Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-7610F

JSM-7610F — это полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки сверхвысокого разрешения с полулинзовым объективом. Оптика высокой мощности может обеспечить высокую пропускную способность и высокую производительность анализа. Он также подходит для анализа с высоким пространственным разрешением. Кроме того, режим мягкого луча может уменьшить проникновение падающих электронов в образец, позволяя вам наблюдать за его самой верхней поверхностью, используя несколько сотен посадочных энергий.

Особенности

Получение изображения с высоким разрешением и высокоэффективный анализ с помощью полулинзового объектива

JSM-7610F сочетает в себе две проверенные технологии — электронную колонку с полулинзовым объективом, который может обеспечить изображение высокого разрешения при низком ускоряющем напряжении, и встроенный в линзу Шоттки ФЭГ, который может обеспечить стабильный большой ток зонда — для обеспечения сверхвысокого разрешения с широкий диапазон токов зонда для всех приложений (от нескольких пА до более чем 200 нА).
ФЭГ Шоттки в линзе представляет собой комбинацию ФЭГ Шоттки и первой конденсорной линзы и предназначен для эффективного сбора электронов от эмиттера.

Визуализация самой верхней поверхности при низком ускоряющем напряжении в режиме мягкого луча (GB)

В режиме мягкого луча (GB) к образцу прикладывается отрицательное напряжение, а падающие электроны замедляются непосредственно перед тем, как они облучают образец, таким образом, разрешение улучшается при очень низком ускоряющем напряжении.
Таким образом, 7610F позволяет наблюдать самую верхнюю поверхность на несколько сотен эВ, что было трудно наблюдать обычными методами, а также непроводящие образцы, такие как керамика, полупроводники и т. д.

Высокопроизводительный и высокопроизводительный анализ High Power Optics

Высокомощная оптика производит тонкие электронные зонды как для наблюдения, так и для анализа.
Линза управления углом апертуры поддерживает малый диаметр зонда даже при большем токе зонда.
Используя оба метода, 7610F подходит для широкого спектра анализов с EDS, WDS, CL и т. д.

примеры применения

Получение изображения с высоким разрешением с помощью полулинзового объектива

Образец: Ускоряющее напряжение катализатора Pt 15 кВ

Образец: Углеродные нанотрубки, ускоряющее напряжение 30 кВ

Анализ с высоким пространственным разрешением с помощью полулинзового объектива

Поперечное сечение светодиода (анализ ЭДС многослойных слоев ниже 100 нм)

Визуализация самой верхней поверхности при сверхнизкой энергии приземления в режиме мягкого луча (GB)

Образец: фильтр Landing Energy 500 эВ

Образец: Мезопористый кремнезем. Энергия посадки 800 эВ.

Характеристики

Основные параметры

Выдвижной детектор обратно рассеянных электронов (RBEI)
Детектор электронов обратного рассеяния под малым углом (LABE)
Сканирующий детектор просвечивающих электронов (STEM)
Система сценической навигации (СНС)
Устройство ионной очистки
Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (ЭДС)
Рентгеновский спектрометр с дисперсией по длине волны (WDS)
Детектор катодолюминесценции (CL)
Держатель образца Доступны различные дополнительные держатели образца.

Приложения

Приложение JSM-7610F

CLEMnote

Применение MALDI: Анализ органических тонких пленок

LIBnote

Фото

• 

  ДЖСМ-7610Ф

Связанные товары

Система miXcroscopy™ для оптической и сканирующей электронной микроскопии

Теперь один и тот же держатель образца можно использовать как для оптического микроскопа, так и для сканирующего электронного микроскопа. В результате, управляя информацией об столике с помощью специального программного обеспечения, система может записывать места, наблюдаемые с помощью оптического микроскопа, а затем дополнительно увеличивать те же области с помощью сканирующего электронного микроскопа, чтобы наблюдать тонкие структуры при большем увеличении. более высокое разрешение. Цели наблюдения, обнаруженные с помощью оптического микроскопа, можно беспрепятственно наблюдать с помощью сканирующего электронного микроскопа без необходимости повторного поиска цели. Теперь можно плавно и легко сравнивать и проверять изображения оптического микроскопа и изображения сканирующего электронного микроскопа.

Подробнее