Сканирующий электронный микроскоп от А до Я

С тех пор, как сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) был впервые выпущен на рынок около 40 лет назад, СЭМ продемонстрировал значительный прогресс. В настоящее время используется много типов SEM, и их производительность и функции сильно отличаются друг от друга. Чтобы использовать эти различные SEM, важно распознавать их особенности, а также понимать причины контраста изображений SEM. Таким образом, этот документ предназначен для того, чтобы помочь пользователям СЭМ и будущим пользователям СЭМ понять основы СЭМ, включая принципы работы прибора, подготовку образцов и элементный анализ.