Применение мощного встроенного плазменного пистолета: пример производства тонких оптических пленок методом плазменного осаждения из паровой фазы.
JEOLnews, том 37E, номер 1, 2002 г.
Встроенный источник плазмы устанавливается в вакуумной камере и генерирует плазму высокой плотности. Плазменная поддержка электронно-лучевого осаждения очень эффективна для оптических тонких пленок. Здесь введите схему встроенного источника плазмы и характеристику пленки оксидных пленок по сравнению с обычными пленками, осажденными в вакууме.
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.