Особенности
Для легкой подготовки образцов тонкой пленки ПЭМ из термочувствительных материалов.
Сводит к минимуму термические повреждения при ионном облучении жидким азотом
Длительное время криогенного хранения для полного устранения повреждений
Обмен образца с введением жидкого азота
Максимальный размер образца: 2.8 мм (Д) x 1.0 мм (Ш) x 0.1 мм (Т)
Характеристики
ИБ-09060СНГ | ||
Ускоряющее напряжение ионов | От 1 до 8 кВ | |
Угол наклона | До 6°(шаг 0.1°) | |
Диаметр ионного пучка | 500 мкм или более (полная ширина на половине максимума) | |
Скорость фрезерования | 5 мкм/мин (ускоряющее напряжение: 8 кВ, эквивалентное значение Si) | |
Газовый | аргон | |
Максимальный размер образца | 2.8 мм (Д) × 1.0 мм (Ш) × 0.1 мм (Т) | |
試料冷却 | Температура охлаждения держателя образца | -120 ℃ |
Время достижения охлаждения | 1h | |
Время охлаждения | 8h | |
Время выдачи образцов | 30min | |
Измерение давления | Пеннинг-манометр | |
Главный вакуумный насос | Турбомолекулярный насос | |
CCD камера | Встроенный | |
Размеры и масса | Базовый блок | 500 мм (Ш) × 600 мм (Г) × 542 мм (В), 70 кг |
Роторный насос | 150 мм (Ш) × 427 мм (Г) × 230.5 мм (В), 16 кг | |
Дисплей | 326 мм (Ш) × 173 мм (Г) × 380 мм (В), 3.7 кг |
Требования к монтажу
ИБ-09060СНГ | |
Питания | Однофазный переменный ток от 100 до 120 В ± 10 %, 50/60 Гц, от 0.5 до 0.6 кВА |
Заземление | 100 Ом или менее |
Газ аргон | Давление: 0.15±0.05 МПа (от 1.0 до 2.0 кг/см2) Чистота: 99.9999% или более (газ аргон, газовый баллон и регулятор должны быть предоставлены заказчиком)
Соединение шланга: JIS B0203, Rc 1/4 |
Комнатная температура | 20 в 25 ℃ |
Влажность | 60% или менее |
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Приложения
Приложение IB-09060CIS
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.