IB-09020CP Устройство для подготовки образцов поперечного сечения
СНЯТО
В дополнение к функциям IB-09010CP за ходом обработки можно следить в режиме реального времени с помощью прилагаемой камеры CCD.
Особенности
Установлена камера-монитор (от x20 до x100), позволяющая отслеживать процесс обработки.
Включена функция автоматического запуска обработки без времени ожидания. Таким образом, процесс может быть запущен при оптимальной скорости вакуума.
Доступен дополнительный источник питания 8 кВ, обеспечивающий высокую скорость обработки 300 мкм/ч (на основе преобразования кремниевой подложки, количество наростов: 100 мкм, в среднем 2 часа)
Простое управление с помощью сенсорной панели
Характеристики
| Ускоряющее напряжение ионов | От 2 до 6 кВ |
|---|---|
| Диаметр ионного пучка | 500 мкм (полная ширина на половине максимума) |
| Скорость фрезерования | 100 м/ч (среднее значение за 2 часа, при ускоряющем напряжении: 6 кВ, образец: Si, 100 м от края) |
| Максимальный размер образца | 11 мм (ширина) × 10 мм (длина) × 2 мм (толщина) |
| Диапазон перемещения образца | Ось X: ± 10 мм, ось Y: ± 3 мм |
| Вращение образца диапазон регулировки угла |
± 5 ° |
| Угол поворота образца для полировки | ±30 (подана заявка на патент) |
| Эксплуатация | Сенсорная панель |
| Газовый | Аргон (расход регулируется регулятором массового расхода) |
| Измерение давления | Пеннинг-манометр |
| Главный вакуумный насос | Турбомолекулярный насос |
| Размеры и вес | Базовый блок: 380 мм (Ш) × 570 мм (Г) × 520 мм (В), 66 кг Роторный насос: 150 мм (Ш) × 427 мм (Г) × 230.5 мм (В), 16 кг |
| Дополнительные вложения | Источник питания 8 кВ Держатель вращения образца (SM-09011) ПЗС-камера с высоким позиционированием (IB-83910CCD) Большой держатель образца |
Требования к монтажу
| Питания | Одна фаза от 100 до 120 В ±10 % переменного тока, 50/60 Гц, от 0.5 до 0.6 кВА |
|---|---|
| Клемма заземления | 100 Ом или менее |
| Газ аргон | Давление: 0.15 ± 0.05 МПа (от 1.0 до 2.0 кг/см2) Чистота: 99.9999% или более (газ аргон, газовый баллон и регулятор должны быть предоставлены заказчиком) Соединение шланга: JIS B0203, Rc 1/4 |
| Комнатная температура | 15 в 25 ℃ |
| Влажность | 60% или менее |
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Приложения
Приложение IB-09020CP
Оже-анализ поперечного сечения CP
Поперечное сечение уретанового каучука широким ионным пучком Ar для визуализации с помощью СЭМ
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.