Гиперспектральное картографирование, сочетающее катодолюминесценцию и сбор рентгеновских лучей в электронном микрозонде

АННОТАЦИЯ В электронный микрозонд JEOL 8900R интегрирован оптический спектрометр, позволяющий одновременно регистрировать световые, рентгеновские и электронные сигналы. Сигнал катодолюминесценции снимается с монокулярного окуляра, интегрированного в электронную оптику электронного микрозонда. Оптическая съемка синхронизируется с движением предметного столика. Рентгеновские линии основных элементов собираются с помощью энергодисперсионного спектрометра, рентгеновские линии второстепенных элементов собираются с помощью спектрометров с дисперсией по длине волны, а сигналы вторичных и обратно рассеянных электронов собираются с помощью стандартных детекторов. В режиме картирования различные сигналы собираются в каждом пикселе с размерами карты, как правило, в диапазоне от 1 миллиона до 10 миллионов пикселей. Это представляет значительный объем данных, из которых можно определить основные корреляции и ассоциации на карте. Суммирование небольшого количества каналов и изучение только подмножества полного диапазона длин волн — это стратегии, которые были разработаны для уменьшения размера обрабатываемых данных. Применение этого метода картирования продемонстрировано на двух примерах: цирконы и огнеупорные кирпичи. Цирконы с различной степенью метамиктизации охарактеризованы, а включения дифференцированы с использованием комбинации катодолюминесценции и рентгеновских карт. Исследование огнеупорных кирпичей выявляет тонкие химические изменения в зернах шпинели. микроск. Рез. Тех. 67; 271-277,2005, XNUMX