Разработка высокопроизводительного электронного микроскопа JEM-2800

В последние годы активно ведутся разработки новых материалов с использованием технологий управления структурой нанометрового порядка, а также разработки продуктов с использованием этих недавно разработанных материалов. В процессе разработки этих материалов и изделий становится незаменимым использование сканирующего трансмиссионного и/или трансмиссионного электронного микроскопа ((S)TEM) для методов морфологического наблюдения и анализа локального участка. Кроме того, в высокотехнологичных отраслях, таких как полупроводниковая промышленность, (S)TEM устанавливается рядом с производственной линией в качестве инструмента анализа для повышения производительности производства и анализа причин дефектов, и пользователь в полной мере использует (S)TEM в любое время дня и ночи. Однако установка (S)TEM в таком месте часто вызывает проблемы с точки зрения стоимости и удобства использования. Для решения этих проблем был недавно разработан высокопроизводительный электронный микроскоп JEM-2800. В этом отчете описывается концепция продукта и особенности этого прибора.