Многолучевая система SEM-FIB JIB-4501

JIB-4601F — это многолучевая система обработки данных, включающая в себя термоэлектронный электронный электронный микроскоп и высокопроизводительную ионную колонку. Прибор можно использовать в качестве системы РЭМ для наблюдения за поверхностью образца; или можно выполнить фрезерование сечения фрезерования области с использованием FIB с последующим анализом элементов и наблюдением за внутренними частями с помощью SEM. FIB можно использовать для тонкого измельчения и подготовки тонкопленочных образцов для ПЭМ. Большая камера расширяет возможный спектр применения. Низковакуумный режим позволяет проводить РЭМ-наблюдение без какого-либо покрытия изолирующим материалом, поэтому его можно использовать практически в любой области.

Особенности

Полный анализ с использованием комбинации термоэлектронно-электронной эмиссии SEM и высокопроизводительной колонки FIB

JIB-4501 включает в себя колонку High-Power FIB с максимальным током зонда 60 нА, что обеспечивает быстрое измельчение. Можно выполнить фрезерование поперечного сечения большей области, а также выполнить наблюдение СЭМ, EDS* или EBSD* анализ участка. Поскольку последовательность задач может выполняться в одном и том же вакуумном пространстве, анализ можно проводить без какого-либо повреждения поверхности образца из-за окисления. Большой предметный столик может вместить образец диаметром до 75 мм и высотой до 30 мм.
(*) дополнительное приложение

Функция серийной нарезки и выборки

Компоновка колонны JIB-4501 была разработана таким образом, чтобы поперечное сечение, полученное с помощью FIB, можно было наблюдать с помощью SEM без изменения угла наклона предметного столика. Это позволяет пользователю выполнять непрерывную автоматизированную последовательность операций фрезерования секции FIB и получения изображения SEM. Если используется дополнительное программное приложение Stack-N-Viz, можно реконструировать трехмерные изображения, чтобы лучше понять внутреннюю структуру образца.

Совместим с другими продуктами JEOL.

В серии JIB используются опции, совместимые с устройствами серий JEM и JSM. Образцы, изготовленные с использованием серии JIB, можно эффективно переносить между другими системами JEOL для получения еще более подробного анализа с превосходной производительностью. Например, если между наконечником держателя ТЕМ серии JEM (например, JEM-ARM200F) и столиком JIB-4501 используется челночный фиксатор (рис. 1), нет необходимости в сложной обработке образца ТЕМ, прикрепленного к сетке. сетки, что позволяет повысить пропускную способность.

Характеристики

FIB

Стадия образца

Дополнительные вложения

Система закачки газа 2 (ИБ-02100ГИС2)
Картридж для осаждения углерода (IB-52110CDC2)
Вольфрамовый картридж для напыления (IB-52120WDC2)
Картридж для нанесения платины (IB-52130WDC2)
Ступень гониометра с боковым входом (IB-01040SEG)
Детектор тока зонда (IB-04010PCD)
Панель управления (IB-05010OP)
Система сценической навигации (IB-01200SNS)
Наконечник FIB (EM-02210)
Держатель объемных образцов FIB (EM-02220)
Держатель объемных образцов FIB 1 (EM-02560FBSH1)
Держатель объемных образцов FIB 2 (EM-02570FBSH2)
Адаптер держателя образца FE-SEM (EM-02580FSHA)
Фиксатор челнока (EM-02280)
Система захвата атмосферы (EM-02230)

Приложения

Приложение JIB-4501

LIBnote

Подробнее