ПОЛИРОВЩИК ПОПЕРЕЧНОГО СЕЧЕНИЯ™
Полировщик поперечного сечения
Станок для полировки поперечных сечений (далее «CP») представляет собой устройство для подготовки первоначальных поперечных сечений образца для сканирующий электронный микроскоп (СЭМ), электронно-зондовый микроанализатор (EPMA)или Оже-микрозонд.
Использование нового метода использования широкого пучка ионов Ar+ и экранирующей пластины позволило получить поперечные сечения без артефактов и искажений с меньшими затратами времени и навыков, чем в предыдущих методах.
CP может создавать поперечные сечения различных материалов, таких как металлы, керамика, пластмассы и т. д., и используется в различных областях.
Принципы обработки
Основными компонентами полировщика поперечного сечения (CP) являются источник ионов Ar, защитная пластина и образец, как показано на рис. 1-1.
Источник ионов Ar ионизирует газообразный Ar, генерирует ионы Ar+ и при подаче напряжения испускает ионы Ar+, ускоренные до определенной энергоемкости. Испускаемые ионы Ar+ (ионы могут быть ускорены максимум до 8 кВ) проникают в образец, отдают энергию атомам, составляющим образец, и, следовательно, сдвигают положение этих атомов. Это явление называется стук-он, а повторяющийся стук-он называется каскадным столкновением. Явление смещения атомов, составляющих образец, в этой серии процессов называется распылением. Образец измельчается в результате этого явления распыления.
Защитная пластина изготовлена из материала, который трудно распыляется. Его помещают непосредственно над образцом. Край защитной пластины помещают в точку, где желательно наблюдать поперечное сечение, и образец облучают ионами Ar+. Часть, не закрытая защитной пластиной, напыляется, и поперечное сечение на краю защитной пластины обнажается (рис. 1-2). Если в образце смешаны твердые и мягкие вещества, скорость обработки пучком ионов Ar+ будет разной, и в результате появится полосчатая шероховатость, параллельная направлению падения ионов Ar+. сгенерировано. Для уменьшения этой шероховатости имеется механизм, предназначенный для поворота образца и экранирующей пластины (патент JEOL: № 4557130).
Рис. 1-1 Принципиальная схема КП
Рис. 1-2 Схематическая диаграмма во время обработки
Посмотреть видео о принципе работы CP Processing
Пожалуйста, используйте последнюю версию браузера.
Пример применения , Особенности обработки
Используя широкий ионный луч, полировщик поперечного сечения (CP) может создавать поверхность с небольшой шероховатостью на большой площади (более 500 мкм).
Ниже приведены изображения электронных деталей, сделанные EPMA. Из изображения в обратно рассеянных электронах (рис. 2-1) и изображения элементарного картирования (рис. 2-2) видно, что поверхность хорошего качества с небольшой шероховатостью получается на площади шириной до 1 мм2.
Рис. 2-1 (Электронные детали по: образец мобильного телефона) Поперечное сечение электронного компонента согласно CP
Рис. 2-2 Результаты элементного отображения изображения
Пример применения, Метод обработки с использованием держателя вращения образца
Полировщик поперечного сечения (CP), более эффективная обработка может быть выполнена с использованием вращающегося держателя образца.
Эффективность обработки с помощью полировщика поперечных сечений (CP) можно повысить, используя держатель вращения образца. На рис. 3-1 показан принцип этого метода. При обычном технологическом методе (метод с использованием экранирующей пластины) бывают случаи, когда полосчатая шероховатость становится заметной при резке пористых образцов или сложных материалов, состоящих из нескольких веществ, имеющих разную скорость травления. Используя держатель для вращения образца, который позволяет облучать образец пучком ионов Ar+ в диапазоне 360°, можно получить поперечное сечение без бороздок даже для таких образцов.
Рис. 3-1 Держатель вращения
На рис. 3-2 показана разница между поперечным сечением (слева), полученным с использованием стандартной экранирующей пластины, и поперечным сечением (справа) того же образца (автоматический карандаш) при использовании держателя вращения образца. При сравнении двух становится очевидным, что последний результат лучше и без полос.
Рис. 3-2 Автоматический грифель карандаша