Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

десканировать

десканировать

Десканирование означает возвращение электронного луча, отклоненного от оптической оси, обратно к оптической оси с помощью двухступенчатой ​​дефлекторной катушки, отклонение вызвано положением освещения или углом освещения падающего электронного луча на образец. Десканирование применяется в основном в следующих двух случаях.

1) Когда падающий электронный пучок сканируется по большой площади образца, электронный пучок может отклоняться от оптической оси в периферийной части сканируемой области. Затем положение падения или угол падения электронного луча на детектор STEM или EELS, центр которого настроен на оптическую ось, отклоняется от оси.
В случае STEM; если электронный луч, проходящий через точку сканирования образца, отклоняется от детектора STEM, интенсивность изображения STEM изменяется по сравнению с правильной интенсивностью, которая должна быть обнаружена.
В случае угрей; если электронный пучок, проходящий через точку сканирования образца, не проходит по центру детектора EELS или проходит наклонно к оптической оси детектора, значение энергии спектра EELS не может быть правильно измерено.
Чтобы избежать такого нежелательного положения или угла электронного луча по отношению к детектору STEM или EELS, двухступенчатая дефлекторная катушка в системе линз, формирующих изображение, работает синхронно со сканированием луча, чтобы всегда возвращать электронный пучок в центр. детектор и/или параллельно оптической оси.
 
2) В случае прецессионной дифракции электронов для прецессии падающего электронного пучка в определенную точку на образце используется двухкаскадная дефлекторная катушка в системе осветительной линзы. Первая дефлекторная катушка наклоняет падающий электронный пучок на определенный угол (примерно до 5°), а затем вторая дефлекторная катушка компенсирует смещение наклоненного падающего электронного луча от оптической оси. Затем электронный пучок, проходящий через образец, проходит под углом к ​​оптической оси. Двухступенчатая катушка-дефлектор в системе линз, формирующих изображение, используется для возврата электронного луча на оптическую ось. При такой работе двухкаскадных катушек-дефлекторов получается прецессионная дифракционная картина.  

Связанный термин(ы)