Сканирующий зондовый микроскоп UHV JSPM-4610A/S

UHV-SPM от JEOL позволяет получать точную информацию о поверхности

Особенности

Технология, поддерживающая SPM

Многоуровневый сканер

В качестве сканера, который является сердцем SPM, используется разработанный JEOL сканер с режимом совместного использования с накоплением. Он устраняет искажение изображения, вызванное интерференцией пьезоэлементов, и удовлетворяет трем требованиям для получения высокой резонансной частоты: «удобный», «маленький» и «легкий».

Стадия образца

Предметный столик, основанный на самой высокоточной методике JEOL, связанной с ЭМ, имеет конструкцию с верхним входом. Эта структура включает в себя не только идею нанометрового контроля образца, но и идею «без дрейфа».
Обеспечивая концентрическую диффузию из него, столик позволяет стабильно наблюдать СЗМ, показывая тем самым свою эффективность для наблюдения на месте. Кроме того, поверхность образца в значительной степени открыта, что позволяет добавлять множество новых функций.

Механизмы грубого перемещения

Эти механизмы требуют тончайших движений СЗМ. Они позволяют наконечнику безопасно приближаться к области нанометров, не вызывая удара наконечника по образцу. Наконечник может автоматически правильно перемещаться моторным приводом снаружи вакуума.

Цепь управления

Туннельные токи, которые обнаруживаются с помощью СЗМ, представляют собой слабые токи порядка наноампер, что требует постоянного изучения проблемы шума. Кроме того, цепь обратной связи должна быть достаточно устойчивой к колебаниям. Эти методы, дополненные развитием сканирующего микроскопа, эффективны и для СЗМ.
Эта схема управления обычно может использоваться для АСМ.

система WINSPM

Система WINSPM представляет собой интегрированную систему управления и сбора данных, разработанную для сканирующего зондового микроскопа. Это позволяет не только наблюдать SPM, lV, STS, AFM, Force-Curve и LFM, но также одновременно вводить и отображать до 4 каналов. Кроме того, он снабжен более чем 100 функциями обработки изображений и более чем 30
функции обработки графики. Используя MS-Windows, он позволяет легко переключаться на другие приложения (типа TIFF) и подключаться к сети.

Удобная оконная система

Программное обеспечение WINSPM, работающее в среде MS-Windows, предлагает полную среду для работы с мышью. Обладая графическими интерфейсами, такими как система меню и диалоговое окно, с ним может легко работать любой. Кроме того, он оснащен памятью большой емкости, поэтому он может работать без сбоев, даже когда одновременно открыто много окон.

Панель управления для максимальной функциональной эффективности

Простота использования панели управления очень важна для сканирования АСМ и СЗМ. Система WINSPM снабжена часто используемыми параметрами, тщательно отобранными на основе прошлых результатов. Более точную настройку параметров можно свободно выполнить с помощью диалогового окна. Такие функции, как STS, CITS и LITHOGRAPHY, входят в стандартную комплектацию.

Богатая функция обработки изображений

Система WINSPM снабжена более чем 100 типами функций обработки изображений, специально разработанных для СЗМ, включая трехмерное отображение, профилирование, БПФ, расширение и анализ частиц.
Поставляемая в стандартной комплектации с магнитооптическим диском, система WINSPM позволяет выполнять полное резервное копирование важных данных, которые выводятся на лазерный принтер или цветной копировальный аппарат.
Дополнительные функции включают в себя подключение второго монитора, который используется исключительно для отображения изображения, вывода изображения в реальном времени на видеомагнитофон, а также ввода и обработки изображения с видеомагнитофона.

3-х независимая система эвакуации

Система вакуумирования сверхвысокого вакуума состоит из трех камер, которые можно вакуумировать независимо друг от друга. Таким образом, система построена как многозадачная камера, которая дает отдельным камерам соответствующие роли. В то же время эта система вакуумирования в целом хорошо сбалансирована, чтобы обеспечить сверхвысокий вакуум.

Система виброизоляции

Важным фактором для СЗМ является система виброизоляции, обладающая разрешением на атомном или молекулярном уровне. Механические вибрации полностью изолированы за счет прямого подключения вакуумной камеры и ВЗМ к системе виброизоляции карданно-поршневого типа на воздушной подвеске, которая обладает превосходными вертикальными и горизонтальными виброизоляционными характеристиками, а также за счет использования в базовом ВЗМ виброизоляции цилиндрического типа. механизм, который изолирует как горизонтальные, так и вертикальные вибрации.

Множество дополнительных функций

Испаритель

Это используется для вакуумного испарения образца с атомами, отличными от атомов образца. Он снабжен двумя 70-мм-диаметром. порты, обращенные к образцу. Предусмотрено проведение испарения снизу под углом 40°, и испарение может производиться без загрязнения других частей, кроме образца, поскольку источник ионов коллимирован.

Нагревательное устройство

Нагрев образца является незаменимой функцией для очистки образцов и исследования фазовых переходов при высоких температурах и структуры поверхности. Кроме того, для МЛЭ требуется функция косвенного нагрева образца. Для удовлетворения этих потребностей было разработано нагревательное устройство. Оно позволяет не только прошивать образец, но и наблюдать за образцом во время его нагрева.

Охлаждающее устройство

Подобно нагреву образца, охлаждение образца также необходимо для исследования фазовых переходов веществ... в данном случае при низких температурах. Он особенно эффективен для наблюдения за сверхпроводящими материалами при низких температурах.

Сверхвысоковакуумный сканирующий электронный микроскоп (UHV-SEM)

СЗМ, который хорошо подходит для наблюдения изображений на атомном и молекулярном уровне, не подходит для наблюдения за большой областью. Однако для пользователей СЗМ естественно желание наблюдать увеличенные изображения желаемых полей зрения. только отождествление области обзора с СЗМ, но и широкий спектр наблюдений от наблюдения с малым увеличением до наблюдения СЗМ. Кроме того, возможность наблюдения за взаимосвязью между образцом и наконечником и за состоянием наконечника очень эффективна для повышения эффективности исследований. чтобы не нарушать сверхвысокий вакуум. Это устранило влияние вибраций на наблюдение за изображением и страх перед загрязнением образца.
Разработка СЗМ-СЭМ в сверхвысоком вакууме обещает расширяемость СЗМ за счет устранения их соответствующих недостатков.

Характеристики

Подробнее