- мощность 16кВт
Максимальная выходная мощность составляет 16 кВт (1.6 А при 10 кВ). Возможно более быстрое осаждение металла. - Тигель большой емкости
Стандартный размер кармана тигля составляет 50 мм в диаметре.
Тигель диаметром от 70 до 80 мм можно использовать с дополнительными полюсными наконечниками BS-60830PP250.
*Диапазон подвижного/охватывающего луча составляет 50 мм в диаметре. - Высокоскоростное подметание
По сравнению с обычным источником электронного луча для напыления металла характеристики охвата луча были улучшены.
Оксиды, такие как сублимационные материалы, могут быть нанесены путем высокоскоростной очистки с частотой 500 Гц или выше. - Простота обслуживания
Верхняя часть имеет плоскую структуру (меньше отложение паров), а верхняя крышка легко снимается.
Замена нити накала возможна без снятия медного провода высоковольтной линии. - Ловушка обратно рассеянных электронов
Можно присоединить дополнительную ловушку обратно рассеянных электронов.
Он очень эффективен для снижения повышения температуры подложки, поэтому подходит для процесса отрыва.
Особенности
Примеры скорости осаждения различных металлических материалов
Высокоскоростное осаждение возможно с помощью электронного луча с высокой конвергенцией.
Пример скорости осаждения алюминия в тигле большой емкости
В сочетании с тиглем большей емкости можно еще больше увеличить скорость осаждения.
Характеристики
Основные технические характеристики
| Максимальная мощность | 16кВт(10кВ, 1.6А) |
|---|---|
| Ускоряющее напряжение | От 6 до 10 кВ |
| Угол отклонения электронного пучка | 270 градусов |
| Движение луча / диапазон охвата | 50mm в диаметре |
| Частота развертки по оси X | 135 Гц (стандартная настройка) |
| Частота сканирования по оси Y | 570 Гц (стандартная настройка) |
| Рабочее давление | 7 × 10-2Па или меньше |
| Охлаждающая вода | от 5 до 8 л/мин, от 10 до 25°C |
| Филамент | линейный тип катушки, 0.8 мм в диаметре |
| Масса: | Приблизительный 14kg |
Опция
BS-60830PP250 Pole Piece (длинный тип)
Электронная ловушка обратного рассеяния
Внешние размеры
Скачать буклет
Источник электронного луча BS-60250DEM
Подробнее
Вы медицинский работник или персонал, занимающийся медицинским обслуживанием?
Нет
Напоминаем, что эти страницы не предназначены для предоставления широкой публике информации о продуктах.