Сканирующий электронный микроскоп серии JSM-6510

РЭМ общего назначения термического типа для удовлетворения потребностей широкого круга пользователей со встроенными стандартными рецептами. Множество доступных опций, таких как Cryo, еще больше расширяет спектр применения.

Особенности

Операционная навигация

На экране операционной навигации отображаются различные навигационные функции.
Процедура обмена образца представлена в формате потока, так что процесс может быть легко выполнен даже новичком.
Если установлен столик с моторным приводом, графическое изображение предметного столика упрощает поиск целевого участка. При использовании системы навигации предметного столика (опция) можно определить интересующую область так, как будто вы работаете с оптическим микроскопом.
Видео-анимации дополняют пояснения по процедурам техобслуживания.

Стандартные рецепты

Предварительно установлены стандартные рецепты, основанные на знаниях и опыте JEOL.
Даже новые пользователи СЭМ могут устанавливать условия, подходящие для каждого образца.

Широкий выбор вариантов

Можно установить различные опции, в том числе криосистему и охлаждающую сцену.
Поскольку EDS также является продуктом JEOL, управление может осуществляться с одного ПК.

Интеграция с ЭЦП

Анализ можно запустить из окна SEM
Поскольку EDS также является продуктом JEOL, управление может осуществляться с одного ПК.

Характеристики

РазрешениеHV режим	3.0 нм (30 кВ), 8 нм (3 кВ), 15 нм (1 кВ)
режим LV *1	4.0 нм (30 кВ)
Увеличение	От × 5 до × 300,000 128 (для изображения размером 96 мм × XNUMX мм)
Предустановленные увеличения	5 шагов, выбирается пользователем
Стандартный рецепт	Построен в
Пользовательский рецепт	Рабочие условия (оптика, режим изображения, давление ЛЖ*1) Стадия образца
Режим изображения	Вторичное электронное изображение, REF-изображение, композиция1, Топография1, Затененный*1
Ускоряющее напряжение	0.5 кВ до 30 кВ
Филамент	Предварительно центрированная нить на заводе
Электронная пушка	Полностью автоматизировано, ручное управление
Конденсорная линза	Конденсорный объектив с переменным фокусным расстоянием
Объектив	Суперконический объектив
Апертуры объектива	3 ступени, точная регулировка по осям XY
Стигматорная память	Построен в
Электрический сдвиг изображения	± 50 мкм (ширина диаметра = 10 мм)
Автоматические функции	Фокус, яркость, контрастность, стигматор
Стадия образца	Эуцентрическая стадия крупных образцов X: 80 мм, Y: 40 мм, Z: от 5 мм до 48 мм, Наклон: от −10° до 90°, вращение: 360°
Эталонное изображение (Навигатор*3)	4 изображений
Обмен образцами	Нарисуйте сцену
Максимальный образец	Диаметр 150 мм
PC	Совместимость с IBM PC/AT
OS	Windows 7
монитор	19-дюймовый ЖК-дисплей, 1 или 2*2
Магазин кадров	640×480, 1,280×960, 2,560×1,920, 5,120×3,340
Двойное живое изображение	Построен в
Отображение полноразмерного изображения	Построен в
Псевдоцвет	Построен в
Многоэкранный дисплей	2 изображения, 4 изображения
Цифровой зум	Построен в
Двойное увеличение	Построен в
Cеть	Ethernet
Анализ эффективности	Построен в
Формат изображения	BMP, TIFF, JPEG
Автоматическое архивирование изображений	Построен в
Насосная система	Полностью автоматизирован, DP: 1, RP: 1 или 2*1
Переключение вакуумного режима*1	Через меню менее 1 минуты
Давление ЛЖ*1	от 10 до 270 Па
JED-2300 ЭДС*2	Построен в

Основные параметры

Детектор обратнорассеянных электронов*¹
Низковакуумный детектор вторичных электронов
Энергодисперсионный рентгеновский анализатор (ЭДС)
Анализатор рентгеновского излучения с дисперсией по длине волны (WDS)
ЭИ
Система навигации по сцене
Шлюзовая камера
Объем камеры
Операционная клавиатура
ЛаБ₆ электронная пушка
Программное обеспечение для создания отчетов (Smile View™)*²
Консоль управления (ширина 750 мм, ширина 900 мм)
Ступень с моторным управлением (2 оси, 3 оси, 5 осей)