ДЖЕД-2300Т
Энергодисперсионный рентген
спектрометр

JED-2300T AnalysisStation — это система элементного анализа, которая может выполнять непрерывную операцию от наблюдения до анализа.

AnalysisStation JED-2300T представляет собой интеграционную систему TEM/EDS, основанную на концепции «Изображение и анализ». Управление данными осуществляется путем автоматического сбора таких параметров, как увеличение и ускоряющее напряжение, вместе с данными анализа.

Особенности

Доступны три типа кремниевых дрейфовых детекторов (SDD) EDS с площадью обнаружения 30 мм2, 60 мм2 и 100 мм2 соответственно. Чем больше площадь обнаружения, тем выше становится чувствительность обнаружения. За счет включения детектора Dry SD100GV (зона обнаружения 100 мм2) в JEM-ARM200F (HRP) одновременно реализуется большая площадь приема света и высокое разрешение, а также четкое различение световых элементов, таких как «B, C, N, O». возможный.

Сухой СД100ГВ

Высокоскоростное картографирование элементов

Детектор Dry SD100GV с высокой чувствительностью обнаруживает частицу катализатора Au всего за одну минуту измерения.

• Образец: частица катализатора Au, нанесенная на оксид титана

• Прибор: JEM-ARM200F + сухой детектор SD100GV

• Время измерения Приблизительно: 1 минута

• Ток зонда: 1 нА

• Количество пикселей: 256 x 256 пикселей

• Картирование атомарного разрешения

• Атомные столбцы Sr и Ti четко обособлены.

Картирование атомарного разрешения

Атомные столбцы Sr и Ti четко обособлены.

• Образец: SrTiO3<100>

• Прибор: JEM-ARM200F + сухой детектор SD100GV

• Приблизительное время измерения: 10 минут

• Ток зонда: 1 нА

• Количество пикселей: 128 x 128 пикселей

Воспроизвести

Данные элементарного картирования, полученные с помощью EDS JEOL, сохраняют спектр каждого пикселя для каждого кадра вместе с изображениями, полученными с помощью электронного луча. Функция «воспроизведения» позволяет проводить многосторонний анализ, включая наблюдение за изменением спектра за определенный период времени. Явление, происходящее в образце, которое невозможно было отследить, теперь можно наблюдать, воспроизводя данные анализа. Также возможно вырезать выбранные вами кадры. (Заявка на патент подана.)

• Образец: каменная соль

• Количество пикселей: 128 x 128 пикселей

• Пример номера кадра: 398 кадров

Приложения

Приложение JED-2300T

Структурный анализ полупроводниковых приборов с использованием томографии STEM/EDS

Подробнее