ДЖСМ-ИТ710HR
Растровый электронный микроскоп

Четкая видимость способствует новым открытиям

В настоящее время важными считаются не только разрешение и аналитические характеристики порядка нанометров, но и скорость сбора данных. Новорожденный JSM-IT710HR — это модель четвертого поколения серии JEOL HR*, основанная на теме «РЭМ, которая позволяет любому легко получать изображения с высоким разрешением».
JSM-IT710HR заставляет пользователей хотеть выйти за рамки того, что они уже видели, благодаря простоте эксплуатации с улучшенными автоматическими функциями и улучшенными характеристиками наблюдения благодаря новому детектору.

*HR=высокое разрешение

Особенности

видео о продукции

Я вижу его, Я хочу видеть это больше

1. Изображение SEM видно вместе с оптическим изображением.

Образец: предоставлен зоопарком Хино Тонтон (зоопарк Хамура).

2. Изображение видно лучше благодаря электронной пушке высокого разрешения.

Я вижу его, Я хочу видеть это больше

Снижение заряда

Низкий вакуум

3D наблюдение

Многосегментный детектор

Элементарная информация

EDS^※

Анализ кристаллической структуры

ЭИ^※

※необязательный

Снижение заряда
Образец: предоставлен профессором Тетсуро Асакура, факультет биотехнологии и наук о жизни, Токийский сельскохозяйственно-технологический университет.

Анализ кристаллической структуры
Образец: предоставлен профессором Канеаки Цузаки, Национальный институт материаловедения (NIMS).

Новый функционал

Автоматическое наблюдение: простой SEM/EDS

Простая функция SEM позволяет выполнять автоматические измерения путем одновременной регистрации нескольких условий. Простой
Это повышает эффективность рутинной работы.

Live 3D: строит 3D-изображение на месте

Получение изображения возможно при малом увеличении с небольшим искажением из-за внелинзового объектива.

Изображения, полученные с помощью квадрантного детектора

Образец: поверхность излома пластика

Живое 3D-изображение

Новый низковакуумный гибридный детектор вторичных электронов (LHSE) ※Дополнительная функция

LHSED, новый низковакуумный детектор, позволяет вести наблюдение, переключаясь между изображениями, содержащими информацию об эмиссии света, и топографическими изображениями.

Особенности LHSED

• Улучшено качество живого изображения вторичных электронов в низком вакууме.
• Получение информации об эмиссии света
• Переключение между топографическими и светоэмиссионными информационными изображениями

Стабильность электронной пушки Schottky FE повышена более чем в 4 раза по сравнению с предыдущими моделями

Автоматическая регулировка луча

JSM-IT710HR не требует сложной ручной настройки и обеспечивает автоматическую настройку от выравнивания оси до коррекции астигматизма и фокусировки.

Система обнаружения вторичных электронов

Детектор вторичных электронов
(СЭД)

Образец: Перо павлина^*
*Изображение образца: предоставлено зоопарком Хинотонтон (зоопарк Хамура)

Низковакуумный детектор вторичных электронов
(ЛВСЭР/ЛХСЭД)

Образец: целлюлозное микроволокно

И высокое разрешение, и большой ток

Автоэмиссионная пушка Шоттки, используемая в JSM-IT710HR, обеспечивает наблюдение и анализ с высоким разрешением, поскольку электронная пушка интегрирована с линзой конденсора для создания больших токов при сохранении небольшого размера зонда.

Система обнаружения обратнорассеянных электронов

Новый многосегментный детектор обратнорассеянных электронов получает изображения обратнорассеянных электронов одновременно с четырех направлений, что позволяет создавать и отображать простое трехмерное изображение в режиме реального времени.

Каждый анализ начинается с Zeromag　

Оптическое изображение Zeromag упрощает навигацию.
СЭМ-изображения можно связать с оптическими изображениями для удобства наблюдения, анализа и автоматизированных измерений.

Интеграция с ЭЦП

JEOL производит и продает не только SEM, но и EDS.
Полностью встроенная EDS с SEM для упрощения рабочего процесса, эксплуатации и управления данными.

Фазовый анализ

Система JEOL EDS поддерживает новую функцию фазового анализа. Карты фаз могут быть созданы из набора данных карты.

Изображение обратно рассеянных электронов

Отображение фаз (наложение нескольких фаз)

Образец: поперечное сечение режущего инструмента для прецизионной обработки.

Фазовый анализ показывает разницу компонентов между областями, богатыми Co, Cu и Sn.

Co площадь: 68.15%

CuSn (CuRich) площадь: 16.25%

CuSn (SnRich) площадь: 14.54%

Характеристики

Пожалуйста, обратитесь к нашему каталогу продукции. 

Скачать буклет

Сканирующий электронный микроскоп JSM-IT710HR

Приложения

Электронные устройства

Применимые характеристики JSM-IT710HR: высокое разрешение, высокая контрастность, широкий обзор

LED

Четкое наблюдение нанопустоты на интерфейсе перехода электронного устройства

Образец: поперечное сечение светодиода, изготовленное с использованием CP*
Увеличение: ×250 (вверху), ×1,000 (внизу слева), ×40,000 (внизу справа)
Ускоряющее напряжение: 5 кВ

*CP: ПОЛИРОВКА ПОПЕРЕЧНЫХ СЕЧЕНИЙ™

Схема подключения

Использование функции низкого вакуума для наблюдения за широкой областью поверхности разводки

Образец: поверхность разводки, увеличение: ×200 (слева), ×300 (справа), вакуумметрическое давление: 70 Па, ускоряющее напряжение: 15 кВ

SRAM

Карта EDS высокого разрешения

Образец: поперечное сечение SRAM, приготовленное с использованием CP
Увеличение: ×10,000 50,000 (вверху), ×XNUMX XNUMX (внизу)
Ускоряющее напряжение: 5 кВ (РЭМ), 7 кВ (ЭДС)

Изображение обратно рассеянных электронов

карта ЭЦП

алюминиевая прокладка

За счет одновременного получения изображений вторичных электронов в низком вакууме и изображений обратнорассеянных электронов можно получить топографическую информацию и информацию о составе большой площади поверхности образца.

Низковакуумное изображение вторичных электронов

Изображение обратно рассеянных электронов в низком вакууме

Образец: поверхность контактной площадки, увеличение: ×100, вакуумметрическое давление: 70 Па, ускоряющее напряжение: 15 кВ

Нержавеющая сталь

Применимые функции JSM-IT710HR: оптическая система, подходящая для анализа EBSD (автоэмиссионный пистолет Шоттки и внелинзовый объектив)

Энергия и Керамика

Применимые функции JSM-IT710HR: возможности анализа и функция низкого вакуума

Перовскитовая подложка для солнечных батарей

Высокоточный анализ наноразмерных слоев в подложке солнечного элемента

Керамическая подложка (Si₃N₄)

Функция низкого вакуума позволяет проводить элементный анализ непроводящих образцов.

Изображение обратно рассеянных электронов в низком вакууме

Элементарная карта низкого вакуума

Ускоряющее напряжение: 5 кВ, низковакуумное картирование элементов (30 Па), машинно фрезерованная поверхность кремния₃N₄ подложка*
*Поверхностная обработка: планарное аргонно-ионное фрезерование после машинного фрезерования

Мягкий материал и наука о жизни

Применимые характеристики JSM-IT710HR: низкое ускоряющее напряжение, функция низкого вакуума и наблюдение со сверхмалым увеличением

ABS смолы

Даже несколько изображений, наблюдаемых при увеличении в десятки тысяч раз, могут быть получены с высокой точностью и стабильной яркостью.

Желатин

Изображение вторичных электронов высокой яркости и высокого разрешения

Искусственный сосуд

Наблюдение за биологическим образцом на предметном стекле от малого до большого увеличения

Связанные товары

Полевые растровые микроскопы (РЭМ, FE-SEM)

Приборы для пробоподготовки (CP)

Подробнее