БС-60610БДС
Источник осаждения после бомбардировки
Меньший ущерб от обратнорассеянных электронов и рентгеновского излучения/уменьшение разбрызгивания/вкладыш большой емкости/высокая скорость осаждения
Особенности
BS-60610BDS — это уникальный источник осаждения, который косвенно нагревает испаряемый материал в лайнере с помощью электронного луча.
Емкость вкладыша и скорость осаждения увеличились по сравнению с обычной моделью BS-60310BDS.
Отсутствие повреждения подложки из-за обратного рассеяния электронов и рентгеновских лучей.
Подходит для нанесения пленки с низким уровнем дефектов и небольшим разбрызгиванием.
Превосходный контроль скорости осаждения и стабильность реализуются за счет контроля нагрева высокоскоростным электронным лучом.
Нанесение толстой пленки за счет увеличения емкости вкладыша.
Более высокие скорости осаждения возможны за счет увеличения максимальной производительности и площади испарения по сравнению с BS-60310BDS.
Стандартные характеристики (фото вкладыш не является обязательным)
Принцип испарения
Емкость лайнера/Сравнение максимальной толщины осаждаемой пленки*
В случае расстояния от источника до подложки 1100 мм
| Испаряемый материал | БС-60310БДС | БС-60610БДС | Соотношение |
|---|---|---|---|
| Емкость лайнера Фтор | 2200cc | 2200cc | 1.7 раз |
| Вместимость вкладыша Алюминий | 2200cc | 2200cc | 6 раз |
| Максимальная толщина пленки MgF2 | 200nm | 400nm | 2 раз |
| Максимальная толщина пленки LaF3 | 90nm | 400nm | 4.5 раз |
| Максимальная толщина пленки AI | 250nm | 2,500nm | 10 раз |
Остаток после испарения
Метки плавления MgF2
Следы плавления AI
Сравнение наличия частиц в осажденной пленке MgF2
Белое листовое стекло площадью 76 мм,
Расстояние TS: 1.1 м, толщина пленки: 150 нм
Спектральные характеристики УФ-диапазона одиночного слоя MgF2
Скорость осаждения алюминия при каждой мощности электронного луча
Пример диаграммы развертки электронного луча
Расширенное круговое сканирование с помощью блока питания EB серии BS-720xxICE
Характеристики
Стандартные спецификации
| Питания | Максимум 4.8 кВт ※ 1 |
|---|---|
| Охлаждающая вода | от 4 до 5 л/мин, от 10 до 25°C |
| Рабочее давление | 5 × 10-5 до 1 × 10-2Pa |
| Внешние размеры | 345ｍｍ(Ш)×355.5 мм(Г)×181.5 мм(В) |
| Масса | 22кг |
| Блок питания ЭБ | Серия BS-720xxICE с расширенным режимом кругового сканирования |
Стандартная конфигурация
| БС-60610БДС | Источник бомбардировочного осаждения 6-слойного типа ※2, ※3 |
|---|
Опции
| БС-60600РФ | крыша ※ 4 |
|---|---|
| БС-60620ЛН | Лайнер (для фтора, золота, серебра, меди и т. д.) |
| БС-60660ЛН | Лайнер (для алюминия) |
| БС-60680СП | Прокладка ※ 5 |
| БС-60690СК | Обложка ※ 5 |
Максимальная производительность зависит от типа вкладыша.
Вкладыши не включены в BS-60610BDS.
Пожалуйста, используйте дополнительные вкладыши, так как вкладыши влияют на производительность осаждения.Количество вкладышей может быть изменено по индивидуальному заказу.
Используется для подавления повышения температуры подложки.
Необходимо выбрать либо Крышку (рекомендуется), повышающую эффективность обогрева, либо Прокладку.
Скачать буклет
Источник бомбардировки BS-60610BDS
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.