EDM Basic (электростатический модулятор дозы)

Особенности

• Молниеносные скорости:
  Системы EDM достигают времени переключения меньше, чем 20 нс.

• Независимая регулировка интенсивности:
  Благодаря быстрому включению и выключению луча с переменной шириной импульса EDM позволяет легко регулировать среднюю интенсивность луча без изменения условий изображения. Настольная дополнительная ручка обеспечивает интуитивно понятный интерфейс для регулировки коэффициента ослабления дозы.

• Структурирование дозы:
  Пользователи могут управлять своим освещением, применяя дозу в импульсах с переменной длительностью до 100 нс и частотой до 500 кГц.

• Современное программное обеспечение управления:
  EDM работает из коробки как быстрый погаситель луча. Программное обеспечение управления включено для программируемого ослабления дозы, регистрации и многого другого.

• Интеграция:
  EDM действует как быстрый и надежный погаситель луча перед выборкой, поддерживая сопутствующую систему подкадрирования Relativity, а также стороннее оборудование.

Импульсное ПЭМ-освещение*

Импульсный луч STEM Освещение*

Ослабление дозы при импульсном освещении с частотой 500 кГц (2 мкс) в STEM высокого разрешения при 300 кВ с использованием Si[110] в условиях времени задержки пикселя с 19 мкс/пиксель (1,024 x 1,024 пикселя), путем изменения соотношения длительности от 90% до 50% при получении одного изображения STEM за 20 с.

Характеристики

Быстрое гашение луча

Ослабление дозы

опция электроэрозионной обработки

Применимая модель: JEM-ARM300F2, JEM-ARM200F (CFEG), NEOARM (CFEG), JEM-F200 (CFEG), ДЖЕМ-3300, ДЖЕМ-Z200FSC, ДЖЕМ-Z200CA

Галерея

◆Нажмите кнопку «Повторить» в поле выше, и фильм начнется (2.5 мин.)◆

Визуализация DPC с временным разрешением и EDM

Электростатический модулятор дозы (EDM) упрощает стробоскопические измерения в просвечивающем электронном микроскопе (TEM) и сканирующем просвечивающем электронном микроскопе (STEM). В данной статье рассматривается импульсное освещение, повышающее временное разрешение дифференциально-фазово-контрастной визуализации (DPC) с использованием быстродействующего сегментированного детектора SAAF Quad.¹. Образец² Устанавливается на чип в держателе образца смещения от Hummingbird Scientific. В течение каждого пикселя STEM-сканера генератор сигналов увеличивает напряжение смещения в диапазоне от -5 В до +5 В. После переменной задержки импульс логического уровня на вход быстрого электростатического затвора включает зондирующий луч на 2 мкс. Сбор данных может быть автоматизирован.

Изменяя время задержки импульса воздействия, можно измерять образец в различные моменты времени в течение сигнала смещения. Полное СТЭМ-изображение регистрируется для каждого времени задержки (показано точками на временной диаграмме слева). Несмотря на то, что запись каждого СТЭМ-изображения занимает более 10 секунд, временное разрешение измерения определяется длительностью импульса воздействия 2 мкс. Возбуждение образца можно осуществлять с помощью in-situ держателей, IDES Luminary.^TM Микро или другие системы, которые создают повторяющуюся динамику в образце.

Избранные изображения, полученные с помощью измерения методом tr-DPC SiC МОП-конденсатора. Поле в образце определяется по отклонению луча в каждой точке зонда. Интенсивность в верхнем ряду изображений показывает величину этого отклонения, а цвет — направление. Расхождение этих значений указывает на плотность заряда и автоматически рассчитывается программой сбора данных (нижний ряд изображений). Поле сосредоточено на границе оксида между SiC (слева) и Al (справа). При t = 15 мкс смещение пересекает нулевое значение, и поле меняет полярность.

1. Условия измерения: прибор JEM-F200, ускоряющее напряжение 200 кВ, режим STEM Лоренца, время задержки 50 мкс, количество пикселей 512 × 512. Схема экспериментальной установки упрощена. Подробную информацию о конфигурации можно получить в местном офисе продаж JEOL.

2. Образец представляет собой МОП-конденсатор, изготовленный из Al, SiO₂и n-типа SiC толщиной 200 нм, предоставленные Fuji Electric Co. Ltd.

Связанные товары

Связанные товары

Luminary Ultrafast TEM / Динамический TEM

Система фотовозбуждения образцов Luminary Micro Compact

Система электростатического каркаса относительности

Программируемый STEM с синхронизацией EDM

Контролируйте дозу на каждом пикселе.

Модулятор электростатической дозы (EDM) представляет собой систему быстрого гашения луча с электростатическим дефлектором перед пробой, включая электронику и программное управление. EDM также может ослаблять электронное освещение, не влияя на условия визуализации, предоставляя пользователям TEM и STEM больший контроль над дозой на своих образцах.

Необязательный Синхронное обновление выводит синхронизацию и синхронизацию EDM на новый уровень. Synchrony может координировать свои действия с контроллером STEM, отслеживая местоположение зондирующего луча, когда он сканирует образец. Молниеносное электростатическое гашение EDM включает луч на определенное время для каждого пикселя или держит луч в гашенном состоянии, чтобы полностью исключить чувствительные области из дозы.

Подробнее