Серия JBX-8100FS
Системы электронно-лучевой литографии

Система электронно-лучевой литографии точечного типа JBX-8100FS обеспечивает высокую производительность, компактность и экономию электроэнергии.
Особенности
Маленький след
Площадь, необходимая для стандартной системы, составляет 4.9 м (Ш) x 3.7 м (Г) x 2.6 м (В), что намного меньше, чем у обычных систем.
Низкое энергопотребление
Мощность, необходимая для нормальной работы, составляет примерно 3 кВА, что составляет 1/3 мощности обычных систем.
Высокая пропускная способность
Система имеет два режима экспонирования, режимы высокого разрешения и высокой пропускной способности, поддерживающие различные типы моделирования от сверхточной обработки до производства малых и средних размеров. Это свело к минимуму время простоя во время экспозиции, увеличив максимальную скорость сканирования в 1.25-2.5 раза до 125 МГц (самый высокий мировой уровень) для высокоскоростной записи.
Версия
JBX-8100FS доступен в 2 версиях: G1 (начальная модель) и G2 (полная модель). При необходимости к модели G1 можно добавить дополнительные аксессуары.
Новые функции
Дополнительный оптический микроскоп позволяет исследовать узоры на образце, не подвергая резист воздействию света. В стандартную комплектацию входит сигнальная башня для визуального контроля работы системы.
Разрешение лазерного позиционирования
Положения столика измеряются и контролируются с шагом 0.6 нм в стандартной комплектации и с шагом 0.15 нм при дополнительном обновлении.
Контроль системы
Универсальная операционная система Linux® в сочетании с новым графическим пользовательским интерфейсом упрощают работу. Программа подготовки данных поддерживает как Linux®, так и Windows®.
Модель 200 кВ!
Максимальное ускоряющее напряжение В мир 200 кВ
JBX-8100FS — это система EBL прямой записи с гауссовой оптикой, предназначенная для реализации требований высокой пропускной способности и высокой точности для широкого спектра приложений.
Модульная и обновляемая платформа поддерживает множество областей от производства передовых наноструктур до производства составных полупроводниковых устройств.
Включение расширенных приложений, таких как голография, шкала серого и массивы микролинз
Изображения ниже представляют собой сравнение EBL между 100 кВ и 200 кВ.
200 кВ демонстрирует уменьшенный эффект сужения при значительной толщине резиста.
Сравнение ускоряющего напряжения между 100 кВ и 200 кВ (образец: резист толщиной 10 мкм)
Ускоряющее напряжение 100 кВ
3,000 мкКл/см2

Ускоряющее напряжение 200 кВ
5,000 мкКл/см2

Сопротивление: ПММА
Толщина: 10 мкм
Размер поля: 500 мкм
Ширина узора: 2 мкм
Подложка: Si
Примечания:
Windows является зарегистрированным товарным знаком Microsoft Corporation в США и других странах.
Linux® является зарегистрированным товарным знаком Линуса Торвальдса в США и других странах.
Характеристики
Версия | G1 (начальная модель) | G2 (модель с полной опцией) | G3 (модель 200 кВ) |
---|---|---|---|
Метод письма | Точечный луч, векторное сканирование, шаг и повтор. | ← | ← |
Напряжение ускорения | 100 кВ | 100 кВ / 50 кВ | 200 кВ / 130 кВ / 100 кВ / 50 кВ |
Ток луча | 5 × 10-12 до 2 × 10-7 A | ← | ← |
Размер поля | Максимум 1,000 мкм × 1,000 мкм | Максимум 2,000 мкм × 2,000 мкм | ← |
Скорость сканирования | Максимум 125 МГц | ← | ← |
Подвижная зона сцены | 190 мм × 170 мм | ← | ← |
Точность наложения | ≦±9 нм | ← | ≦±8 нм |
Точность шитья | ≦±9 нм | ← | ≦±8 нм |
Электрические требования (нормальные) | 3kVA | ← | ← |
Размер подложки | Максимальная пластина 200 ммΦ
6-дюймовые заготовки для масок Небольшая выборка любого размера |
← | ← |
Перенос субстрата | Одиночный автозагрузчик | 12 кассетный автозагрузчик | ← |
Основные устанавливаемые опции | Оптический микроскоп
Программа высокого напряжения 25 кВ Дополнительная лицензия на программу подготовки данных Система управления лазерным лучом высокого разрешения |
Скачать буклет
Система электронно-лучевой литографии серии JBX-8100FS
Приложения
Приложение JBX-8100FS
Разработка системы электронно-лучевой литографии JBX-8100FS
Галерея

Подробнее


Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.