ЭМ-05500ТГП
Система ТЕМ-томографа

Трёхмерная структура с высокой точностью Система томографа ПЭМ представляет собой систему автоматизации, управляющую всем процессом от получения последовательных наклонных изображений до их трёхмерной реконструкции. Его программное обеспечение (Recorder, Composer, Visualizer-Kai) использует уникальные алгоритмы для автоматизации различных настроек, особенно необходимых для томографии.

Особенности

блокфлейта

Это программное обеспечение за короткое время получает последовательные изображения наклона для томографии. Для точной реконструкции необходимо множество изображений образцов, полученных в процессе непрерывного наклона с определенным угловым шагом. Автоматически выполняются такие операции, как наклон образца с заданным шагом угла, коррекция смещения поля зрения из-за наклона, регулировка фокусировки и получение изображений.

Экран работы рекордера

Композитор

Это программное обеспечение выполняет трехмерную реконструкцию из последовательно полученных наклонных изображений. Решающим элементом, необходимым для электронно-лучевой томографии, является то, как точно совместить данные изображения. Это решается путем расчета трехмерного положения на оси наклона и анализа точной информации об углах, и в результате была реализована точная реконструкция за короткое время с простой операцией.

Визуализатор-Кай

Это программное обеспечение отображает трехмерно реконструированные данные с помощью различных методов, таких как объемная визуализация и поверхностная визуализация, а также обеспечивает интуитивное наблюдение на экране, как если бы вы работали руками. С помощью мыши изображения можно свободно перемещать и отображать. Также включена функция измерения длины.

Рабочий экран Visualizer-Kai

Столик для образцов с высоким наклоном (дополнительно)

Для получения изображения под большим углом наклона необходим предметный столик с большим наклоном.

Пример применения трехмерной реконструкции: анализ трехмерной структуры герметичного соединения

Условие измерения
Ускоряющее напряжение: 120 кВ
Угол наклона: ±65°, шаг 1°
Образец: плотное соединение (эпителий тонкой кишки мыши, толщина 70 нм)
Объяснение: Плотное соединение представляет собой структуру клеточной адгезии, существующую в верхней части эпителиальной клетки позвоночных.

Рис. 1 ПЭМ-изображение плотного соединения

Плотный контакт работает как барьер против воды или ионов, так как его клеточные мембраны между соседними клетками плотно прилегают друг к другу. На этот раз мы проанализировали трехмерную форму клеточной мембраны в области плотного соединения с помощью EM-3TGP. 

Видео 1: Позиционирование данных изображения с помощью Composer
С помощью Composer мы скорректировали положение изображения с последовательным наклоном, сфотографированного с помощью Recorder. Хотя в традиционном методе требовался реперный маркер, такой как коллоидная частица Au, Composer реализует позиционирование без него.

Объемное изображение плотного соединения

Movie2: объемное изображение плотного соединения
Используя Visualizer-Kai, трехмерное реконструированное изображение можно свободно перемещать и наблюдать.

Срез изображения плотного соединения

Видео 3: фрагмент изображения плотного соединения
Мы можем наблюдать, что слипшаяся структура клеточных мембран в месте плотного соединения представляет собой динамическую структуру, в которой положение слипания меняется в трех измерениях, а не структуру, в которой мембраны в одном и том же положении продолжают сцепляться.

Измерение длины

Visualizer-Kai имеет функцию измерения длины.

Приложения

Заявка ЭМ-05500ТГП

Структурный анализ полупроводниковых приборов с использованием томографии STEM/EDS

Подробнее