Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп JSM-7610FPlus Schottky

Особенности

Особенности

Высоко оцененная оптическая система JSM-7610F была обновлена, достигнув еще лучшего разрешения (15 кВ 0.8 нм, 1 кВ 1.0 нм) и теперь доступна как JSM-7610FPlus.
Объектив типа Semi-in Lens и оптика High Power Optics системы облучения обеспечивают наблюдение с высоким пространственным разрешением и возможность стабильного анализа.
Кроме того, JSM-7610FPlus может быть оборудован для удовлетворения различных потребностей пользователей, включая наблюдение при низких ускоряющих напряжениях в режиме GENTLEBEAM™ и выбор сигнала с использованием r-фильтра.

Объектив с полувходовой линзой

Конструкция объектива с полулинзой позволяет проводить наблюдения со сверхвысоким разрешением с помощью встроенного в линзу детектора.

Образец: наночастицы платинового катализатора на углероде 15 кВ

Оптика высокой мощности

Уникальная электронно-оптическая система позволяет проводить разнообразные анализы и наблюдения при большом увеличении. Электронная пушка Шоттки с полевой эмиссией в линзе, которая может обеспечить ток зонда в 10 раз больше, чем у обычной электронной пушки Шоттки с полевой эмиссией (FEG), вместе с линзой управления углом апертуры (ACL), которая может поддерживать небольшой диаметр зонда с соответствующий угол сходимости даже при повышенном токе зонда позволяет использовать токи зонда 200 нА и более. Мощная оптика обеспечивает все характеристики, необходимые для выполнения любых задач, от просмотра с большим увеличением до анализа EDS и EBSD.

Электронная пушка Шоттки в объективе

Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки в линзе сочетает в себе электронную пушку с линзой конденсатора с низкой аберрацией, что позволяет эффективно собирать электроны, генерируемые электронной пушкой.

Объектив с управлением углом диафрагмы (ACL)

Линза управления углом апертуры (ACL) расположена над линзой объектива для выполнения автоматической оптимизации угла апертуры линзы объектива во всем диапазоне тока зонда. Это позволяет получить меньший диаметр зонда, чем это возможно в обычных системах, даже при большом токе зонда.

Малый диаметр зонда даже при большом токе зонда

Высокостабильный ток зонда для увеличения времени анализа

Встроенная электронная пушка Шоттки с полевой эмиссией обеспечивает стабильный ток зонда.

Режим GENTLEBEAM™

В режиме GENTLEBEAM™ (режим GB) к образцу прикладывается напряжение для уменьшения посадочного напряжения электронов непосредственно перед тем, как они ударят по образцу, что позволяет проводить наблюдения с высоким разрешением при ускоряющем напряжении до 100 В.
Поскольку область рассеяния электронного луча внутри образца мала, легко наблюдать микроструктуры на поверхности и можно уменьшить воздействие на образцы, подверженные тепловому повреждению. Непроводящие образцы можно легко наблюдать при пониженной зарядке. Разрешение 1 кВ в режиме GB с JSM-7610FPlus составляет 1.0 нм.

Влияние режима ГБ

Режим GB улучшает разрешение при низком ускоряющем напряжении.

Улучшенное разрешение при низком ускоряющем напряжении

r-фильтр

R-фильтр следующего поколения

R-фильтр следующего поколения — это уникальный энергетический фильтр, который сочетает в себе электрод управления вторичными электронами, электрод управления электронами обратного рассеяния и электрод фильтра. При облучении поверхности образца электронным пучком с поверхности испускаются электроны с различной энергией. Новый r-фильтр позволяет выборочно обнаруживать вторичные электроны и электроны обратного рассеяния от образца, в то время как электронный пучок удерживается в центре линзы с использованием комбинации нескольких электростатических полей.
По сравнению с r-фильтром предыдущей модели, r-фильтр нового поколения имеет усиление сигнала в 3 раза.

Обнаружение сигнала с помощью нового r-фильтра

Детектор LABE (опция)

Детектор LABE (Low Angle Backscatter Electron) способен обнаруживать электроны с очень низкой энергией и очень малыми углами обратного рассеяния, которые ранее невозможно было обнаружить.
Подробную топологическую информацию о поверхности образца можно получить при чрезвычайно низких ускоряющих напряжениях, а информацию о составе образца можно наблюдать с хорошим разрешением при высоких ускоряющих напряжениях.

Детектор LABE: изображения обратно рассеянных электронов под малым углом

Контраст каналов тонкопленочных кристаллических зерен можно наблюдать, используя обратно рассеянные электроны с чрезвычайно низким ускоряющим напряжением.

растяжимость

Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDS)

Высокомощная оптика позволяет эффективно использовать преимущества детектора EDS (SDD: Silicon Drift Detector), который трудно насыщать даже при больших токах зонда. Используя низкое ускоряющее напряжение и большой ток зонда, можно получить карты хорошего качества за очень короткий период времени. На изображениях ниже показан анализ чрезвычайно тонкого слоя графена и графита на никелевой подложке, полученного за 2 минуты.

Даже при использовании базового детектора SSD 10 мм2 можно проанализировать поперечное сечение многослойной пленки толщиной около 100 нм всего за 30 секунд.

Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (WDS)

Поскольку оптика высокой мощности обеспечивает большой ток пробника при малом диаметре пробника, можно в полной мере использовать возможности WDS. Использование WDS позволяет подтвердить различия в концентрациях следовых количеств или совпадения элементов в образце, которые не могут быть идентифицированы с помощью EDS.

Детектор катодолюминесценции (CL)

CL — это явление видимого света, генерируемого при воздействии на образец электронного луча. Свет, излучаемый образцом, собирается с помощью фокусирующего зеркала и регистрируется. Изображения ниже представляют собой изображение во вторичных электронах и изображение CL, полученное с дифракционной решеткой алмаза при 1 кВ. Наблюдение КЛ-изображения при низком ускоряющем напряжении выявляет дефекты поверхности алмаза с хорошим разрешением.

Камера для образцов, оптимизированная для анализа

Камера для образцов сконструирована таким образом, чтобы обеспечить оптимальную установку различных детекторов, включая детектор вторичных электронов, детектор обратнорассеянных электронов, EDS, EBSD, WDS, STEM и детектор катодолюминесценции.
Детектор вторичных электронов, EDS и EBSD расположены таким образом, чтобы их можно было наблюдать одновременно на наклонном образце, при этом порт EBSD перпендикулярен эуцентрическому наклону предметного столика.

Различные аксессуары могут быть установлены одновременно

Характеристики

• По желанию

• Microsoft Windows является зарегистрированным товарным знаком Microsoft Corporation в США и других странах.

Скачать буклет

Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп JSM-7610FPlus Schottky

Приложения

Приложение JSM-7610FPlus

CryoNote

Подробнее