Сканирующий зондовый микроскоп UHV JSPM-4500A/S

UHV-SPM от JEOL, который постоянно ищет атомный мир.

Особенности

Технология, поддерживающая SPM

Многоуровневый сканер

В качестве сканера, который является сердцем SPM, используется разработанный JEOL сканер с многоуровневым режимом работы. Он устраняет искажение изображения, вызванное интерференцией пьезоэлементов, и удовлетворяет трем требованиям для получения высокой резонансной частоты: «удобный», «маленький» и «легкий».

Стадия образца

Предметный столик, основанный на самой высокоточной методике JEOL, связанной с ЭМ, имеет топентри. Эта структура включает в себя не только идею нанометрового контроля образца, но и идею «без дрейфа». Обеспечивая концентрическую диффузию тепла от него, столик позволяет устойчиво наблюдать за СЗМ, показывая тем самым свою эффективность для наблюдения на месте. Кроме того, поверхность образца в значительной степени открыта, что позволяет добавлять множество новых функций.

Механизмы грубого перемещения

Эти механизмы требуют тончайших движений СЗМ. Они позволяют наконечнику безопасно приближаться к области ананометра, не вызывая удара наконечника по образцу. Наконечник может автоматически правильно перемещаться с помощью моторного привода снаружи вакуума.

Цепь управления

Туннельные токи, которые обнаруживаются с помощью СЗМ, представляют собой слабые токи порядка наноампер, что делает необходимым постоянное изучение проблемы шума. Кроме того, цепь обратной связи должна быть достаточно устойчивой к колебаниям. Эти методы, разработанные с помощью сканирующего микроскопа, эффективны и для СЗМ. Эта схема управления может использоваться обычно для АСМ.

система WINSPM

Система WINSPM представляет собой интегрированную систему управления и сбора данных, разработанную для сканирующего зондового микроскопа. Это позволяет не только наблюдать SPM, lV, STS, AFM, Force-Curve и LFM, но также одновременный ввод и одновременное отображение до 4 каналов. Кроме того, он снабжен более чем 100 функциями обработки изображений и более чем 30 функциями обработки графики. Используя MS-Windows, он позволяет легко переключаться на другие приложения (тип TIFF) и подключаться к сети.

Удобная оконная система

Программное обеспечение WINSPM, работающее на MS-Win-dows, предлагает полную среду для работы с мышью. Имея такие графические интерфейсы, как система меню и диалоговое окно, с ним может легко работать любой. Также оснащенный памятью большого объема, он может работать без сбоев, даже когда одновременно открыто много окон.

Панель управления для максимальной функциональной эффективности

Простота использования панели управления очень важна для сканирования АСМ и СЗМ. Система WINSPM снабжена часто используемыми параметрами, тщательно отобранными на основе прошлых результатов. Более точную настройку параметров можно свободно выполнить с помощью диалогового окна. Такие функции, как STS, CITS и LITHOGRAPHY, входят в стандартную комплектацию.

Богатая функция обработки изображений

Система WINSPM снабжена более чем 100 типами функций обработки изображений, специально разработанных для СЗМ, включая трехмерное отображение, профилирование, БПФ, расширение и анализ частиц. Поставляемая в стандартной комплектации с магнитооптическим диском, система WINSPM позволяет выполнять полное резервное копирование важных данных, которые выводятся на лазерный принтер или цветной копировальный аппарат. Дополнительные функции включают в себя подключение второго монитора, который используется исключительно для отображения изображения, вывода изображения в реальном времени на видеомагнитофон, а также ввода и обработки изображения с видеомагнитофона.

3-х независимая система эвакуации

Система вакуумирования сверхвысокого вакуума состоит из трех камер, которые могут вакуумироваться независимо друг от друга. Таким образом, система построена как многозадачная камера, которая дает отдельным камерам соответствующие роли. В то же время эта система вакуумирования в целом хорошо сбалансирована, чтобы обеспечить сверхвысокий вакуум.

Система виброизоляции

Важным фактором для СЗМ является система виброизоляции, обладающая разрешением на атомном или молекулярном уровне. Механические вибрации полностью изолируются за счет непосредственного подключения вакуумной камеры и ВЗМ к карданно-поршневой системе виброизоляции на воздушной подвеске, которая обладает превосходными вертикальными и горизонтальными виброизоляционными характеристиками, а также за счет использования базового ВЗМ виброизоляции цилиндрического типа. механизм, который изолирует как горизонтальные, так и вертикальные колебания.

Множество дополнительных функций

Испаритель

Это используется для вакуумного испарения образца с атомами, отличными от атомов образца. Он снабжен двумя 70-мм-диаметром. порты, обращенные к образцу. Предусматривается проводить испарение снизу под углом 40°, причем испарение можно проводить без загрязнения других частей, кроме образца, поскольку источник ионов коллимирован.

Нагревательное устройство

Нагрев образцов является незаменимой функцией для очистки образцов и исследования фазовых переходов при высоких температурах и структуры поверхности. Кроме того, для MBE требуется функция косвенного нагрева образца. Для удовлетворения этих потребностей было разработано нагревательное устройство. Это позволяет не только прошивать образец, но и наблюдать за образцом при его нагревании.

Охлаждающее устройство

Подобно нагреву образцов, охлаждение образцов необходимо и для исследования фазовых переходов веществ... в данном случае при низких температурах. Он особенно эффективен для наблюдения за сверхпроводящими материалами при низких температурах.

Сверхвысоковакуумный сканирующий электронный микроскоп (UHV-SEM)

СЗМ, который хорошо подходит для наблюдения изображений на атомном и молекулярном уровне, не подходит для наблюдения на больших площадях. Тем не менее, для пользователей СЗМ естественно желание наблюдать увеличенные изображения желаемых полей зрения. Добавление функции СЭМ обеспечивает не только идентификацию области просмотра с помощью СЗМ, но и широкий спектр наблюдений при малом увеличении. наблюдение к СЗМ-наблюдению. Кроме того, возможность наблюдения за взаимосвязью между образцом и наконечником и за состоянием наконечника очень эффективна для повышения эффективности исследований. Недавно разработанная колонна для этого сверхвысокого вакуума не использует охлаждающую воду для изоляции вибраций и сконструирована таким образом, чтобы не нарушать сверхвысокий вакуум. Это устранило влияние вибраций на наблюдение за изображением и страх перед загрязнением образцов. Разработка СЗМ-СЭМ в сверхвысоком вакууме обещает расширяемость СЗМ за счет устранения их соответствующих дефектов.

Характеристики

Подробнее