Автоэмиссионный электронный микроскоп JEM-3100F 300 кВ
СНЯТО
JEM-3100F, аналитический электронный микроскоп высокого разрешения, позволяет получать изображения структуры с субнанометровым разрешением и проводить анализ материалов в нанометровом масштабе. Современная электронно-оптическая система этого микроскопа позволяет получать четкое изображение с разрешением 0.1 нм как в режимах ПЭМ, так и в режимах STEM. JEM-3100F имеет улучшенную механическую и электрическую стабильность, обеспечивая стабильный электронный пучок даже для зонда 0.14 нм. Эти функции делают JEM-3100F мощным исследовательским инструментом для анализа материалов на атомарном уровне.
Особенности
Полевая эмиссионная пушка (ФЭГ)
Увеличение яркости электронного зонда на образце приводит к улучшению отношения сигнал/шум при анализе нанозон и наблюдаемых изображений. FEG, который используется для JEM-3100F, обеспечивает яркость примерно на 2 порядка выше, чем у LaB.6 электронная пушка. С FEG также улучшается контрастность изображения с высоким разрешением, поскольку он обеспечивает высококогерентное освещение с узким энергетическим разбросом. Кроме того, электронная голография, требующая высококогерентного освещения, доступна для этого микроскопа с дополнительной электронной бипризмой.
Конденсор-объектив*1
Для уменьшения диаметра зонда требуются малые коэффициенты аберрации линзы осветительного объектива. Конденсорно-объективный объектив, выполняя функции конденсора и объектива, позволяет сделать коэффициенты аберрации малыми. JEM-3100F использует недавно разработанный объектив с конденсором в качестве объектива. Этот объектив*2, помимо лучшего в мире уровня сферических и хроматических аберраций, 0.6 мм и 1.3 мм соответственно, разработан с учетом оптимального расположения антиконтаминации холодного пальца и детектора EDS. В результате элементный анализ и электронографию нанометровых участков образца можно проводить с помощью зонда диаметром 0.4 нм с одновременным наблюдением сверхвысокого разрешения.
Для конфигурации UHR и HR
Для конфигурации UHR
Угломер с боковым входом нового типа управления
В JEM-3100F используется гониометр с боковым входом и новым сервоприводом, что значительно повышает удобство работы с предметным столиком. Кроме того, поскольку микроскоп в стандартной комплектации имеет механизм пьезопривода, удобство перемещения поля зрения при большом увеличении резко улучшается, когда пользователь переключается на пьезопривод. Кроме того, устройство управления без дрейфа, использующее пьезоэлектрический привод, доступно в качестве дополнительного приспособления. Кроме того, воздухонепроницаемая крышка (Clam Shell), защищающая гониометр, повышает устойчивость к шуму и колебаниям атмосферного давления.
Система быстрого выбора луча
JEM-3100F обеспечивает широкий диапазон условий освещения объектива. Они делятся на следующие четыре режима освещения:
Режим TEM: для наблюдения изображения TEM
Режим EDS: для элементного анализа
Режим NBD: для дифракции в области нанометров
Режим CBD: для дифракции электронов сходящимся пучком
Оптимальный режим освещения может быть выбран пользователем одним нажатием кнопки. Во время наблюдения за изображением ПЭМ нужный микрозонд можно получить простым нажатием кнопки для выполнения точного анализа микрозоны.
Характеристики
| Конфигурация※ 1 | Сверхвысокое разрешение (UHR) | Высокое разрешение (HR) | Высокая контрастность (HC) |
|---|---|---|---|
| Постановления | |||
| Изображение частицы ТЕМ | 0.17 нм | 0.19 нм | 0.26 нм |
| Изображение решетки ТЭМ | 0.1 нм | 0.1 нм | 0.14 нм |
| Светлое поле STEM※ 2 | 0.14 нм | 0.14 нм | - |
| Темнопольное изображение STEM※ 3 | 0.14 нм | 0.14 нм | - |
| Ускоряющее напряжение | 300 кВ，200 кВ，100 кВ※ 4 | ||
| Минимальный шаг | 100 V | ||
| Источник электронов | |||
| Излучатель | ZrO/W(100) Шоттки | ||
| яркость | 7 × 108А/см2･ср или более | ||
| вакуум | до 3 × 10-8 Pa | ||
| Ток зонда | 0.5 нА или более при диаметре зонда 1 нм | ||
| Стабильность электропитания | |||
| Ускоряющее напряжение | 2 × 10-6／мин | ||
| Ток объектива | 1 × 10-6／мин | ||
| Оптические параметры объектива | |||
| Фокусное расстояние | 2.7 мм | 3.0 мм | 3.9 мм |
| Коэффициент сферической аберрации | 0.6 мм | 1.1 мм | 3.2 мм |
| Коэффициент хроматической аберрации | 1.5 мм | 1.8 мм | 3.0 мм |
| Минимальное переменное фокусное расстояние | 1.0 нм | 1.4 нм | 4.1 нм |
| Размер пятна (селектор α) в нмφ | |||
| режим ТЕМ | от 2 до 5(3) | от 7 до 30 (-) | |
| режим ЭЦП | от 0.4 до 1.6(5) | от 4 до 20 (-) | |
| режим NBD | от 0.4 до 1.6(5) | - | |
| КБР режим | от 0.4 до 1.6(8) | - | |
| Конвергентная дифракция электронов | |||
| Сходящийся угол (2α) | от 1.5 до 20 мрад и более | - | |
| Угол приема (полуугол) | 10 ° | - | |
| Увеличение | |||
| MAG | ×4,000–1,500,000 XNUMX XNUMX | ×3,000–1,000,000 XNUMX XNUMX | |
| НИЗКИЙ МАГ | ×60–15,000 XNUMX XNUMX | ||
| СА МАГ | ×10,000–500,000 XNUMX XNUMX | ×6,000–300,000 XNUMX XNUMX | |
| Длина дифракционной камеры | |||
| Дифракция выбранной области (мм) | 12 - 200 | 200 - 3000 | |
| Высокодисперсионная дифракция (м) | 4 - 80 | 4–80 | |
| Камера для образцов※ 5 | |||
| Диапазон перемещения образца (XY / Z) (Мкм) |
Х, У : 2 Z : 0.2 |
Х, У : 2 Z : 0.4 |
Х, У : 2 Z : 0.4 |
| Угол наклона образца (X / Y) | ±25°／±25° | ±35°／±30° | ±38°／±30° |
| EDS※ 6 | |||
| Телесный угол | 0.13 sr | 0.09 sr | |
| Угол взлета | 25° | 20° | |
Укажите любую конфигурацию (UHR, HR или HC) при заказе JEM-3100F.
Для наблюдения изображения STEM необходимо дополнительное устройство наблюдения за сканирующим изображением.
Для наблюдения STEM-изображения в темном поле необходимо дополнительное устройство для наблюдения за изображением в темном поле.
Для наблюдения изображения при 100 кВ и 200 кВ необходим дополнительный выключатель электрода.
Приведенные значения относятся к случаю использования держателя для наклона образца.
Необходима дополнительная ЭЦП. Указанные характеристики относятся к диаметру 30 мм.2.
Фото
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.