Сканирующий зондовый микроскоп JSPM-5400

JSPM-5400 поставляется с универсальными режимами измерения.
Добавление опций для каждого режима измерения расширяет возможности измерений.

Особенности

Новый бесконтактный АСМ

Smple, быстро, безопасность

Безопасный высокоскоростной подход
Управление сканированием без повреждений
Простое позиционирование
Безопасная работа с сокращенным временем до процесса наблюдения

конец

Визуализация с высоким разрешением без повреждений с использованием бесконтактной АСМ

Экологический контроль

Стабильное наблюдение за нагретыми/охлажденными образцами в высоком вакууме

Универсальные режимы измерения

JSPM-5400 поставляется с универсальными режимами измерения. Добавление опций для каждого режима измерения расширяет возможности измерений.

Безопасный высокоскоростной подход

Используя двухэтапный подход (высокоскоростной и точный подход: подана заявка на патент), кантилевер может быстро приближаться к образцу без повреждений.
Поскольку возможно скоростное сближение без столкновений, этот метод эффективен для образцов, сильно рассеивающих свет, и прозрачных образцов, для которых трудно обеспечить расстояние между их поверхностями и кантилевером.

Безопасный высокоскоростной подход обнаруживает слабую гравитацию, которая действует как гравитация дальнего действия вдали от образца. Кантилевер может приближаться к образцу с высокой скоростью (до 50 м/с) до тех пор, пока не будет обнаружена слабая гравитация. После завершения высокоскоростного подвода выполняется точный подвод, в то время как расстояние между кантилевером и образцом контролируется. Безопасный высокоскоростной подвод заканчивается за короткое время, что позволяет начать точный подвод, не беспокоясь о расстоянии между образец и кантилевер.

Быстрое и простое позиционирование

Функция пропуска сканирования, встроенная в JSPM-5400 в качестве стандартной конфигурации, сокращает время измерения, поскольку количество пикселей для изображений может быть уменьшено.

Управление сканированием без повреждений

Управление сканированием без повреждений используется для работы датчика в ограниченной области (L на верхнем изображении) по отношению к стандартной поверхности (точка A на верхнем изображении). При наблюдении края поперечного сечения вы можете безопасно сканировать датчик без столкновения между вершиной кантилевера и краем.
Поскольку встроена функция, которая автоматически обновляет стандартную высоту, JSPM-5400 может автоматически устанавливать стандартную точку в верхнем направлении вогнутой части даже для образцов с крутой вогнутостью (заявка на патент).
Эта функция позволяет измерять даже образцы с неизвестными топографическими формами без повреждений.
Поскольку управление сканированием без повреждений очень эффективно при измерении вблизи края, эта функция полезна для визуализации поперечных сечений, созданных устройством подготовки поперечных сечений CP (Cross Section Polisher®). (См. рисунок ниже.)

Автоматическое отслеживание зонда

Эта функция автоматически корректирует вертикальный дрейф, вызванный тепловым расширением и сжатием образца во время наблюдения при нагреве/охлаждении, предотвращая касание вершины зонда или удаление от поверхности образца в течение длительного времени. Эта функция используется для непрерывной визуализации при колебаниях температуры (см. нижние изображения на странице 3).
(Для нагрева и охлаждения образца необходимы дополнительные аксессуары.)

Отличный контроль окружающей среды

Резкое усовершенствование конструкции головки СЗМ повысило качество вакуума. При использовании дополнительной системы холодных ловушек давление вакуума достигает порядка 10-6 Па. Таким образом, адсорбция газа на образце может быть сведена к минимуму, поддерживая чистоту поверхности образца.
Можно совместить оптические оси лазерных лучей с кантилевером и фотодетектором для системы обнаружения СЗМ, помещенной в вакуум, даже снаружи вакуума.
Присоединив систему вакуумной эвакуации и механизм замены проб с воздушным шлюзом, вы можете заменить образец, сохраняя при этом вакуум, а также сократить время от установки образца до наблюдения.

Характеристики

Подробнее