дифракционный контраст

Рассеянные электроны в кристаллическом образце распределяются не непрерывно по углам рассеяния, а прерывисто в виде дифрагированных волн. Под дифракционным контрастом понимается изменение интенсивности электронно-микроскопического изображения, которое формируется при изменении условий дифракции на участках образца. В светлопольном изображении (сформированном прошедшей волной) область, где происходит дифракция, теряет интенсивность изображения, темнея. На темнопольном изображении (образованном дифрагированной волной) соответствующая область приобретает интенсивность изображения, становясь, таким образом, яркой.


ПЭМ-изображения и дифракционная картина поликристаллического кремния (полупроводниковое межсоединение), снятые при ускоряющем напряжении 200 кВ.

( а ) ПЭМ-изображение в светлом поле. Образец состоит из множества кристаллических частиц размером от нескольких 10 нм до нескольких 100 нм, которые демонстрируют различную ориентацию кристаллов. В кристаллических частицах, обозначенных красной рамкой и зеленой стрелкой, дифрагированные волны перехватываются апертурой объектива. В результате частицы наблюдаются с темным контрастом.

(б) Изображение ПЭМ в темном поле, полученное из той же области на (а). Апертура объектива вставлена ​​так, чтобы получить дифрагированную волну от кристаллических частиц, обозначенную зеленой стрелкой на (а). В результате частица наблюдается с ярким контрастом.

(в) Дифракционная картина. Поскольку образец является поликристаллическим, наблюдается кольцо Дебая-Шеррера. Зеленый круг окружает дифрагированную волну от кристаллической частицы, обозначенной зеленой стрелкой на (а) и (б).
 

Связанный термин(ы)