Закрыть кнопку

Выберите свой региональный сайт

Закрыть

БС-60610БДС
Источник осаждения после бомбардировки

Источник бомбардировки BS-60610BDS

Меньший ущерб от обратнорассеянных электронов и рентгеновского излучения/уменьшение разбрызгивания/вкладыш большой емкости/высокая скорость осаждения

Особенности

BS-60610BDS — это уникальный источник осаждения, который косвенно нагревает испаряемый материал в лайнере с помощью электронного луча.
Емкость вкладыша и скорость осаждения увеличились по сравнению с обычной моделью BS-60310BDS.

  • Отсутствие повреждения подложки из-за обратного рассеяния электронов и рентгеновских лучей.

  • Подходит для нанесения пленки с низким уровнем дефектов и небольшим разбрызгиванием.

  • Превосходный контроль скорости осаждения и стабильность реализуются за счет контроля нагрева высокоскоростным электронным лучом.

  • Нанесение толстой пленки за счет увеличения емкости вкладыша.

  • Более высокие скорости осаждения возможны за счет увеличения максимальной производительности и площади испарения по сравнению с BS-60310BDS.

Стандартные характеристики (фото вкладыш не является обязательным)

Принцип испарения

Емкость лайнера/Сравнение максимальной толщины осаждаемой пленки*

  • В случае расстояния от источника до подложки 1100 мм

Испаряемый материал БС-60310БДС БС-60610БДС Соотношение
Емкость лайнера Фтор 2200cc 2200cc 1.7 раз
Вместимость вкладыша Алюминий 2200cc 2200cc 6 раз
Максимальная толщина пленки MgF2 200nm 400nm 2 раз
Максимальная толщина пленки LaF3 90nm 400nm 4.5 раз
Максимальная толщина пленки AI 250nm 2,500nm 10 раз

Остаток после испарения

Метки плавления MgF2


Следы плавления AI


Сравнение наличия частиц в осажденной пленке MgF2

Белое листовое стекло площадью 76 мм,
Расстояние TS: 1.1 м, толщина пленки: 150 нм

Спектральные характеристики УФ-диапазона одиночного слоя MgF2

Скорость осаждения алюминия при каждой мощности электронного луча

Пример диаграммы развертки электронного луча

Расширенное круговое сканирование с помощью блока питания EB серии BS-720xxICE

Характеристики

Стандартные спецификации

Мощность Максимум 4.8 кВт ※ 1
Охлаждающая вода от 4 до 5 л/мин, от 10 до 25°C
Рабочее давление 5 × 10-5 до 1 × 10-2Pa
Внешние размеры 345mm(Ш)×355.5 мм(Г)×181.5 мм(В)
Масса 22кг
Блок питания ЭБ Серия BS-720xxICE с расширенным режимом кругового сканирования

Стандартная конфигурация

БС-60610БДС Источник бомбардировочного осаждения 6-слойного типа ※2, ※3

Опции

БС-60600РФ крыша ※ 4
БС-60620ЛН Лайнер (для фтора, золота, серебра, меди и т. д.)
БС-60660ЛН Лайнер (для алюминия)
БС-60680СП Прокладка ※ 5
БС-60690СК Обложка ※ 5
  • Максимальная производительность зависит от типа вкладыша.

  • Вкладыши не включены в BS-60610BDS.
    Пожалуйста, используйте дополнительные вкладыши, так как вкладыши влияют на производительность осаждения.

  • Количество вкладышей может быть изменено по индивидуальному заказу.

  • Используется для подавления повышения температуры подложки.

  • Необходимо выбрать либо Крышку (рекомендуется), повышающую эффективность обогрева, либо Прокладку.

Скачать буклет

Подробнее

Основы электронной микроскопии

Простое объяснение механизмов и
применения продуктов JEOL

Закрыть
Уведомление

Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?

Нет

Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.

Контакты

JEOL предлагает широкий ряд услуг по техническому обслуживанию и ремонту, чтобы наши клиенты могли спокойно и осознанно работать с оборудованием.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!