JEM-2100: приложения в нанотехнологиях

В данной статье обобщен двухлетний опыт использования электронного микроскопа высокого разрешения JEOL JEM-2100 (LaB6) для структурной характеристики наноматериалов. Прибор был интегрирован со сканирующим устройством, состоящим из детекторов ADF и BF, и с системой EDS для элементного анализа. Несмотря на то, что микроскоп был установлен в небольшом помещении без специального подвала, со штатным кондиционером, и не были приняты специальные меры по предотвращению колебаний температуры воздуха или ослаблению звуковых и вибрационных помех, микроскоп обеспечил отличная круглосуточная работа. В режиме ВРЭМ удалось достичь разрешения по решетке 1.17 ﾃ; разрешающая способность прибора, обеспечиваемая STEM, составляла около 10 нм. Возможности системы демонстрируются на нескольких примерах приложений для исследования наноматериалов.