Сканирующий электронный микроскоп серии JSM-6610
СНЯТО
Плавный переход между визуализацией и анализом. РЭМ общего назначения термического типа для удовлетворения потребностей широкого круга пользователей, поскольку стандартные рецепты упрощают процедуры настройки. Стандартный 5-осевой моторный столик позволяет легко найти интересующую область.
Особенности
Операционная навигация
На экране операционной навигации отображаются различные навигационные функции.
Процедура обмена образца представлена в формате потока, так что процесс может быть легко выполнен даже новичком.
Сценическая графика упрощает поиск целевых сайтов
При использовании системы навигации предметного столика (опция) можно локализовать интересующую область так же, как при работе с оптическим микроскопом.
Видео-анимации дополняют пояснения по процедурам техобслуживания.
Стандартные рецепты
Предварительно установлены стандартные рецепты, основанные на знаниях и опыте JEOL.
Даже новые пользователи СЭМ могут устанавливать условия, подходящие для каждого образца.
Большая сцена
В стандартную комплектацию входит большая камера для образцов с 5-осевым столиком с приводом от двигателя.
Можно обрабатывать образцы размером до 8 дюймов в диаметре и высотой 80 мм.
Интеграция с ЭЦП
Анализ можно запустить из окна SEM
Поскольку EDS также является продуктом JEOL, управление может осуществляться с одного ПК.
Характеристики
| РазрешениеHV режим | 3.0 нм (30 кВ), 8 нм (3 кВ), 15 нм (1 кВ) |
|---|---|
| режим LV *1 | 4.0 нм (30 кВ) |
| увеличения | От × 5 до × 300,000 128 (для изображения размером 96 мм × XNUMX мм) |
| Предустановленные увеличения | 5 шагов, выбирается пользователем |
| Стандартный рецепт | Построен в |
| Пользовательский рецепт | Рабочие условия (оптика, режим изображения, давление ЛЖ*1) Стадия образца |
| Режим изображения | Вторичное электронное изображение, REF-изображение, композиция*1, Топография*1, Затененный*1 |
| Ускоряющее напряжение | 0.3 кВ до 30 кВ |
| Филамент | Предварительно центрированная нить на заводе |
| Электронная пушка | Полностью автоматизировано, ручное управление |
| Конденсорная линза | Конденсорный объектив с переменным фокусным расстоянием |
| Объектив | Суперконический объектив |
| Апертуры объектива | 3 ступени, точная регулировка по осям XY |
| Стигматорная память | Построен в |
| Электрический сдвиг изображения | ± 50 мкм (ширина диаметра = 10 мм) |
| Автоматические функции | Фокус, яркость, контрастность, стигматор |
| Стадия образца | Эуцентрическая стадия крупных образцов
оси моторизованные X: 125 мм, Y: 100 мм, Z: от 5 мм до 80 мм, Наклон: от −10° до 90°, вращение: 360° |
| Эталонное изображение (Навигатор) | 4 изображений |
| Обмен образцами | Нарисуйте сцену |
| Максимальный образец | Диаметр 200 мм |
| PC | Совместимость с IBM PC/AT |
| OS | Windows 7 |
| монитор | 19-дюймовый ЖК-дисплей, 1 или 2*2 |
| Магазин кадров | 640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120×3,340 |
| Двойное живое изображение | Построен в |
| Отображение полноразмерного изображения | Построен в |
| Псевдоцвет | Построен в |
| Многоэкранный дисплей | 2 изображения, 4 изображения |
| Цифровой зум | Построен в |
| Двойное увеличение | Построен в |
| Cеть | Ethernet |
| Анализ эффективности | Построен в |
| Формат изображения | BMP, TIFF, JPEG |
| Автоматическое архивирование изображений | Построен в |
| Насосная система | Полностью автоматизирован, DP: 1, RP: 1 или 2*1 |
| Переключение вакуумного режима*1 | Через меню менее 1 минуты |
| Давление ЛЖ*1 | от 10 до 270 Па |
| JED-2300 ЭДС*2 | Построен в |
Основные параметры
Детектор обратнорассеянных электронов*1
Низковакуумный детектор вторичных электронов
Энергодисперсионный рентгеновский анализатор (ЭДС)
Анализатор рентгеновского излучения с дисперсией по длине волны (WDS)
ЭИ
Система навигации по сцене
Шлюзовая камера
Объем камеры
Операционная клавиатура
ЛаБ6 электронная пушка
Программное обеспечение для создания отчетов (Smile View™)*2
Консоль управления (ширина 750 мм, ширина 900 мм)
Стандартно для JSM-6610LA и JSM-6610LV
Стандартно для JSM-6610LA и JSM-6610A
Приложения
Применение JSM-6610серия
Электроны, рассеянные назад под большим углом, и электроны, рассеянные назад под малым углом
Представляем серию ALTO (криосистема)
Фото
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.