JIB-4601F представляет собой многолучевую систему обработки и наблюдения, включающую SEM типа Шоттки и колонку FIB высокой мощности. После фрезерования области поперечного сечения с помощью FIB можно наблюдать и анализировать внутренние части с помощью SEM. FIB можно использовать для тонкого измельчения и подготовки образцов для ПЭМ, а также для выполнения трехмерного структурного анализа с автоматическим фрезерованием поперечного сечения/наблюдением и анализом через фиксированные интервалы времени. РЭМ типа Шоттки позволяет легко позиционировать целевой участок, а также наблюдать и анализировать мельчайшие структуры. Это система, которую можно использовать для широкого спектра применений, включая исследования и разработки, а также контроль качества продукции.
Особенности
Инструмент «все в одном» — различные приложения, предлагаемые одним прибором
Многофункциональный анализ благодаря сочетанию колонки High-Power FIB и High-Power Optics SEM.
Колонка High-Power FIB с максимальным током зонда 60 нА обеспечивает быстрое фрезерование поперечного сечения, а СЭМ Шоттки обеспечивает наблюдение поперечного сечения с высоким разрешением. Высокомощная оптика (максимальный ток 200 нА при 15 кВ), встроенная в СЭМ, позволяет выполнять высокоскоростной анализ с высоким разрешением, например анализ элементов с использованием EDS или WDS, а также анализ ориентации кристаллов EBSD. Кроме того, доступен полный набор дополнительных приспособлений, включая детекторы просвечивающих электронов, механизмы охлаждения образцов, такие как криоблок и охлаждающий столик, а также детекторы катодолюминесценции.
Функция трехмерного анализа структуры
Благодаря автоматическому чередованию фрезерования секции FIB с использованием функции серийного среза и отбора проб, а также наблюдения и анализа с помощью SEM (картирование EDS или анализ кристаллической структуры EBSD) можно анализировать трехмерную структуру образца. Измерения могут быть выполнены быстро, поскольку нет необходимости перемещать предметный столик.
Совместим с другими продуктами JEOL.
Характеристики
| Электронная пушка | Тип полевой эмиссии Шоттки △TFE (ZrO/W) |
|---|---|
| Объектив | Объектив внелинзового типа |
| Постановления | 1.2 нм при 30 кВ WD4мм 3.0 нм при 1 кВ WD2мм |
| Ускоряющее напряжение | от 0.2 до 30 кВ |
| Ток зонда | От нескольких пА до 200 нА при 15 кВ |
| Объектив с оптимизацией угла диафрагмы | Встроенный |
| Увеличение | от x20 до x1,000,000 |
| Детекторы | Нижний детектор электронов (светодиод) Вариант(*) Р-КРОВАТЬ* КОРЕНЬ* |
| Нежный луч | Встроенный (напряжение, подаваемое на образец, от 0 до 300 В) |
| Камера обмена образцами | Встроенный (с функцией введения сухого азота) |
| Стадия образца | 6-осевой моторный столик |
| Диапазон перемещения образца | X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: от 1.5 до 41 мм Наклон: от -5 до 70°, Вращение: 360°, Fz: от -3 до +3 мм |
| Метод обмена образцами | Тип зажима в одно касание |
| Держатель образца | Стандартный держатель: держатель φ12.5 держатель φ32 мм Опциональный держатель: Держатель пластин 76.2 мм Держатель пластин 100 мм Держатель пластин 125 мм Держатель пластин 150 мм 2, 4, 6 тип объемного держателя Поверхностный держатель для нескольких образцов Держатель STEM Держатель фиксатора челнока Держатель в одно касание |
| Объем камеры | Камера камеры для образцов (опция) |
| Автоматические функции | Автофокус Автоматическая регулировка яркости |
| Контроль системы | Система управления СЭМ ПК Совместимость с IBM PC/AT〔SM-77360PC〕 Оперативная память 2 ГБ или более ОС Windows 7® Профессиональная* |
| монитор | 23 дюйма |
| Отображение изображения | Область отображения изображения 1280×960 пикселей, 800×600 пикселей |
| Режимы отображения | Стандарт: SEM_SEI, FIB_SEI Опция: SEM_COMPO, SEM_TOPO, AUX, CCD |
| Режимы сканирования/отображения | Сканирование ограниченной области, добавление изображений, масштабирование Отображение экрана: 1 экран, 2 экрана (стандарт), 4 экрана |
| вакуум | ХВ ; < 2.0 x 10E-4 Па (при использовании ГИС; <3.0E-3Pa) |
| Система эвакуации | SIP x 2 (СЭМ), SIP x 1 (ФИБ), ТМП х 1, в РП х 1 |
| Режим экономии потребления электроэнергии | В обычном режиме ок. 2.0ｋВА |
| Co2эквивалент выбросов | Co2 эмиссия в год Нормальная работа 4967 кг |
| Устройство безопасности | Защита от вакуумного падения, пропадания воды, Н2 падение давления газа, ток утечки Однако механизм поддержания сверхвысокого вакуума при сбое питания не предусмотрен. |
| след | 3200мм или более ×3000ｍｍ или более |
| Требование к установке |
Источник питания Однофазный 100 В, 50/60 Гц, макс. 4кВА, Обычное использование ок. 2.0 кВА Допустимое колебание входного питания в пределах ±10% Клемма заземления 100 Ом или менее x 1 Охлаждающая вода Выпустите кран. диам. 14 мм x 1 или JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 Скорость потока 0.5 л/мин Давление воды от 0.1 до 0.25 МПа (манометрическое давление) Температура воды 20°± 5℃ Сливная гостиница. диам. 25 мм или более x1 или JIS B 0203 Rc 1/4 x 1 Сухой газообразный азот JIS B 0203 Rc 1/4 (предоставляется пользователем) Давление от 0.45 до 0.55 МПа (избыточное давление) Комната установки Комнатная температура 20 ℃ ± 5 ℃ Влажность 60% или ниже Магнитное поле рассеяния 0.3 мкТл (PP) или меньше (синусоидальная волна 50/60 Гц, диаметр 10 мм, 15 кВ)*1 Вибрация пола 3 мкм (ПП) или ниже*1 при частоте синусоидальной волны более 5 Гц. Шум 70 дБ или ниже *1 как ПЛОСКАЯ характеристика Размер помещения для установки 3,000 мм x 3,000 мм или более Высота 2,300 мм или выше Размер двери 1,000*2 мм (Ш) x 2,000 мм (В) или более
|
| Основные дополнительные вложения | EDS, WDS, EBSD, CL, SNS и т. д. |
Windows является зарегистрированным товарным знаком Microsoft Corporation в США и других странах.
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.