Особенности
Инновационный метод подготовки образцов для TEM / STEM / SEM / EPMA / AUGER
Ion Slicer может подготавливать тонкопленочные образцы без растворителей или химикатов и не требует предварительной обработки образца, кроме прямоугольных срезов (без шлифовки диском или шлифовки углублений).
Ion Slicer подготавливает тонкопленочные образцы быстрее и проще, чем обычные инструменты для подготовки. Низкоэнергетический пучок ионов аргона под малым углом облучает образец, в то время как тонкий защитный пояс позволяет облучать ионный пучок аргона под малым углом (от 0° до 6°), что значительно снижает повреждение образца ионным пучком. В результате получается высококачественная тонкая пленка с небольшим количеством артефактов распыления даже в мягких материалах. Ion Slicer может эффективно изготавливать тонкие пленки из образцов различного состава, даже из пористых композитов.
Основные моменты включают:
Высококачественная предварительная обработка TEM
Быстрая подготовка
Никаких сложных предварительных процедур
Минимальное повреждение поверхности
Характеристики
| ЭМ-09100ИС | ||
| Ускоряющее напряжение ионов | От 1 до 8 кВ | |
| Угол наклона | До 6° (шаг 0.1°) | |
| Диаметр луча | 500 мкм (полуширина высоты) | |
| Скорость фрезерования | 5 м/мин (8 кВ, кремний) | |
| Газ для лучевого облучения | аргон | |
| Рекомендуемый размер образца | 2.8 мм (в длину) 0.5 мм (в ширину) 0.1 мм (в толщину) | |
| Измерение давления | Пеннинг-манометр | |
| Основная система эвакуации | Турбомолекулярный насос | |
| ПЗС-камера | Встроенный | |
| Размеры и вес | Основная консоль | 500 мм (Ш) × 600 мм (Г) × 542 мм (В), 63 кг |
| Роторный насос | 150 мм (Ш) × 427 мм (Г) × 230.5 мм (В), 16 кг | |
| ЖК монитор | 326 мм (Ш) × 173 мм (Г) × 380 мм (В), 3.7 кг | |
Требования к монтажу
| ЭМ-09100ИС | |
| Питания | Однофазный, от 100 до 120 В переменного тока, 50/60 Гц, от 500 до 600 ВА |
| Клемма заземления | 100 Ом или менее |
| Газ аргон | Давление: 0.15 ± 0.05 МПа (1.0 ~ 2.0 кг/см2)
Расход аргона: около 0.2 смXNUMX Чистота: 99.9999% или более Соединение шланга: JIS B0203 Rc 1/8 *Газ аргон (включая трубопровод и газовый баллон) и регулятор должны быть предоставлены заказчиком. |
| Температура | От 20 до 25 ℃ (колебание: 1 ° C / час меньше) |
| Влажность | 60% или менее |
Предоставьте, пожалуйста, таблицу для монтажа оборудования.
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Приложения
Приложение EM-09100IS
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.