Особенности
Высокостабильный ток зонда и линза управления апертурой облегчают получение изображений с высоким разрешением. Процесс измельчения одновременно просматривается и анализируется с помощью СЭМ, что эффективно для анализа внутренней структуры и подготовки образцов тонкой пленки для ТЭМ.
Включает FE-SEM высокого разрешения для точного поперечного сечения.
СЭМ-изображение высокого разрешения для мониторинга фрезерования FIB в режиме реального времени.
Включает встроенную в объектив термоэлектронную пушку, обеспечивающую стабильный высокоскоростной анализ при максимальном токе 200 нА.
Многопортовая камера для образцов для полного цикла операций, от фрезерования FIB до получения изображений SEM и анализа с помощью различных детекторов, включая EDS и EBSD.
Поддерживает одновременную установку нескольких газов для нанесения защитной пленки.
СЭМ-визуализация высокого разрешения для подготовки образцов тонких пленок для ТЭМ.
Аксессуары
ЭДС (энергодисперсионный флуоресцентный рентгеновский анализатор)
EBSD-система
CLD (катодно-люминесцентный детектор)
IR-CAM (ИК-камера для просмотра)
ГИС (система закачки газа) x3
Система захвата образца
Нано-манипуляторная система
PCD (датчик тока зонда)
AEM (измеритель потребляемого тока)
ТЭД (детектор трансмиссионных электронов)
BEI (детектор обратнорассеянных электронов)
жидкость азотная ловушка
Устройство гашения луча
3D реконструкция программное обеспечение
Характеристики
FIB (сфокусированный ионный пучок)
| Источник ионов | Источник ионов жидкого металла Ga |
|---|---|
| Ускоряющее напряжение | От 1 до 30 кВ |
| Увеличение | 30x (поиск области обзора) от 100 до 300,000 XNUMXx |
| Разрешение изображения | 5 нм (при 30 кВ) |
| Максимальный ток луча | 30 нА (при 30 кВ) |
| Переменная апертура | 12 ступеней, моторный привод |
| Схема фрезерования ионным лучом | Прямоугольник, линия, точка |
СЭМ (электронный луч)
| Ускоряющее напряжение | От 0.2 до 30 кВ |
|---|---|
| Увеличение | От 20 до 1,000,000х |
| Разрешение изображения | 1.2 нм гарантировано (ускоряющее напряжение 30 кВ)
3.0 нм гарантировано (ускоряющее напряжение 1 кВ) |
| Максимальный ток луча | 200 нА |
| Стадия образца | Этап гониометра
Х: 50 мм; Y: 50 мм; Z: от 1.5 до 41 мм; Т: от -5 до 70°; Р: 360° |
| Вакуумный насос | 2 SIP (SEM), 1 SIP (FIB), 1 TMP, 1 RP |
Требования к монтажу
| Источник питания | Одна фаза 200 В 10%, 50/60 Гц. 6 кВА |
|---|---|
| Наземный терминал | Один тип D (100 Ом или менее) |
| Комнатная температура | 20 ° С ± 5 ° С |
| Влажность | 60% или менее |
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.