Оже-микрозонд JAMP-9500F

Оже-микрозонд представляет собой систему анализа поверхности, предназначенную для определения элементного состава и химического состояния в областях на глубине нескольких нанометров от поверхности образца путем измерения энергетических уровней оже-электронов, возбуждаемых пучком электронов от образца. Микрозонд Оже обладает высоким аналитическим пространственным разрешением, поскольку его область анализа определяется размером сфокусированного зонда. В большинстве последних систем Оже для анализа микрозон используется автоэмиссионный пистолет Шоттки (FEG).