Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

высокоугловая кольцевая сканирующая просвечивающая электронная микроскопия в темном поле, HAADF-STEM

кольцевая сканирующая просвечивающая электронная микроскопия в темном поле под большим углом

Сканирующая просвечивающая электронная микроскопия в темном поле с большим углом (HAADF-STEM) представляет собой метод STEM, который принимает неупругорассеянные электроны или тепловое диффузное рассеяние (TDS) под большими углами с использованием кольцевого детектора в темном поле (ADF) (от ~50 до достаточно большой угол, например ~200 мрад). Изображение STEM получается путем отображения интегральных интенсивностей электронов синхронно с положением падающего зонда. Поскольку интенсивность изображения HAADF, как сообщается, пропорциональна квадрату 1.4 к квадрату атомного номера, тяжелые атомы наблюдаются ярче, а легкие атомы наблюдать трудно. Изображение HAADF легко интерпретируется в основном по двум причинам.
1) Множественного рассеяния не возникает, потому что сечение рассеяния TDS под большими углами, используемыми для визуализации, мало.
2) Интерференционное влияние электронов не имеет места для визуализации (неинтерференционное изображение).
Разрешение изображения HAADF практически определяется диаметром падающего зонда на образец. Высокопроизводительный инструмент STEM обеспечивает разрешение лучше 0.05 нм. Совместное использование с EELS, в котором используются электроны, проходящие через центральное отверстие детектора ADF, позволяет выполнять элементный анализ столбец за столбцом. В настоящее время STEM с кольцевым светлым полем (ABF) и STEM с малым углом кольцевого темного поля (LAADF) используются в качестве методов STEM для эффективной визуализации легких атомов.
HADF-СТЕМ
Рис. (а) Соотношение между полууглом сходимости падающего электронного пучка и полууглами приема детектора для HAADF-STEM. Типичные внутренние и внешние полууглы детектора равны соответственно β1 = ~50 мрад и β2 = ~200 мрад, регистрируя неупруго рассеянные электроны под большими углами. Значение полуугла сходимости α составляет примерно 25 мрад для ПЭМ с цезиевой коррекцией на 200 кВ. Обычно детектор ABF и детектор LAADF размещают ниже детектора HAADF.

Связанный термин(ы)