Новый спектрометр WDS для спектроскопии валентных электронов на основе электронной микроскопии

Создан новый спектрометр WDS для просвечивающего электронного микроскопа. Этот спектрометр может охватывать диапазон энергий от 50 эВ до 3800 эВ за счет использования четырех решеток с коррекцией аберраций для оптики с плоским полем. С помощью недавно разработанной и изготовленной решетки JS50XL для 50-200 эВ были измерены эмиссионные спектры мягкого рентгеновского излучения простых металлов Mg, Li, Al и Be. Эти профили интенсивности соответствуют парциальной плотности состояний валентных электронов (связывающих электронов), а также демонстрируют четкие края Ферми (вершина занятого состояния). На краю Ферми излучения Mg-L (49.5 эВ) энергетическое разрешение оценивается как 0.16 эВ. Спектры излучения Si-L для Si и TiSi2 показывают разницу в этих распределениях интенсивности, что указывает на разные состояния валентных электронов для этих материалов. Показано сравнение спектров излучения БК CaB6 и LaB6, полученных с использованием другой решетки JS200N. Для LaB6 также наблюдался четкий край Ферми около 187 эВ с энергетическим разрешением 0.4 эВ.