Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп Шоттки JSM-7600F
СНЯТО
Полулинзовый РЭМ с высоким разрешением. Использование системы облучения High Power Optics обеспечивает высокоточный, высокоскоростной и высокоточный анализ элементов с высоким разрешением. Включение мягкого луча позволяет получать изображения верхней поверхности образца при очень низких энергиях в несколько сотен эВ.
Особенности
Эта страница содержит следующие ошибки: ошибка в строке 1 в столбце 5579: xmlParseCharRef: недопустимое значение xmlChar 8 Ниже представлено отображение страницы до первой ошибки.Полуобъектив обеспечивает наблюдение и анализ с высоким разрешением
Наблюдение с высоким разрешением и анализ с высоким пространственным разрешением достигаются за счет комбинации объектива полулинзового типа, который может коллимировать электронный пучок даже при низких ускоряющих напряжениях, и встроенного в линзу источника электронов Шоттки, который обеспечивает стабильный ток в течение долгий срок службы.
Мягкий луч (GB) обеспечивает визуализацию верхней поверхности с падающими электронами со сверхнизкой энергией
Доступен мягкий луч (режим GB) с лучшим разрешением, чем в обычном режиме. В режиме GB к образцу прикладывается напряжение смещения во время испускания электронного луча, что позволяет получить изображение верхней поверхности всего с несколькими сотнями эВ падающего электрона, что позволяет получать изображения образцов с высоким разрешением, которые до сих пор было трудно наблюдать. .
High Power Optics обеспечивает высокоскоростной и высокоточный анализ
В оптической системе используется оптика высокой мощности, обеспечивающая не только изображение с высоким разрешением, но и стабильный высокоскоростной высокоточный анализ, включая элементный анализ.
примеры применения
Применение1 Наблюдение с высоким разрешением с помощью полулинзового объектива
Характеристики
| разрешение SEI | 1.0 нм (15 кВ), 1.5 нм (1 кВ) | ||
|---|---|---|---|
| Увеличение | 25 - 1,000,000 (на изображении размер 120мм 90мм) |
||
| Ускоряющее напряжение | 0.1kV - 30kV | ||
| Ток зонда | от 1 пА до 200 нА | ||
| Объектив управления углом диафрагмы | Встроенный | ||
| Детекторы | Верхний детектор, нижний детектор | ||
| Энергетический фильтр | Новый р-фильтр | ||
| Нежный луч | Встроенный | ||
| Цифровое изображение | 1,280 x 960 пикселей, 2,560 x 1,920 пикселей, 5,120 x 3,840 пикселей | ||
| Образец шлюзовой камеры | Встроенный механизм замены образца одним действием | ||
| Стадия образца | Eucentric, 5 осей управления двигателем | ||
| Тип | IA | II | III |
| XY | 70mm × 50mm | 110mm × 80mm | 140mm × 80mm |
| Наклон | от -5° до ～＋70° | от -5° до +70° | от -5° до +70° |
| Вращение | 360° | 360° | 360° |
| WD | 1.5mm к 25mm | 1.5mm к 25mm | 1.5mm к 25mm |
| Система эвакуации | Два SIP, TMP, RP | ||
| Эко дизайн | При нормальной работе: 1.2 кВА В спящем режиме: 1 кВА Во время отключения системы эвакуации: 0.76 кВА |
||
CO2 Эмиссия
| CO2/час | CO2/год | |
|---|---|---|
| Во время нормальной работы | 0.481кг | 4,214кг |
| Во время спящего режима | 0.411кг | - |
| Во время эвакуации система ВЫКЛ. (ионный насос включен) |
0.286кг | - |
Основные параметры
выдвижной детектор обратнорассеянных электронов (RBEI)*1 Детектор БЭ с малым углом (LABE)*2
Волнодисперсионный рентгеновский спектрометр (WDS)
Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDS)
Система дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)
Сканирующий детектор просвечивающих электронов (STEM)
Детектор катодолюминесценции (CLD)
Ловушка жидкого азота (LNT)
Для анализа ЭДС
Для наблюдения с большим увеличением
Приложения
Приложение JSM-7600F
Электроны, рассеянные назад под большим углом, и электроны, рассеянные назад под малым углом
Фото
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.