Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

Электронно-лучевые источники/источники питания для электронно-лучевого напыления, используемые для создания различных типов пленок, в том числе оптических пленок и электродных покрытий.

Особенности

Особенности метода электронно-лучевого напыления

  • Тепловой КПД довольно хороший из-за нагрева от прямого облучения электронным лучом осаждаемого материала. Можно испарять различные материалы, включая металлы с высокой температурой плавления, оксиды, соединения и сублимационные материалы.

  • Поскольку осаждаемый материал нагревается непосредственно в тигле с водяным охлаждением (*), реакция лодочки или тигля, как при методах резистивного или индукционного нагрева, отсутствует.

  • В некоторых случаях используется вкладыш для очага.

  • Поскольку доступно высокоскоростное управление выходом, можно точно контролировать толщину пленки.

  • По сравнению с методами напыления и CVD скорость создания пленки является главной особенностью. Это также полезно для создания толстых покрытий толщиной 1 мкм и более.

Особенности источников электронного пучка JEOL

[ Оксиды ]

Отличается углом падения луча, перпендикулярным осаждаемому материалу, и пятном луча с высокой плотностью энергии, которое представляет собой почти идеальный круг. Поскольку функция высокоскоростной очистки является стандартной, она подходит для нанесения на сублимационные материалы и оксиды с низкой теплопроводностью и высокой температурой плавления. Может получить отличные расплавленные остатки, обеспечивая равномерное, воспроизводимое распределение толщины пленки на большой площади.

[ Металлы ]

Доступен выбор из широкого спектра тиглей, обеспечивающих многотипное, крупнообъемное и высокоскоростное осаждение. Существует также электронная пушка, совместимая с процессом отрыва, чтобы ограничить повышение температуры во время создания пленки.

[ Сплав/ Многослойные покрытия ]

Сплавные и многослойные покрытия можно создавать, помещая различные материалы в соседние тигли с 2 или 3 гнездами и выполняя одновременное осаждение из 2 или 3 источников с помощью специальных контроллеров развертки.

Ссылки на похожие продукты

Характеристики

Модель Максимум. выход прогиб
угол
Филамент Развертка луча Тигель Оксиды Драгоценные металлы
БС-60070ДЕБС 6.4кВт 270° U-образный
(долгая жизнь)
Высокоскоростной
сканирование
никто※ 2
БС-60060ДЕБС 6.4кВт 270° никто※ 2
БС-60050ЭБС 10кВт 270° никто※ 2
БС-60040ВДГН 10кВт 270° никто※ 2
БС-60030ДГН 10кВт 270° никто※ 2
ЭБГ-102УБ6С 10кВт 180° Spiral 12cc×6 пятно
ЭБГ-102УБ4С 10кВт 180° 12cc×4 пятно
ДЖЭБГ-102UH0 10кВт 180° никто※ 2
БС-60210DEM
+BS-60140H4H
10кВт 270° Прямая катушка
(Долгая жизнь)
Средний
скорость
сканирование
40cc×4 пятно
БС-60210DEM
+BS-60150H6H
10кВт 270° 40cc×6 пятно
ЭБГ-203УБ6С 20кВт※ 1 270° Spiral Высокоскоростной
сканирование
12cc×6 пятно※ 3
ЭБГ-203УБ4Х 20кВт※ 1 270° 12cc×2 пятно 28cc
(полусфера)×2 пятно
ДЖЭБГ-203UA0 20кВт※ 1 270° никто※ 4
ДЖЭБГ-303UA 30кВт※ 1 270° никто※ 5
  • Поскольку максимальная мощность блока питания ЭП составляет 16 кВт, фактическая максимальная мощность, которую можно использовать, составляет 16 кВт.

  • Доступен по специальному заказу ⇒12cc×4 или 6 мест и т.д.

  • Доступны варианты формы лунки тигля ⇒ 28 см45 (φ20×6h) × 51 точек, 60 см20 (φ3 × XNUMXh) × XNUMX точки и т. д.

  • Доступен по специальному заказу ⇒ 40 куб. см (φ50 × 25 в) × 4 или 6 точек, 114 куб. см (φ 75 × 30 в) × 1 точка и т. Д.

  • Доступны по специальному заказу ⇒114cc(φ75×30h)×1 точка, φ34×20h×3 отверстия в 1 кармане (для одновременного осаждения), φ70×30h×4 точки и т. д.

 

Пожалуйста, узнайте о характеристиках тигля

Скачать буклет

Связанные товары

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!