ДЖЕД-2300
Аналитическая станция Плюс
Аналитическая станция JED-2300 Plus оснащена DrySD™ (Дрейфовый детектор сухого кремния) JEOL, высокоскоростным анализатором и аналитическим программным обеспечением, специально разработанным для электронных микроскопов JEOL.
Аналитическая станция JED-2300 Plus, система EDS для выполнения элементного анализа путем обнаружения характеристического рентгеновского излучения, генерируемого образцом, была разработана на основе концепции дизайна «Бесшовное от наблюдения к анализу» с использованием многолетнего опыта JEOL в области электроники. оптика и ЭДС.
Эта система EDS полностью интегрирована с нашими SEM, FIB-SEM и TEM для всестороннего управления данными (микроскопические изображения и данные рентгеновского снимка) с простым для понимания пользовательским интерфейсом.
Для систем FIB-SEM, оснащенных столиками с моторным приводом, управление данными на больших площадях облегчается с помощью визуализированных операций, таких как микроскопические изображения с разным увеличением или разным положением предметного столика, а также расположение карт элементов.
Особенности
Инновационный дизайн
Значки операций
Значки расположены слева направо и помогают пользователю пройти каждый этап сбора данных. Кроме того, функции каждого значка отображаются для визуального понимания.
Отображение индексированных изображений
Оператор может быстро получить доступ к полученным данным с индексированного дисплея изображений.
Список данных анализа
Изображения и результаты анализа автоматически сохраняются в одной папке для быстрого доступа. Когда оператор выбирает любую область на дисплее индексированного изображения, данные для соответствующих областей будут отображаться в списке данных анализа, что упрощает управление данными.
Идентификатор визуального пика
Эта функция позволяет подтвердить, правильно ли определены составляющие элементы в результате качественного анализа. Спектр восстанавливается расчетным путем по интенсивности рентгеновского излучения элементов, идентифицированных при качественном анализе.
Обнаружено, что форма пика рентгеновских линий Bi отличается между полученным спектром (розовый) и рассчитанным спектром (синий).
Повторное исследование положения пика Bi показало присутствие Pb. Когда к результатам анализа добавляли Pb, формы двух пиков совпадали. По этому результату было подтверждено, что Pb содержится в образце.
Функции анализа воспроизведения
Обычное элементарное картирование регистрирует до тех пор, пока не будет достаточного количества рентгеновских лучей, и сохраняет спектр, где накопленные значения всех кадров для спектра сохраняются в каждом пикселе. Функции Play Back Analysis, доступные для JED-2300 Analysis Station Plus, могут воспроизводить эти данные как анимацию после получения карт элементов. Таким образом, эта функция может помочь сделать широкий спектр анализов. Например, вы можете подтвердить наличие или отсутствие деформации образца во время получения карты или изменения элементов в образце во время анализа на месте, такого как нагрев.
Станция улыбки™ 2
Карты элементов получаются автоматически, что позволяет пользователю выбирать только необходимые области из смонтированного изображения или нескольких изображений микроскопа, что позволяет эффективно анализировать сложные области.
Программное обеспечение для анализа частиц 2
Функция анализа частиц
Получение морфологической информации об обнаруженных характерных объектах (конкретных частицах и т. д.) возможно на основе различий в интенсивности микроскопического изображения (изображение состава обратно рассеянных электронов и т. д.). Эти Featured-объекты могут быть подвергнуты автоматическому анализу EDS. Различные избранные объекты анализируются путем задания условий анализа, включая разницу в интенсивности изображения, а также размер и форму. Совместное использование со Smile Station™ 2 обеспечивает автоматический анализ частиц на больших площадях. Эта функция также расширяет область применения, включая: включения в зернах минералов, выделение избранных объектов определенной формы и частицы, собранные на фильтрах.
Статистическая обработка
Для каждой частицы записываются результаты анализа EDS и информация о форме частицы (диаметр частицы, площадь и т. д.). Вы можете создавать графики или таблицы из информации для статистической обработки.
Пример автоматического анализа (асбест)
Асбест имеет форму с высоким соотношением сторон. Программное обеспечение для анализа частиц 2 может выбрать соотношение сторон асбеста (волокон) для анализа EDS, и поэтому будут выделены и измерены только частицы подходящего размера и формы. По результатам анализа EDS можно определить, является ли анализируемая игольчатая частица асбестом, и классифицировать тип асбеста. Вы также можете повторно подтвердить результаты анализа каждой частицы после завершения анализа.
Классифицированный асбест
Асбест, извлеченный программным обеспечением для анализа частиц
хризотиловый
Амозит
Крокидолит
Сухой кремниевый дрейфовый детектор
В отличие от обычных детекторов ЭДС кремниевого (литиевого) типа, для сухого кремниевого дрейфового детектора не требуется жидкий азот. Техническое обслуживание упрощается, а SDD обеспечивает более высокую пропускную способность подсчета рентгеновских лучей. Использование дрейфовых детекторов с сухим кремнием большой площади позволяет проводить элементный анализ даже при малом токе зонда.
Сухой кремниевый дрейфовый детектор
Список дрейфовых детекторов на основе сухого кремния
| Растровый электронный микроскоп | Зона обнаружения | Энергетическое разрешение | Обнаруживаемые элементы |
|---|---|---|---|
| Серия JCM-6000 | 25 мм2 | 133 эВ или менее | Б～У |
| Серия JSM-IT100 | 25 мм2 | 130 эВ или менее | Бе～У |
| Серия JSM-IT500 КЭ-СЭМ |
25 мм2, 30 мм2 60 мм2, 100 мм2 |
129 эВ или менее 133 эВ или менее |
Бе～У Б～У |
Для серии JSM-IT100 функции, представленные на этой веб-странице, применимы только в том случае, если JED-2300 Analysis Station Plus установлена на JSM-IT100 или JSM-IT100LV. Для JSM-IT100A и JSM-IT100LA используется другое программное обеспечение для анализа.
Характеристики
| SEM | ДЖКМ-6000 Серии |
※Внимание | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Контрольный ПК | ОС: Microsoft®Windows® ７ 32-битная/64-битная версия. Windows®10 64-битная |
● | ● | 6 | ||||
| Язык | японский/английский | ● | ● | |||||
| Детектор | Тип твердотельного накопителя | Выберите из списка детекторов | Только 25 мм2 детектор |
|||||
| Ⅰ: Стандартный режим Ⅱ: Режим карты Ⅲ: Режим монтажа Ⅳ: Режим анализа частиц Ⅴ: Режим анализа частиц большой площади |
ⅰ | Ⅱ | ⅲ | ⅳ | Ⅴ | |||
| Спектральный анализ | Качественный/количественный анализ (коррекция ZAF, аппроксимация тонкой пленки для ПЭМ) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| Идентификатор визуальных пиков (VID) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Классификация химических типов, QBase (база данных качественного анализа) | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Отображение скорости счета и мертвого времени в режиме реального времени | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Генерация отчетов | Отчет в один клик | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| ПРОСМОТР УЛЫБКИ™ | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Экспорт в Microsoft® Word、Microsoft® PowerPoint® | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Аналитическая станция | Управление данными | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| Анализ запущен на мониторе EDS (положение анализа установлено на полученном изображении) | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Графическое отображение позиций анализа, навигация, Pinpoint Navi | ● | ● | ● | ● | 2 | |||
| SEM-интеграция | Автоматический мониторинг состояния микроскопа (Увеличение, Ускоряющее напряжение, Координата стадии) |
● | ● | ● | ● | ● | ● | |
| СЭМ WD-мониторинг | ● | ● | ● | ● | 1 | |||
| Позиция анализа, указанная в мониторе SEM (Прямой анализ установлен в графическом интерфейсе SEM.) |
● | ● | ● | ● | 1 | |||
| Функция помощи | Помощь в анализе | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Линейный анализ | Линейный анализ, Количественный линейный анализ | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Профиль линии большой площади | ● | ● | ● | ● | ||||
| Элементарная карта | Элементарная карта (карта с 3 цветами, отслеживание зонда) | ● | ● | ● | ● | ● | ||
| Изображение с высоким разрешением (4096 × 3072 пикселей для изображения, полученного с помощью электронного микроскопа, и карты элементов) | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Функция срабатывания для микроэлементов | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Всплывающий спектр | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Количественная карта | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Остаточная карта | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Анализ воспроизведения | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Корреляционная диаграмма | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Станция улыбки™ 2 | Автоматический последовательный анализ | ● | ● | 2 | ||||
| Автоматический монтаж (изображение SEM, карта элементов) | ● | ● | 2 | |||||
| Автоматическое получение карт элементов в нескольких областях | ● | ● | 2 | |||||
| Программное обеспечение для анализа частиц 2 | Анализ частиц (автоматический / ручной) и анализ EDS | ● | ● | |||||
| Статистическая обработка (результаты анализа, диаметр частиц, площадь и т.д.) | ● | ● | ||||||
| Последовательный анализ частиц и EDS в нескольких областях | ● | 3 | ||||||
| Искатель частиц | ● | 3 | ||||||
| Проверка вручную | ● | 3 | ||||||
| КГР-анализ | Автоматизированный анализ остатков огнестрельного оружия (GSR) | ● | 3, 4 | |||||
| Количественный анализ RHI-RHO-Z | Повышенная точность количественного анализа образцов, содержащих легкие и тяжелые элементы. | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| Ток зонда компенсация |
Контроль тока датчика, компенсация колебаний тока датчика | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 5 | |
| Приобретение стандарта пользователя | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | 5 | ||
| Качающаяся мышь | Один набор управления мышью и клавиатурой для двух ПК (SEM и EDS) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| Автономный анализ | Лицензионное ПО для автономного анализа данных | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| Встроенное программное обеспечение | Стандартное программное обеспечение | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Программное обеспечение для цифрового картографирования | ● | ● | ● | ● | ● | |||
| Станция улыбки™ 2 | ● | ● | ||||||
| Программное обеспечение для анализа частиц 2 | ● | ● |
● Встроенный ○ Дополнительно
Применимо только к JSM-IT300HR LA.
Применимо к РЭМ с моторным приводом. Не применимо к JSM-6000Plus.
Применимо к SEM с моторным приводом XYZ 3 или более осей.
Для выполнения калибровки требуется дополнительный блок GSR.
Требуется дополнительный блок компенсации тока пробника. Автоматический контроль тока зонда возможен только при подключении ЭДС к компьютеру микроскопа. Для FE-SEM, включающих PCD и AEI, этот модуль не требуется.
Для серий JSM-IT300HR LA и JCM-6000 программное обеспечение EDS устанавливается на ПК для базового блока микроскопа. Таким образом, в этом случае ПК, предназначенный для ЭЦП, не требуется.
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Microsoft, Windows и PowerPoint являются зарегистрированными товарными знаками корпорации Microsoft в США и других странах.
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.