Выпуск автоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа Шоттки версий JSM-IT800(i)/(is) — FE-SEM с платформой Intelligence Technology (IT) —

История разработки

Сканирующие электронные микроскопы (СЭМ) используются в самых разных областях, таких как нанотехнологии, металлы, полупроводники, керамика, медицина и биология. Поскольку приложения SEM расширяются, чтобы охватывать не только исследования и разработки, но и контроль качества и проверку продукции на производственных площадках, пользователи SEM нуждаются в быстром сборе высококачественных данных, а также в простом подтверждении информации о составе с бесперебойной аналитической операцией.

Чтобы удовлетворить эти требования, JSM-IT800 включает нашу электронную пушку Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе для получения изображений с высоким разрешением и инновационную электронно-оптическую систему управления «Neo Engine», а также систему бесшовного графического интерфейса «SEM Center» для быстрое картирование элементов с помощью полностью встроенного энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) JEOL в качестве общей платформы. Кроме того, JSM-IT800 позволяет заменять объектив РЭМ как модуль, предлагая различные версии для удовлетворения различных требований пользователей.

JSM-IT800 доступен в пяти версиях с различными объективами: версия с гибридным объективом (HL), представляющая собой FE-SEM общего назначения; версия с супергибридным объективом (SHL/SHL, две версии с разными функциями), которая обеспечивает наблюдение и анализ с более высоким разрешением; и недавно разработанная версия с полулинзой (i/is, две версии с разными функциями), которая подходит для наблюдения за полупроводниковыми приборами.

JSM-IT800 также может быть оснащен новым сцинтилляционным детектором обратнорассеянных электронов (SBED). SBED позволяет легко наблюдать за живыми изображениями с высокой скоростью отклика и обеспечивает резкий контраст материала даже при низком ускоряющем напряжении.

Главная особенность

• Электронная пушка Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе
  Усовершенствованная интеграция электронной пушки и конденсаторной линзы с низкой аберрацией обеспечивает более высокую яркость. Достаточный ток зонда доступен при низком ускоряющем напряжении (100 нА при 5 кВ). Уникальная система Шоттки Плюс с линзой позволяет использовать ее в самых разных областях: от визуализации с высоким разрешением до быстрого картирования элементов и анализа дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD).
• Neo Engine (новый электронно-оптический движок)
  Neo Engine — это передовая электронно-оптическая система, в которой собраны многолетние базовые технологии JEOL. Пользователи могут выполнять стабильное наблюдение даже при изменении различных условий наблюдения или анализа. Высокая работоспособность для автоматических функций значительно улучшена.
• Центр SEM / Интеграция с ЭЦП
  Графический интерфейс «SEM Center» полностью интегрируется с визуализацией SEM и анализом EDS для обеспечения плавных и интуитивно понятных операций. JSM-IT800 можно усовершенствовать, включив дополнительные программные расширения, такие как SMILENAVI, чтобы помочь и предоставить путь обучения для начинающих пользователей, и фильтр LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer — AI) для получения более высокого качества живых изображений. .
• Версии с полулинзой (i/is)
  Полулинза обеспечивает сверхвысокое разрешение за счет схождения электронных лучей с линзой сильного магнитного поля, расположенной под линзой объектива. Кроме того, система эффективно улавливает вторичные электроны низкой энергии, испускаемые образцом, и обнаруживает электроны с помощью верхнего детектора в линзе (UID). Таким образом, он позволяет наблюдать и анализировать наклоненные образцы и образцы в поперечном сечении с высоким разрешением, которые необходимы для анализа отказов полупроводниковых устройств. Кроме того, это очень полезно для наблюдения контраста напряжения.
• Верхний электронный детектор (ВЭД)
  Верхний детектор электронов может быть установлен над линзой объектива. Преимуществом системы является возможность получения изображения в обратно рассеянных электронах и получения изображения во вторичных электронах в сочетании со смещением образца. Электроны, испускаемые образцом, отбираются фильтром UID внутри линзы объектива. UED и UIT позволяют получить несколько данных за одно сканирование.
• Новый детектор обратно рассеянных электронов
  Сцинтилляторный детектор обратнорассеянных электронов (SBED, опционально) обладает высокой чувствительностью и подходит для получения изображений с контрастом материала при низком ускоряющем напряжении.

Основные технические характеристики

Объем продаж

Ссылка

• Каталог
  Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп JSM-IT800