Выпуск нового автоэмиссионного сканирующего электронного микроскопа Шоттки JSM-IT800 — FE-SEM с платформой Intelligence Technology (IT) —

Фон разработки продукта

Сканирующие электронные микроскопы (СЭМ) используются в самых разных областях, таких как нанотехнологии, металлы, полупроводники, керамика, медицина и биология. Поскольку приложения SEM расширяются, чтобы охватывать не только исследования и разработки, но и контроль качества и проверку продукции на производственных площадках, пользователи SEM нуждаются в быстром сборе высококачественных данных, а также в простом подтверждении информации о составе с бесперебойной аналитической операцией.

Чтобы удовлетворить эти требования, JSM-IT800 с платформой Intelligence Technology (IT) включает нашу электронную пушку Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе для получения изображений с высоким разрешением для быстрого картирования элементов, а также инновационную электронно-оптическую систему управления «Neo Engine». , а также бесшовный графический интерфейс «SEM Center» для полной интеграции энергодисперсионного рентгеновского спектрометра (EDS) JEOL. Кроме того, JSM-IT800 позволяет использовать два типа конфигураций объективов, предлагая различные версии для удовлетворения различных требований пользователей.

Две версии JSM-IT800 включают версию с гибридным объективом (HL) для РЭМ общего назначения и версию с супергибридным объективом (SHL) для улучшенного наблюдения с высоким разрешением и различных анализов. Кроме того, JSM-IT800 версии SHL поставляется с новым верхним гибридным детектором (UHD) для получения изображений с более высоким отношением сигнал/шум для изучения тонкой структуры образцов.

JSM-IT800 также может быть оснащен новым сцинтилляционным детектором обратно рассеянных электронов (SBED) и универсальным детектором обратно рассеянных электронов (VBED). SBED позволяет получать изображения с высокой чувствительностью и обеспечивает резкий контраст материала даже при низком ускоряющем напряжении. VBED может получать трехмерные, топографические и контрастные изображения.

Основные особенности

• Электронная пушка Schottky Plus с полевой эмиссией в объективе
  Усовершенствованная интеграция электронной пушки и конденсаторной линзы с низкой аберрацией обеспечивает более высокую яркость. Достаточный ток зонда доступен при низком ускоряющем напряжении (100 нА при 5 кВ). Уникальная система Schottky Plus, встроенная в линзу, позволяет использовать различные приложения, от визуализации с высоким разрешением до быстрого картирования элементов, анализа дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD) и эмиссионной спектроскопии мягкого рентгеновского излучения (SXES), без необходимости менять условия объектива. .
• Neo Engine (новый электронно-оптический движок)
  Neo Engine — это передовая электронно-оптическая система, в которой собраны основные многолетние технологии JEOL. Пользователи могут выполнять стабильное наблюдение даже при изменении различных условий наблюдения или анализа. Высокая работоспособность для автоматических функций значительно улучшена.
• Центр SEM / Интеграция с ЭЦП
  Графический интерфейс «SEM Center» полностью интегрируется с визуализацией SEM и анализом EDS для обеспечения плавных и интуитивно понятных операций. JSM-IT800 можно усовершенствовать, включив дополнительные программные расширения, такие как SMILENAVI, чтобы помочь и предоставить путь обучения для начинающих пользователей, и фильтр LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer — AI) для получения более высокого качества живых изображений. .
• Версия с гибридным объективом (HL) и версия с супергибридным объективом (SHL)
  На основе комбинации электростатической линзы и линзы электромагнитного поля доступны два типа версий линз объектива. Различные конфигурации позволяют удовлетворить более широкий спектр потребностей пользователей, обеспечивая получение изображений с высоким пространственным разрешением и анализ широкого спектра образцов, от магнитных материалов до изоляторов, сохраняя при этом те же функции, что и JSM-IT800.
• Верхний гибридный детектор (UHD)
  UHD, встроенный в линзу объектива для версии SHL, значительно повышает эффективность обнаружения электронов, генерируемых образцом. Это приводит к получению изображений с более высоким отношением сигнал/шум.
• Новые детекторы обратно рассеянных электронов
  Сцинтилляторный детектор обратнорассеянных электронов (SBED, опционально) обладает высокой чувствительностью и подходит для получения изображений с контрастом материала при низком ускоряющем напряжении. Универсальный детектор обратнорассеянных электронов (VBED, опционально) с сегментированной конструкцией детекторного элемента позволяет пользователю настраивать отдельные сегменты или использовать предварительно запрограммированные настройки детектора для получения изображений для предоставления трехмерной, топографической или композиционной информации.

Основные технические характеристики

Целевой годовой объем продаж