Пеннинг (вакуумметр)

Ионизационный датчик с холодным катодом. В манометре Пеннинга (вакуумный) кольцевой электрод (анод) помещается между парой электродов с параллельными пластинами (катодом), и магнитное поле прикладывается параллельно их осям, чтобы увеличить расстояние перемещения электронов. В результате постоянный выброс происходит даже при низком давлении, поэтому манометр Пеннинга может измерять давление в диапазоне от среднего до высокого вакуума или от 1 до 10.^-4Па. Производимый ток пропорционален давлению вакуума. Для ТЭМ манометр используется для переключения системы откачки с диффузионной накачки (DP) на ионно-распыляющую накачку (SIP), поскольку манометр надежен и прост в использовании.