм диам. (13 мм В)
50 мм диам. (2 мм В)

Скачать буклет

Приложения

Приложение JIB-4000PLUS

Фото

КИНО

  • Нажмите кнопку «Повтор» в поле выше, и фильм начнется (на 6 секунд)

Связанные товары

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!